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[发明专利]清洗基板的背面的装置和方法、背面清洗装置和基板处理装置-CN201710339707.9在审
发明人：小林贤一;石井游;内山圭介 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明提供一种清洗基板的背面的装置和方法，能够以较高的去除率从背面去除研磨屑等微粒。用于清洗基板(W)的背面的装置具备：在使基板(W)的背面朝上的状态下，一边保持基板(W)一边使基板(W)旋转的基板保持部(105)；构成为能够旋转的擦洗器具(108)；配置于基板保持部(105)的上方的双流体喷嘴(109)；以及形成供基板保持部(105)、擦洗器具(108)、以及双流体喷嘴(109)配置的清洗室(99)的外壳(100)。
基板保持部清洗基板基板背面双流体喷嘴擦洗去除基板处理装置清洗装置配置的清洗室研磨屑朝上配置

[发明专利]使用基板支撑装置清洗基板背面的方法-CN201911043432.X有效
发明人：王晖;陈福平;张怀东;王文军 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明揭示了使用基板支撑装置清洗基板背面的方法，包括：终端执行器夹持基板至旋转夹盘的上方，第一气体通道和第二气体通道关闭；终端执行器向下移动至基板靠近导柱，打开第二气体通道，通过第二注入口向基板的正面喷射气体；终端执行器释放基板，关闭第二气体通道，第二注入口停止向基板的正面喷射气体，基板沿导柱的侧表面下落至导柱的支撑部并由支撑部支撑；打开第二气体通道，第二注入口喷射出的气体吹浮起基板；终端执行器从旋转夹盘的上方移走，打开第一气体通道，通过第一注入口向基板的正面吹气，利用伯努利效应使基板保持稳定的漂浮状态；旋转夹盘旋转，将至少一个喷嘴移至基板背面的上方，喷嘴向基板背面喷洒清洗液，清洗基板的背面。
使用支撑装置清洗背面方法

[发明专利]研磨基板的方法及装置、和处理基板的方法-CN201810845872.6有效
发明人：中西正行;石井游;伊藤贤也;内山圭介;柏木诚 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B24B21/06 文献下载
摘要：提供一种在基板的背面朝下的状态下能够有效地研磨包含基板的背面的最外部的背面整体的方法和装置。另外，提供一种在基板的背面朝下的状态下有效地处理包含基板的背面的最外部的背面整体的方法。本方法如下，在基板(W)的背面朝下的状态下，一边使多个辊(11)与基板(W)的周缘部接触，一边使多个辊(11)以各自的轴心为中心旋转，从而使基板(W)旋转，一边向基板(W)的背面供给液体，并且使配置于基板(W)的下侧的研磨带(31)与基板(W)的背面接触，一边使研磨带(31)相对于基板(W)进行相对运动，来研磨基板(W)的背面整体。
研磨方法装置处理

[发明专利]基板的背面的研磨方法及基板处理装置-CN201410039682.7有效
发明人：石井游;伊藤贤也;中西正行;户川哲二 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2014-01-27 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：一种研磨方法，用基板保持部(17、42)对基板(W)进行保持，一边使基板(W)旋转，一边使研磨件(22、44)与基板(W)的整个背面滑动接触，由此研磨整个背面。背面研磨工序包括：一边用基板保持部(17)对基板(W)的中心侧区域进行保持，一边对背面的外周侧区域进行研磨；一边用第2基板保持部(42)对基板(W)的伞形部进行保持，一边对背面的中心侧区域进行研磨。采用本发明，能以较高的去除率去除附着在晶片等基板整个背面上的杂质。
背面研磨方法处理装置

[发明专利]布线基板及多连片式布线基板-CN201510634785.2有效
发明人：仓内贵司;吉田美隆;秋田和重 -专利权人：日本特殊陶业株式会社
申请日： 2015-09-29 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：本发明提供布线基板及多连片式布线基板，能够在基板主体的表面上可密封地安装晶体振子等各种电子器件，可靠地在露出在外部的导体的表面上覆盖金属镀膜，且在安装于母板时背面电极不易产生不良，多连片式布线基板同时具有多个该布线基板布线基板包括：基板主体，由陶瓷(绝缘材料)形成，具有俯视呈矩形状的正面和背面；多个背面电极，形成于该基板主体的背面；框形导体部，配置于基板主体的正面侧，俯视呈矩形框状；以及通路导体，贯通基板主体，将框形导体部和多个背面电极之间导通，在多个背面电极与基板主体的背面的各边之间露出有该背面的一部分，在基板主体的背面，在自多个背面电极到互相交叉的一对边中的每一个边之间形成有一个以上的凸形布线。
布线连片

[发明专利]基板清洗装置、基板清洗方法及存储介质-CN200710160027.7有效
发明人：泷口靖史;山本太郎;藤本昭浩;锦户修一;熊谷大;吉高直人;北野高广;德永容一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-12-20 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板清洗装置，其不需要进行基板的反转，并且能够以不给基板的周边部造成损伤的方式对基板的背面进行清洗。基板保持装置(1)具备从背面支撑保持背面朝下状态的基板的2个基板保持单元(吸附垫(2)、旋转卡盘(3))，支撑的区域不重叠，同时在这些的基板保持单元之间进行基板交接。清洗部件(刷子(5))对由基板保持单元支撑的区域以外的基板的背面进行清洗，利用在2个基板保持单元之间交接基板，对基板的整个背面进行清洗。
清洗装置方法存储介质

[实用新型]一种UVLED封装的陶瓷基板-CN202020205570.5有效
发明人：阳良春;陈意军;杨险 -专利权人：益阳曙光沐阳电子技术有限公司
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种UVLED封装的陶瓷基板，包括陶瓷基板本体，陶瓷基板本体的正面一体成型基板金属围坝，陶瓷基板本体和基板金属围坝之间设置有基板正面底层布线结构，基板金属围坝的内侧设置有基板围坝台阶，基板负极齐纳二极管焊盘还开设有位于基板正负极两侧的基板负极布线导通孔和基板正负极布线导通孔；基板背面底层布线结构的内侧设置基板背面电极，基板背面电极的侧面设置基板背面电极导通孔，两个基板背面电极导通孔之间设置基板背面地层导热结构，基板背面电极导通孔位于基板正负与地层结构。
一种 uvled 封装陶瓷

[发明专利]基板斜边和背面保护装置-CN201580079977.X有效
发明人：王希;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板斜边和背面保护装置。该装置包括真空卡盘(103)、保护装置、供气装置(114)、旋转致动器(115)和垂直致动器(113)。真空卡盘(103)承载并固定基板。支撑部(104)靠近基板(101)并与基板(101)之间形成有间隙(105)。支撑部(104)设有多个向间隙(105)内供气的气体进口(107)和多个将间隙(105)内的气体排出的气体出口(108)。该多个气体进口(107)向间隙(105)内供气以在间隙(105)内形成正压，间隙(105)内的气体作为气体阻挡层保护基板(101)的斜边和背面。
斜边背面保护装置

[实用新型]基板背面布线的COB光源结构-CN202121292194.9有效
发明人：罗巍;王维昀;王新强;李永德;王后锦;康俊杰;袁冶;唐波 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L33/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板背面布线的COB光源结构，其包括基板、金属化通孔、串并联线路层、电极焊盘、LED芯片和金属反射结构，所述电极焊盘设置在所述基板上表面，所述LED芯片设置在所述电极焊盘上形成电气连接，所述串并联线路层设置在所述基板下表面；本实用新型结构设计合理，将串并联线路层设置在所述基板下表面形成背面布线结构，而金属反射结构可以直接设置在基板上表面，省去了传统需采用陶瓷绝缘板来进行隔绝，简化整体结构
背面布线 cob 光源结构

[实用新型]用于玻璃基板背面的清洗装置-CN202122383702.0有效
发明人：徐小明;周梦荣 -专利权人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于玻璃基板背面的清洗装置，包括：机架；输送机构，其设置在所述机架上，用于传输玻璃基板；及清洗机构，设置在所述机架上并位于所述输送机构的下方，用于清洗玻璃基板，所述清洗机构包括至少一导轨组件本实用新型提供的用于玻璃基板背面的清洗装置，可减少人力投入，提高生产效率。
用于玻璃背面清洗装置

[发明专利]信息显示装置-CN200980140712.0无效
发明人：樱井良;大野信吾;西田三博;田中宽治;西井雅之 -专利权人：株式会社普利司通
申请日： 2009-08-25 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： G02F1/167 文献下载
摘要：一种信息显示装置，其中，具有光学反射率且由包含能被电驱动的粒子的粒子群构成的显示介质(3W、3B)被密封在彼此相对配置的两个面板基板(1、2)之间，至少一个面板基板是透明的，经由设置于面板基板的电极(5、6)所构成的成对电极使显示介质在电的作用下移动从而显示信息，其中，信息显示装置具有如下结构：作为两个基板中的一方的背面侧基板(1)与布线基板(10)相连；贯通背面侧基板以使设置于背面侧基板的前表面和背面的电极(5-1、5-2)电连接的第一通孔(7)形成于背面侧基板，布线基板(10)在背面侧基板的区域内与位于背面侧的电极(5-2)相连；还形成用于使设置于作为两个面板基板中的另一方的显示侧基板的电极(6)与设置于背面侧基板的背面的电极
信息显示装置

[实用新型]海尔环填料-CN201920398786.5有效
发明人：范文松 -专利权人：宁波科新化工工程技术有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： B01J19/30 文献下载
摘要：海尔环填料，包括弧面基板，弧面基板的正面设有两个正面空心柱，正面空心柱与弧面基板的对接处开孔；弧面基板的背面设有两个背面空心柱，背面空心柱与弧面基板的对接处开孔；正面空心柱的侧面和背面空心柱的侧面均开设有窗口；弧面基板的正面还设有两个正面辅助空心柱，正面辅助空心柱与弧面基板的对接处开孔；弧面基板的背面还设有两个背面辅助空心柱，背面辅助空心柱与弧面基板的对接处开孔；正面辅助空心柱的侧面和背面辅助空心柱的侧面亦均开设有窗口本实用新型增加了正面辅助空心柱和背面辅助空心柱，大大提高了空隙率及通量，也进一步提高了海尔环的处理能力。
空心柱弧面基板背面对接处开孔侧面本实用新型空隙率通量

[实用新型]一种双面热电分离LED车灯基板-CN201621334877.5有效
发明人：张金友 -专利权人：东莞和进电子科技有限公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： F21S8/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种双面热电分离LED车灯基板，包括有铜基板、正面薄线路板以及背面薄线路板；该铜基板的正面和背面均局部蚀刻形成有正面凹位和背面凹位，铜基板的正面和背面分别焊接有正面导热焊盘和背面导热焊盘；通过在铜基板的正面和背面均局部蚀刻形成有正面凹位和背面凹位，并配合将正面薄线路板和背面薄线路板分别嵌于正面凹位和背面凹位中，如此可在铜基板的正面和背面安装LED，取代了传统之两块线路板拼接的方式，使得安装更加简单，并且，正面导热焊盘和背面导热焊盘分别焊接在铜基板的正面和背面成为一个整体，有效提高了导热效率，延长LED的使用寿命。
一种双面热电分离 led 车灯

[实用新型]一种铜基双面板-CN201020700271.5无效
发明人：陈志文;张秋丽;彭伟 -专利权人：深圳市同创鑫电子有限公司
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： H05K1/05 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铜基双面板，由正面铜基板和背面铜基板组成；所述正面铜基板的正面上设有正面腐蚀铜层；所述背面铜基板的正面上设有背面腐蚀铜层；所述正面铜基板的背面连接所述背面铜基板的背面。
一种双面板

[发明专利]电子基板-CN201980094784.X在审
发明人：成濑峰信;佐佐恭大 -专利权人：株式会社爱信
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：提供一种能够减少电子基板的层数的技术。电子基板通过在表面阵列状地配置多个表面端子与半导体部件连接，并且通过在背面阵列状地配置多个背面端子与主基板连接，其中，包括：第一布线，在所述电子基板内电连接所述表面端子和所述背面端子，并且从所述主基板经由所述背面端子供给电源；以及第二布线，在所述电子基板内电连接所述表面端子和所述背面端子，从所述主基板经由所述背面端子供给与所述第一布线相同电位的电源，并且在所述电子基板内不与所述第一布线电连接。
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