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[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN202180087813.7在审
发明人：墨周武;折坂昌幸 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种基板处理装置以及基板处理方法，在腔室内的处理空间通过超临界状态的处理流体对基板进行处理，在腔室内比基板更靠下方的位置，配置对腔室内进行加热的加热器，将基板搬入至处理空间，并通过加热器进行加热，在将处理流体供给至处理空间并通过超临界状态的处理流体充满处理空间后，将处理流体从处理空间排出。针对从超临界状态的处理流体被导入至处理空间时起的规定的期间，使加热停止。能够一边将腔室内维持为适合超临界处理的温度，一边抑制成为乱流的原因的处理流体的温度变化，从而能够良好地进行对于基板的超临界处理。
处理装置以及方法

[发明专利]一种空间光电探测图像链路层传输系统-CN202211658755.1在审
发明人：马有为;韩畅;陆建;练达;刘冰;陈天培;温兆伦 -专利权人：上海航天控制技术研究所
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H04N5/765 文献下载
摘要：本发明公开了一种空间光电探测图像链路层传输系统，包含若干空间光电探测头部、若干空间传输电缆以及空间光电探测处理线路盒。所述系统在所述空间光电探测处理线路盒中为每个空间光电探测头部设置有独立的第三传输组件，并且每个空间光电探测头部与空间光电探测处理线路盒之间设置有独立的空间传输电缆，通过独立的第三传输组件和独立的空间传输电缆，每个空间光电探测头部与空间光电探测处理线路盒进行全双工信息传输，从而实现对多个空间光电探测器图像信息进行并行高可靠传输处理；所述空间传输电缆采用LVDS标准电平进行通信传输，在保障传输可靠性的同时还具有高速传输速率本发明提供的空间光电探测图像链路层传输系统具有良好的应用前景。
一种空间光电探测图像链路层传输系统

[发明专利]用于热增强和等离子体增强气相沉积的装置及操作方法-CN200610168334.5有效
发明人：李一成;石坂忠大;山本薰;五味淳;原正道;藤里敏章;雅克·法盖特;水泽宁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-12-18 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明公开了在衬底上进行气相沉积的方法、计算机可读介质以及系统：将衬底布置在处理系统的处理空间中，处理空间与处理系统的传递空间真空隔离；在处理空间中的第一位置或第二位置对衬底进行处理，同时保持与传递空间的真空隔离同样，该系统包括第一组件，第一组件设置有便于材料沉积的处理空间；第二组件，连接到第一组件并具有便于将衬底传递进出沉积系统的传递空间；衬底载台，连接到第二组件并设置为支撑衬底以及将衬底在传递空间中的第一位置到处理空间中的第二位置之间进行平移该系统包括密封组件，密封组件设置为在衬底在处理空间中平移的过程中阻挡气体在处理空间与传递空间之间的流动。
用于增强等离子体沉积装置操作方法

[发明专利]图像处理装置、图像形成装置和图像处理装置的控制方法-CN200910168468.0无效
发明人：后藤牧生 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2009-08-26 - 公布日： 2010-03-03 - 主分类号： H04N1/40 文献下载
摘要：本发明提供图像处理装置、图像形成装置、和图像处理装置的控制方法。本发明的图像处理装置包括对图像数据进行区域分离处理的区域分离处理部、和对上述图像数据进行空间滤波处理的空间滤波部。空间滤波部对印刷用或传真发送用的图像数据进行处理内容根据上述区域分离处理的结果而改变的空间滤波处理，对预览显示用的图像数据进行与上述区域分离处理的结果无关的空间滤波处理。由此，能够提供能够抑制预览显示的图像的画质劣化的图像处理装置。
图像处理装置形成控制方法

[发明专利]衬底处理装置及半导体装置的制造方法-CN201410356571.9有效
发明人：板谷秀治 -专利权人：株式会社日立国际电气
申请日： 2014-07-24 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底处理装置及半导体装置的制造方法，其恰当地进行向衬底外周侧的排气传导性调节，由此能够可靠地实现膜形成时的处理空间内压力的均匀化。衬底处理装置具有处理衬底的处理空间；排气缓冲室，具有以包围处理空间的侧方周围的方式设置的空间，供已供给至处理空间内的气体流入；传导性调节板，面对着处理空间和排气缓冲室之间的气体流路而配置。传导性调节板在与从处理空间向排气缓冲室的气体流路面对的内周侧端缘具有R状部分或斜坡倾斜状部分。
衬底处理装置半导体制造方法

[发明专利]基板处理设备-CN202110333560.9在审
发明人：沈光辅;尹芝勋;申东辉;吴贤优;姜佳岚 -专利权人： PSK有限公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文公开了一种用于处理基板的设备。该设备包括：工艺处理单元，用于提供在其中执行基板处理的处理空间；以及产生等离子体的等离子体产生单元，其中，所述等离子体产生单元包括：等离子体室，具有等离子体产生空间；气体供应单元，用于将处理气体供应到等离子体产生空间；功率施加单元，用于通过使处理气体离开等离子体产生空间而产生等离子体；扩散室，布置在等离子体室的下方，并且具有扩散空间，该扩散空间用于扩散在等离子体产生空间中产生的等离子体和/或供应至等离子体产生空间的处理气体，以将其均匀地输送至处理空间，其中具有至少一个穿孔的扩散板可以布置在扩散空间中。
处理设备

[发明专利]真空处理装置-CN200480002736.7有效
发明人：河西繁;河东进;小松智仁;齐藤哲也;田中澄 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-02-12 - 公布日： 2006-03-01 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明的真空处理装置具有以下部件：具有底部且可真空排气的处理容器；设置在所述处理容器内的载置台；对载置台上的基板进行加热的加热部；向处理容器内供给处理气体的处理气体供给部；包围载置台和处理容器底部之间的空间，使该空间与处理容器内的处理空间隔离的隔离部；向由隔离部包围的空间内供给清洗气体的清洗气体供给部；从由隔离部包围的空间内对清洗气体进行排气的清洗气体排气部；应调整由隔离部包围的空间内的压力，控制清洗气体供给部及/或清洗气体排气部的控制部；和贯通处理容器底部，插入由所述隔离部包围的空间内，并具有与载置台接触的前端部的温度检测部，隔离部具有与处理容器底部面接触的下端部，控制部将被隔离部包围的空间内的压力调整到比处理容器内的处理空间内的压力高
真空处理装置

[发明专利]一种交织处理方法及装置-CN201710295108.1有效
发明人：吴晨璐 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H04L1/00 文献下载
摘要：一种交织处理方法及装置，该方法中获取待处理交织任务，并确定交织器对所述待处理交织任务进行交织处理所需的存储空间。依据待处理交织任务所需存储空间以及交织器的最大分块存储空间，将所述交织器的存储空间划分为N个分块存储空间，所述N为正整数，其中，N个分块存储空间中每一分块存储空间的大小均小于等于最大分块存储空间的大小。将所述待处理交织任务划分为至少一个交织块，并以交织块为单位，在所述N个分块存储空间内写入交织块，以解决存储开销大、处理时延长以及大小规格任务切换频繁的问题。
一种交织处理方法装置

[发明专利]用于处理基板的装置-CN202211313020.5在审
发明人：郑镇优;诸振模;李相旼;李暎熏;崔龙贤;任镕浚;吴承勋 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思提供一种基板处理装置。该基板处理装置包括：壳体，其用于提供用于在其中处理基板的处理空间；支撑单元，其用于在处理空间中支撑基板；底部供应端口，其用于向处理空间供应工艺流体；和填充构件，其位于在处理空间中被支撑在支撑单元上的基板下方，其中填充构件形成面向底部供应端口的缓冲空间，并且在填充构件与壳体的内壁之间形成通道，该通道使引入缓冲空间中的工艺流体沿着基板的方向流动。
用于处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN202110365256.2在审
发明人：墨周武;折坂昌幸 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种在利用处理流体在腔室内对基板进行处理的基板处理装置中，能够有效防止杂质对基板的污染，并良好地进行处理的技术。在腔室(100)内设置有从腔室外接收处理流体并将其导入处理空间的导入流路(17)。导入流路经由截面形状与由处理空间(SP)的壁面与支撑托盘(15)之间的间隙形成的间隔空间的截面形状大致一致的流路(173)、(177)供给处理流体。通过了处理空间的处理流体排出至宽度大于或等于处理空间的缓冲空间(182)、(186)，进一步经由在宽度方向上的缓冲空间的两端部连接的排出流路(183)、(187)向腔室外排出。
处理装置

[发明专利]一种场景数据处理方法、系统、装置以及存储介质-CN202210081785.4在审
发明人：李西峙 -专利权人：深圳市大富网络技术有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G06T17/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种场景数据处理方法、系统、装置以及存储介质，用于提高场景数据处理效率。本申请方法包括：获取空间场景的场景数据，所述空间场景为终端当前所处理的场景；根据所述场景数据确定所述空间场景的场景属性，所述场景属性包括室外场景以及室内场景；当确定所述场景属性为室内场景时，通过二叉空间分割树处理算法对所述空间场景进行分割处理；当确定所述场景属性为室外场景时，通过八叉空间分割树处理算法对所述空间场景进行分割处理。
一种场景数据处理方法系统装置以及存储介质

[发明专利]基板处理方法和腔室清洁方法-CN202211327100.6在审
发明人：李元硕;尹荣培 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明构思提供了一种基板处理方法。所述基板处理方法包括：通过将过程等离子体传送到腔室的处理空间来处理基板；以及通过将清洁介质供应到定位在所述处理空间下方的所述腔室的排气空间来清洁排气空间。
处理方法清洁

[发明专利]一种SOC芯片之间的高速信息共享方法-CN201710696675.8在审
发明人：叶品勇;陈新之;岳峰 -专利权人：南京国电南自电网自动化有限公司
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： G06F15/167 文献下载
摘要：本发明公开了一种SOC芯片之间的高速信息共享方法，在SOC芯片内存空间划分出两块连续地址空间，分别标识为“写数据空间”和“读数据空间”。本侧“写数据空间”数据实时同步到对侧“读数据空间”，然后微处理器直接访问“读数据空间”内存数据。本侧“写数据空间”数据到对侧“读数据空间”实时同步操作由用户可编程逻辑实现，通过AXI_HP端口直接将“写数据空间”数据搬移至高速收发器的发送FIFO，将高速收发器接收FIFO中的数据直接写入“读数据空间”，全程都不需要微处理器的参与，减轻了微处理器的处理负担，并且用户可编程逻辑是并行处理系统实时处理能力强，可大大降低数据搬移过程的处理延时和不确定性。
一种 soc 芯片之间高速信息共享方法

[发明专利]图像处理方法及装置、存储介质及电子设备-CN202310587506.6在审
发明人：张琦;杨明川;刘巧俏;邹航 -专利权人：中国电信股份有限公司北京研究院;中国电信股份有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G06V10/62 文献下载
摘要：本公开提供了一种图像处理方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：获取携带时间信息的待处理图像和目标视角；在待处理图像的原视角下构建待处理图像的多个空间点，并根据时间信息和各空间点的空间坐标确定各空间点的时空特征；根据各空间点的时空特征确定各空间点属于各个运动域的概率以及在各个运动域下的运动特征；其中运动域包括：静态域、刚体运动域和非刚体运动域；根据概率和运动特征确定各空间点的运动组合特征；根据目标视角、各空间点的空间坐标和各空间点的运动组合特征进行渲染，获得在目标视角下的待处理图像的重绘图像该方法可以将待处理图像空间点的运动组合特征作为依据进行分类渲染，从而提高处理效率，节省计算资源。
图像处理方法装置存储介质电子设备

[发明专利]一种智能电网信息运检网状可视化分析系统-CN201610323295.5在审
发明人：胡楠;乔林;冉冉;王欣柳;李峰 -专利权人：国网辽宁省电力有限公司信息通信分公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G06F17/30 文献下载
摘要：通过数据采集层采集的数据存储至数据处理层的空间位置更新数据库内，数据处理层内的多信息源数据融合处理模块调取空间位置更新数据库内的数据后，进行多信息源数据融合处理并返回至空间位置更新数据库，所述数据空间地理位置判定处理模块读取空间位置更新数据库内的信息后，对数据空间位置判定处理，并将处理结果存储至空间位置更新数据库内，所述信息展现层，将空间位置更新数据库内的经过多信息源数据融合处理后的数据以及经过判定处理后的数据进行实施更新的空间地理信息图形显示。利用图形化及空间关系的呈现，作用于智能电网的支撑与辅助决策中起到可视化分析清晰地展现。
一种智能电网信息网状可视化分析系统

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