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- [实用新型]一体式烧结型平板热管-CN201020216791.9有效
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林梓荣;张礼政;张礼华
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锘威科技(深圳)有限公司
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2010-06-07
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2011-01-19
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F28D15/04
- 本实用新型涉及一种一体式烧结支撑结构的平板热管,其包括上下两层金属盖板以及设置在上下两层金属盖板内部的多孔毛细结构,其特征是:所述下层金属盖板利用冲压成型工艺形成凹台和分布在所述凹台四周的焊接带;所述上层金属盖板呈平板型,其与所述下层金属盖板压合在一起并通过所述焊接带焊接形成密封壳体;所述多孔毛细结构包括连接上下两层金属盖板的多孔毛细凸台。该烧结式平板热管把多孔毛细结构制作成多凸台形状,同时作为支撑结构,并通过多孔毛细结构把上下两层金属盖板连接在一起,从而避免了外加支撑结构的工艺,同时有效地保护了平板热管在后继应用中受压或者高温时的形变。
- 体式烧结平板热管
- [发明专利]碳化硅单晶生长装置及其装填方法-CN202310009447.4在审
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刘豪;张洁
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湖南三安半导体有限责任公司
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2023-01-04
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2023-05-02
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C30B23/00
- 本发明提供了一种碳化硅单晶生长装置及其装填方法,涉及碳化硅晶体生长技术领域,碳化硅单晶生长装置包括生长坩埚、多孔隔离筒、分隔盖板和籽晶盖板,多孔隔离筒设置在生长坩埚的底部并与生长坩埚的侧壁间隔设置,且多孔隔离筒与生长坩埚的侧壁之间形成有原料容置槽,分隔盖板盖设在原料容置槽上;籽晶盖板盖设在生长坩埚上,多孔隔离筒上形成有通孔,且多孔隔离筒用于过滤气相组分中携带的碳颗粒。相较于现有技术,本发明通过多孔隔离筒和分隔盖板将碳化硅粉料和晶体生长区域隔离开来,并利用多孔隔离筒实现过滤功能,可以有效避免碳化硅粉料石墨化后产生的碳颗粒输送至晶体的生长界面,从而减少晶体产生的碳包裹缺陷
- 碳化硅生长装置及其装填方法
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