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- [发明专利]基板搬送装置及基板搬送方法-CN200910006166.3无效
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木内智一;小沢津登务
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奥林巴斯株式会社
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2009-02-05
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2009-08-12
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H01L21/677
- 本发明提供一种基板搬送装置及基板搬送方法，其能够在短时间内高效率且高精度地搬送和检查基板并且减小基板搬送装置的设置面积。上述基板搬送装置包括：浮起台(3)，其使基板(2)浮起；导轨(4)，其在基板(2)的搬送方向(箭头D)上呈一条直线状地延伸；以及多个基板搬送部(5、6)，它们能够沿着该导轨(4)彼此独立地移动，多个基板搬送部构成为包括：第一基板搬送部(5)，其接收搬送至搬送方向(箭头D)的上游侧的基板(2)，并且将该接收的基板(2)向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送；和第二基板搬送部(6)，其从该第一基板搬送部(5)接收基板(2)，并且将该接收的基板(2)向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送。
- 基板搬送装置方法
- [发明专利]基板搬送设备-CN201310543082.X有效
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村山繁人
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株式会社大福
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2013-11-06
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2017-09-01
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B65G1/04
- 基板搬送设备具备顶部搬送车，其沿行驶轨道行驶移动而将容器搬送至容器搬送部位；基板搬送装置，其从位于基板取出部位的容器取出基板并将其搬送至基板处理装置；以及中转搬送装置，其使载置容器的载置部沿水平方向移动而在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送容器将基板搬送装置构成为从在载置于载置部的状态下位于基板取出部位的容器取出基板，并将该基板自如地搬送至基板处理装置。
- 基板搬送设备
- [发明专利]基板搬送装置和基板搬送方法-CN202211241254.3在审
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松本航
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东京毅力科创株式会社
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2022-10-11
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2023-04-21
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H01L21/677
- 本发明提供一种基板搬送装置和基板搬送方法。在所述基板搬送方法中，使用第一搬送体和第二搬送体来搬送所述基板，所述第一搬送体和所述第二搬送体分别会通过磁力从基板搬送区域的底部浮起，并且支承基板并沿横向移动，所述基板搬送方法包括以下工序：搬送工序，通过所述第一搬送体将所述基板搬送到模块中的预先决定的基板用的第一基准位置；接受工序，通过所述第二搬送体来接受所述基板用的第一基准位置处的所述基板；以及检测工序，使所述第二搬送体移动到预先决定的搬送体用的第一基准位置来将所述基板搬送到检测部，检测该基板的位置与所述检测部中的预定决定的基板用的第二基准位置之间的俯视时的位置偏离
- 基板搬送装置方法
- [发明专利]基板处理装置、基板处理方法和存储介质-CN201010193101.7有效
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松山健一郎;金子知广
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东京毅力科创株式会社
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2010-05-28
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2010-12-01
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H01L21/00
- 本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法和存储介质。该基板处理装置具有将基板从载体搬送到处理块的搬送机构，能够抑制上述搬送机构的搬送工序数的上升并且提高处理能力。在能够向用于将基板搬入到处理块中的第一交接模块搬送基板时，不经由缓冲模块地以上述搬送顺序从载体向第一交接模块搬送基板，在不能从上述载体向该第一交接模块搬送基板时，以与上述搬送顺序相反的顺序从载体向缓冲模块搬送基板，对搬送机构的动作进行控制，使得在以先于已搬送到上述缓冲模块的基板搬送到上述第一交接模块的方式设定的基板全部被搬送到该第一交接模块后，以上述搬送顺序将该已搬送到上述缓冲模块的基板搬送到第一交接模块。
- 处理装置方法存储介质
- [发明专利]印刷装置以及印刷方法-CN200610073552.0无效
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楠木寿幸
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雅马哈发动机株式会社
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2006-04-10
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2006-10-11
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B41F15/08
- 本发明提供一种可以提高生产效率的印刷装置，其包括沿搬送线方向以及上下方向移动自如的搬送装置(20)，并且执行以下处理：当搬送装置(20)位于搬入装置(11)和搬出装置(12)之间的基板搬送位置时，将基板(W)从搬入装置(11)搬入搬送装置(20)的基板搬入处理；搬送装置(20)基板上升处理；在印刷位置向基板(W)涂敷焊料(S)的印刷处理；搬送装置(20)下降的基板下降处理；以及将基板从搬送装置(20)搬出至搬出装置(12)的基板搬出处理。上述搬送装置(20)位于基板搬送位置时，使搬送装置(20)停止沿搬送线方向移动，上述搬送装置(20)位于上升后的位置时，该搬送装置(20)可以沿搬送线方向移动。
- 印刷装置以及方法
- [发明专利]基板搬送方法及基板处理系统-CN202310014091.3在审
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铃木清司;广濑宽司;后藤亮太;宫下晃一
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东京毅力科创株式会社
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2023-01-05
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2023-07-18
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H01L21/67
- 提供一种基板搬送方法及基板处理系统，在具备将多个基板同时搬送的搬送装置的基板处理系统中，对基板的位置偏移进行校正并进行搬送。该基板搬送方法用于基板处理系统，该基板处理系统具备：多个处理室；装载锁定室；真空搬送装置，设置在将所述装载锁定室与所述处理室连接的真空搬送室中，并且将多个基板同时地搬送；以及大气搬送装置，设置在大气搬送室中，并且将基板从承载器搬送到所述装载锁定室，所述基板搬送方法具有：预先取得多个所述基板从所述装载锁定室被搬送到所述处理室并被载置于所述处理室的载置部时的相对位置偏移量的工序；以及基于所述基板的搬送路径和所述相对位置偏移量，将多个所述基板载置于所述装载锁定室的载置部的工序。
- 基板搬送方法处理系统
- [发明专利]基板搬送装置和配置有这种基板搬送装置的真空处理装置-CN200510090328.8有效
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田口竜大
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株式会社岛津制作所
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2005-08-12
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2006-04-05
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B65G49/07
- 本发明是有关于一种能够使搬送动作简单化、从而能够在短时间里进入至搬送作业状态的基板搬送装置。真空处理装置(100)由真空预备加热腔室(10)和等离子体处理腔室(20)连接构成，在真空预备加热腔室(10)内的上下两个部分处配置着基板搬送装置(11、13)，而且在等离子体处理腔室(20)内设置有基板搬送装置基板搬送装置(11、13、21)可以分别绕状态切换轴(T1、T2、T3)转动，以位于水平位置和倾斜位置处。当被处理基板需要由基板搬送装置(11)搬送至基板搬送装置(21)处时，可以使基板搬送装置(11、21)的搬送面按照分别与搬送线(L2)保持一致的方式实施搬送。当被处理基板需要由基板搬送装置(21)搬送至基板搬送装置(13)处时，可以使基板搬送装置(13、21)的搬送面按照分别与搬送线(L3)保持一致的方式实施搬送。
- 基板搬送装置配置这种真空处理
- [发明专利]基板处理系统和基板搬送方法-CN202310173715.6在审
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新藤健弘
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东京毅力科创株式会社
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2023-02-28
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2023-09-08
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H01L21/677
- 本发明提供一种基板处理系统和基板搬送方法，能够针对多个模块以高自由度且高生产率进行基板替换动作。对基板进行处理的处理系统具备：多个模块，所述多个模块包括保持基板并对基板进行处理的处理室；搬送室，其与多个模块连接；基板搬送装置，其设置于搬送室的内部，进行针对多个模块的基板的交接和基板的取出；以及控制部，其中，所述基板搬送装置具有第一搬送单元和第二搬送单元，第一搬送单元和第二搬送单元能够载置基板，并能够在搬送室的面上独立且自如地进行直线移动及转动，控制部控制基板搬送装置，以使第一搬送单元与第二搬送单元同时并行地移动，来进行用来自多个模块中的一个模块的基板替换多个模块中的其它模块的基板的替换动作。
- 处理系统基板搬送方法
- [发明专利]基板搬送装置、基板作业装置以及搬送带-CN201310439204.0在审
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小木曾武
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雅马哈发动机株式会社
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2013-09-24
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2014-04-09
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H05K13/02
- 本发明涉及基板搬送装置、基板作业装置以及搬送带，所述基板搬送装置沿指定的搬送方向搬送基板，其包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，支撑所述正交方向上的基板的端部；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送带包括：带基部，在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑。根据本发明，能够稳定地搬送厚度及重量不同的各种基板。
- 基板搬送装置作业以及搬送带
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