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- [实用新型]一种拆片码片机构-CN202123367019.4有效
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王雅东;李响忠;杨家伟
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无锡锐思智能焊接装备有限公司
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2021-12-30
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2022-05-31
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H01L21/67
- 本实用新型提供一种拆片码片机构,包括底板、设置于所述底板上的载板、驱动所述载板沿X轴方向移动的归位板取料气缸、设置于所述载板一侧的晶圆归位板单元、沿X轴方向设置于所述载板上的取晶圆伺服模组、设置于所述取晶圆伺服模组一端的取片夹爪伸缩气缸、设置于所述取片夹爪伸缩气缸输出端的取片夹爪气缸、设置于所述取片夹爪气缸输出端的取片夹爪、设置于所述取晶圆伺服模组外侧的第二Y轴归位导轨、与所述第二Y轴归位导轨滑动配合的晶圆过渡板、驱动所述晶圆过渡板沿所述第二Y轴归位导轨滑动的晶圆归位气缸以及设置于所述晶圆过渡板上的光电传感器。实现了晶圆的自动化检测、夹持搬运及码片。
- 一种拆片码片机构
- [发明专利]一种用于传送晶圆片的方法及装置-CN202210689121.6在审
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李学林
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李学林
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2022-06-16
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2022-09-06
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B25J11/00
- 本发明涉及用于传送晶圆片的方法及装置,其方法包括:手动或通过控制设备将传送装置主体移动到晶圆片上方;启动驱动电机使夹取伸缩装置的夹取行程最长,将传送装置缓速下移接近晶圆片,夹取伸缩装的闲置状况下设定为最大行程处;继电器控制电源极性,正接电极,控制电机驱动伸缩装置到最大行程处,启动真空泵将晶圆片吸附在吸盘上;伸缩装置到小行程处夹住晶圆片;将晶圆片移动到晶圆片传送盒内部,松开伸缩装置,断开吸盘的吸力,使得晶圆片放入晶圆片传送盒内部,完成本次晶圆片的传送。本发明解决了晶圆片生产设备由于宕机使得晶圆片无法取出报废的问题并提高了晶圆片生产过程中的安全性。
- 一种用于传送晶圆片方法装置
- [实用新型]半导体晶圆片的移送机构-CN202223535797.4有效
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沙伟中
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苏州艾斯达克智能科技有限公司
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2022-12-29
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2023-09-26
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H01L21/677
- 本实用新型提供的一种半导体晶圆片的移送机构由至少一个物料平台和横向的机械手结构组成一个夹取半导体晶圆片的结构专门用于夹取半导体晶圆片提升夹取的效率。具体的在物料平台上对存放晶圆片的晶圆盒进行定位,横向机械手移动至晶圆盒位置。所述的机械手结构由横向移动机构、旋转机构和升降机构,以及设置于旋转机构上的夹爪装置组成。其中所述的横向移动机构和升降机构控制机械手在水平和竖直方向的移动,到达指定位置后旋转机构带动所述夹爪装置指向晶圆盒位置,所述夹爪装置的移动底板向前移动并达到限位块位置停止。所述夹爪装置连接板上的气缸工作,所述气缸的推杆推动夹块向前移动并加紧存放晶圆片的托盘。
- 半导体晶圆片移送机构
- [实用新型]晶圆片全自动切割清洗一体机-CN202020538024.3有效
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戚孝峰;周鹏程
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争丰半导体科技(苏州)有限公司
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2020-04-13
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2021-01-29
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B28D5/00
- 本实用新型涉及一种晶圆片全自动切割清洗一体机,其包括机体,机体内设置有晶圆片切割放置盘,机体的一侧设置有晶圆片放置料盒,机体内设置有第一取料机构和第二取料机构,第二取料机构延伸至第一取料机构以及晶圆片切割放置盘的上方本实用新型在对晶圆片进行清洗的时候,将晶圆片放置在晶圆片放置料盒内的放置槽中,再将晶圆片放置料盒放置在放料板上,使取料臂在机体中滑移,使取料臂带动Y型气动手指移动到晶圆片放置料盒的一侧,使Y型气动手指夹取晶圆片,再使取料臂带动晶圆片移动至第二取料机构的下方,第二取料机构能够带动晶圆片移动到晶圆片切割放置盘上端,从而能够实现对晶圆片的自动上料。
- 晶圆片全自动切割清洗一体机
- [实用新型]一种晶圆搬运装置-CN202221357898.4有效
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曹治国;江柏霖;汪东路;何秀乐;张立彬;孙军;张坤
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深圳华工新能源装备有限公司
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2022-05-31
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2022-11-01
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H01L21/677
- 本实用新型涉及晶圆加工技术领域,特别涉及一种晶圆搬运装置,包括平移机构和夹持机构,所述平移机构包括滑台且平移机构驱动滑台平移,所述夹持机构包括连接臂和夹爪组件,所述连接臂的一端固设在所述滑台上,连接臂的另一端滑动连接有所述夹爪组件且连接臂与夹爪组件之间设有用于减轻夹取碰撞的弹性缓冲件,连接臂和夹爪组件相对滑动的方向平行于所述滑台平移的方向,所述夹爪组件包括相对活动的上夹片和下夹片,上夹片和下夹片之间形成夹持区,夹持区的一侧形成夹持口,另一侧设有用于夹取限位的限位件。本实用新型提供一种晶圆搬运装置,结构设计合理,能很好地夹取晶圆工件进行搬运,可更好地满足实际需求。
- 一种搬运装置
- [实用新型]一种单晶圆搬运装置-CN202022694384.5有效
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黄自柯;赵晗;林生海
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冠礼控制科技(上海)有限公司
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2020-11-19
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2021-05-25
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H01L21/677
- 本实用新型涉及一种单晶圆搬运装置,包括CST进料单元,CST进料单元上置有用于放置晶圆的晶圆载体,晶圆载体由水平输送模组运送至提升工位,并经提升机构提升至晶圆夹爪转台单元的取货位置,晶圆夹爪转台单元包括转台和晶圆框边夹持气爪,晶圆框边夹持气爪在转台的带动下旋转至取货位置夹取晶圆,并将晶圆输送至晶圆对中单元正上方取片位置,晶圆对中单元包括行程可调气缸以及顶针,晶圆对中单元通过顶针托举正上方的晶圆,并由顶针将晶圆向下输送至晶圆对中单元的对中位置,真空吸盘单元用于吸取晶圆对中单元上的晶圆,并将晶圆输送至上货区域;本实用新型能够实现取片输送与取片回收采用相同机构完成,且使用的零部件少,占空间小。
- 一种单晶圆搬运装置
- [实用新型]一种焊接夹具-CN202221806052.4有效
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张荣昌
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浙江一路金属制品有限公司
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2022-07-13
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2023-01-31
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B23K37/04
- 本实用新型涉及焊接夹具领域,涉及一种焊接夹具,本实用新型包括:夹具一、夹具二和夹具三;夹具一包括基座一、固定板一、横向推夹、夹取组件一和夹取组件二,固定板一设置于基座一上,固定板一内设有圆棒底部卡块,夹取组件一固定于固定块一上,夹取组件一上设有圆棒卡槽,夹取组件一侧端设有定位针,横向推夹通过连杆连接左侧圆棒底部卡块,夹取组件二包括定位套一、定位套二和螺柱,定位套一设置于固定板一上,定位套二通过螺柱与定位套一连接;夹具二包括基座二、固定板二和平片定位块,固定板二设置于基座二上,平片定位块侧端设有平片槽,平片定位块上端滑动固定有定位块压板;夹具三包括基座三和压紧推夹,压紧推夹前端底部设有压杆。
- 一种焊接夹具
- [实用新型]一种转盘式压底机-CN202021571805.9有效
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李连华
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泉州同创鞋业有限公司
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2020-07-31
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2021-03-26
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A43D25/06
- 本实用新型涉及压底机领域,尤其涉及一种转盘式压底机,包括压底机本体、设于压底机本体底部的机座、设于机座顶端的旋转驱动机构、设于旋转驱动机构顶端的圆机台、设于圆机台顶端面的压底装置和设于设于圆机台顶端的圆顶盘,其中取鞋装置旋转台通过固定柱带动顶端的顶盘旋转,同时传动机构带动取鞋装置向外移动到压底装置上方,夹取装置内的电机驱动主动连杆带动摆动旋转,摆臂通过主动连杆和从动连杆向内侧移动,摆臂带动底部的夹片向内移动,夹片将取鞋装置上的鞋子装夹至夹片和摆臂内,然后气缸上升,旋转台旋转将取鞋装置旋转至输送带上进行下道工序的工作,通过取鞋装置完成驱动取鞋,无需人工手动取鞋,长期使用节约了人工成本。
- 一种转盘式压底机
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