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[发明专利]用于金属注入的离子源及其方法-CN201610270946.9在审
发明人： E·韦尔特斯彻;P·祖潘;W·舒斯特德;M·杰里纳克;R·埃伯维恩;F·科勒纳 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本公开涉及用于金属注入的离子源及其方法，具体地，用于注入机的离子源包括设置在离子源室中的第一固态源电极。第一固态源电极包括耦合至第一负电位节点的源材料。第二固态源电极设置在离子源室中。第二固态源电极包括耦合至第二负电位节点的源材料，并且第一固态源电极和第二固态源电极被配置为产生通过注入机注入的离子。
用于金属注入离子源及其方法

[发明专利]射频烹饪器具及控制方法-CN202110220821.6在审
发明人：陈宗龙 -专利权人：广东美的厨房电器制造有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： A47J27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频烹饪器具和控制方法，射频烹饪器具包括：腔体；固态源，用于发射微波并经天线使所述微波馈入所述腔体内；控制部，电连接所述固态源；温度检测部，连接所述控制部，所述温度检测部用于检测所述固态源的温度，所述控制部用于在所述固态源的温度大于预设温度的情况下，控制所述固态源降低所述微波的功率或关闭固态源。本发明实施方式的射频烹饪器具，通过检测固态源的温度，并在固态源的温度大于预设温度的情况下，控制固态源降低微波的功率，进而在空载的情况下，可以保护固态源，保证了射频烹饪器具的可靠性。
射频烹饪器具控制方法

[发明专利]一种固态原材料源瓶及具有其的CVD装置-CN202110600189.8在审
发明人：刘勇;徐志军;江汉;王明;周定;刘敏 -专利权人：聚灿光电科技（宿迁）有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明揭示了一种固态原材料源瓶及具有其的CVD装置。固态原材料源瓶用于CVD制程中提供固态原材料，所述固态原材料源瓶具有至少一层镂空挡板，所述至少一层镂空挡板悬设于所述固态原材料源瓶的内壁上。本发明于固态原材料源瓶中设置镂空挡板，载气会受到镂空挡板的阻挡，会有部分的载气行进到固态原材料源瓶的侧壁及底面，从而保证在整个使用周期内，载气会到达固态原材料源瓶的各个部位，即载气与固态原材料源的接触面积较大(例如大于S1)，达到一个稳定的源物质量的最大值，如此，源效率在整个周期会保持平稳，从而利于生产监控。
一种固态原材料具有 cvd 装置

[发明专利]投影机电源系统-CN201410253484.0有效
发明人：吕方杰;陈启仁;廖振旸;邹庆颖 -专利权人：苏州佳世达光电有限公司;佳世达科技股份有限公司
申请日： 2014-06-09 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： G03B21/14 文献下载
摘要：投影机电源系统包含转换电路、固态灯源驱动电路及固态灯源模组。转换电路具有降压式功率因数控制器，用以接收交流电源并根据交流电源输出第一电源。固态灯源驱动电路连接转换电路且直接自降压式功率因数控制器接收第一电源，固态灯源驱动电路根据第一电源输出驱动电源。固态灯源模组连接固态灯源驱动电路且自固态灯源驱动电路接收驱动电源。
投影机电源系统

[发明专利]一种固态频率源在振动环境条件下频谱可靠性提升系统-CN201910337948.9在审
发明人：张海洲;童雨;江敏 -专利权人：北京遥感设备研究所
申请日： 2019-04-25 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明提出一种固态频率源频谱可靠性提升系统，所述固态频率源频谱可靠性提升系统包括：固态频率源、固体胶、减震垫、系统面，其中固态频率源与减震垫连接，减震垫与系统面连接。所述固态频率源为六面体结构，其包括固定面板、上盖板、左侧面板、右侧面板、前面板、后面板，其中，固定面板与系统面通过固体胶连接。本固态频率源频谱可靠性提升系统能够大幅度提高固态频率源频谱性能，能够使其在振动环境条件下保证较好的频谱性能，提升其可靠性。
频率源频谱可靠性提升减震垫固定面板振动环境固体胶六面体结构右侧面板左侧面板后面板面连接前面板上盖板保证

[发明专利]脉冲采样接口系统-CN201610005379.4有效
发明人：张建华;张孟瑶;王皓宁;刘继福 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2016-01-05 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种脉冲采样接口系统，包括上位机、取样接口板和固态脉冲功率源；所述上位机，给所述取样接口板发送指令；所述取样接口板，从所述上位机接收所述指令；并根据所述指令给所述固态脉冲功率源发送所述指令以对所述固态脉冲功率源的工作状态进行控制；或者根据所述指令读取所述固态脉冲功率源的信号来检测所述固态脉冲功率源的工作状态。本发明能够对固态脉冲功率源进行实时监测或者控制。
脉冲采样接口系统

[发明专利]一种用于半导体加工的固态前驱体源升华装置及方法-CN202111069799.6有效
发明人：谈益强;朱梦玉;薛剑 -专利权人：浙江陶特容器科技股份有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体加工的固态前驱体源升华装置及方法，旨在解决固态前驱体源的挥发升华不稳定，固态前驱体源的利用率低的不足。该发明包括存储箱、安装在存储箱内的若干托盘、安装在托盘底部的电热温控板，托盘上密布若干用于装载固态前驱体源的储料槽，储料箱形成蛇形的通气流道，储料箱上设置载气进口、混合蒸汽出口，通气流道两端分别与载气进口这种电热式固态前驱体源存储升华装置能为固态前驱体源的挥发升华提供均匀的稳定热能，并且杜绝了低阻通道现象的形成，对一些易板结的且具有一定蒸汽压的固态前驱体源仍然可以利用，在提供稳定浓度的固态前驱体源蒸汽同时提高了固态前驱体源的利用率
一种用于半导体加工固态前驱升华装置方法

[实用新型]用于微通道板原子层沉积设备的固态源稳定蒸发装置-CN202121986374.7有效
发明人：王鹏飞;王健;李冬;丛晓庆;乔芳建;邱祥彪;李涛;陈晓倩;任玲;王志 -专利权人：北方夜视科技（南京）研究院有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于微通道板原子层沉积设备的固态源稳定蒸发装置，包括：水浴槽；设置有固态源的固态源瓶，所述固态源瓶容纳在水浴槽内，并进行水浴加热；控温装置，所述控温装置用于控制所述水浴槽中水保持设定的温度；超声波发生器，位于水浴槽的底部；超声波控制器，与所述超声波发生器连接，所述超声波控制器用于控制超声波发生器的运行，以使水浴槽中水发生振动并辐射到固态源瓶及其中的固态源。本实用新型提出基于水浴与超声波振动辅助的固态源稳定蒸发装置，在较低温度下即可实现固态源的稳定蒸发，在达到相同蒸发量的情况下加热温度更小，且不易结块，降低了原子层沉积设备管道的温耗，并且固态源的消耗保持稳定状态
用于通道原子沉积设备固态稳定蒸发装置

[实用新型]脉冲采样接口系统-CN201620008419.6有效
发明人：张建华;张孟瑶;王皓宁;刘继福 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2016-01-05 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种脉冲采样接口系统，包括：上位机、取样接口板和固态脉冲功率源；所述上位机，给所述取样接口板发送指令；所述取样接口板，从所述上位机接收所述指令；并根据所述指令给所述固态脉冲功率源发送所述指令以对所述固态脉冲功率源的工作状态进行控制；或者根据所述指令读取所述固态脉冲功率源的信号来检测所述固态脉冲功率源的工作状态。本实用新型能够对固态脉冲功率源进行实时监测或者控制。
脉冲采样接口系统

[实用新型]一种固态源瓶-CN202023119934.7有效
发明人：刘彦峰;赖海斌;王桐;王韫宇;赵茂生 -专利权人：厦门韫茂科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种固态源瓶，包括罐体、内部安装固态源的储样桶、进气管和出气管；所述储样桶的桶身具有多孔过滤结构，安装于所述罐体内部；所述进气管插入所述罐体内底部，所述出气管插入罐体，整个罐体以及进气管和出气管外部均完全包裹加热装置整个罐体以及进气管和出气管外部均完全包裹加热装置，对固态源及其相连的输运管路进行加热，可以减少固态源的冷凝沉积，解决了固态源蒸气进入输运管路的阻塞问题，通过载气气体进入源瓶，更高效的将固态源输运到待镀膜腔体，可以保持输运管路的清洁，可以提高固态源的利用效率50％以上，极大地节省了生产成本。
一种固态

[发明专利]一种双通道固态源双通道实现微波分区加热的方法及设备-CN201911096769.7在审
发明人：朱铧丞;杨阳;黄卡玛 -专利权人：四川大学
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H05B3/08 文献下载
摘要：本发明是一种双通道固态源实现微波分区加热的设备及方法，涉及微波加热领域，解决了现有技术中多通道固态源分区加热，加热成本高、结构复杂的问题。本发明包括双通道固态源和加热腔，还包括相控阵天线单元、功分器和移相器；所述相控阵天线单元设置于加热腔内；所述双通道固态源分别通过功分器连接相控阵天线单元；所述其中双通道固态源一个通道微波信号通过移相器连接功分器本发明通过双通道固态源及移相器，实现加热腔内分区加热；通过控制双通道固态源的频率、输出功率及工作时间进行加热调节，本发明分区加热，结构简单、成本低。
一种双通道固态实现微波分区加热方法设备

[发明专利]一种固态源的检测装置及其检测方法-CN201710449660.1在审
发明人：兰云峰;史小平;李春雷;王勇飞;王洪彪 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G01F23/296 文献下载
摘要：本发明公开了一种固态源的检测装置及其检测方法，用于检测源瓶内固态源的实时余量，检测装置包括一至多个超声波传感器，设于源瓶顶部，用于向源瓶内部下方发射超声波，并接收反射的超声波；计算单元，用于根据超声波开始发射与开始接收之间的时间差以及源瓶内饱和蒸汽的温度，计算超声波测量距离，并换算为源瓶内固态源的高度，进而计算出源瓶内固态源的实时余量。本发明通过超声测距的方法，提高了检测的精准性，可精准检测固态源的余量，还可降低工艺污染带来的影响。
固态源源瓶检测装置超声波检测超声波传感器超声波测量饱和蒸汽超声测距工艺污染计算单元时间差检测源发射换算反射

[发明专利]校准方法、校准系统和微波烹饪设备-CN202011108845.4在审
发明人：陈宗龙 -专利权人：广东美的厨房电器制造有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H05B6/68 文献下载
摘要：校准方法用于微波烹饪设备的固态源。固态源包括至少一个输出端。校准方法包括：根据第一功率设定值，控制固态源发射微波，固态源的输出端连接有衰减器，衰减器连接有功率计；获取固态源的正向功率采样值；调节固态源的衰减值以使得从功率计读取到的实际输出功率值与第一功率设定值相等上述校准方法中，可将第一对应关系保存在固态源，使得固态源在接收设定功率值指令时，通过第一对应关系，快速响应并输出设定功率值，进而可以较为精准地控制输出的能量。
校准方法系统微波烹饪设备

[发明专利]固态前驱体源升华装置-CN202310384764.4有效
发明人：张洪国;夏益伟;郎陈子航;刘磊;唐继远;王旭敏 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种固态前驱体源升华装置，包括固态源瓶主体，固态源瓶主体顶部的上盖板上设置有填料管以及进气管、出气管，出气管的下端终止于上盖板的下端面，其上端通过管路连通薄膜沉积腔体，管路上包裹有加热套；固态源瓶主体内设置有铜衬套，铜衬套卡接密封在上盖板与固态源瓶主体的底壁之间，固态源瓶主体内设置有缠绕在铜衬套外部的加热线圈；铜衬套内的中部设置有丝网过滤垫；铜衬套的底部设置有粉末防漏垫、气体分流板，填料管的下端穿过丝网过滤垫、终止于粉末防漏垫上方本发明能够更好的有助于固态源的升华，提高了固态源的使用效率。
固态前驱升华装置

[发明专利]一种利用单固态源调频实现微波分区加热的方法及设备-CN201911096776.7有效
发明人：朱铧丞;杨阳;黄卡玛 -专利权人：四川大学
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H05B6/68 文献下载
摘要：本发明涉及微波加热领域，是指一种利用单固态源调频实现微波分区加热的方法及设备，解决了现有技术中多固态源分区加热，加热成本高、结构复杂的问题。本发明包括固态源和加热腔，还包括天线辐射装置、功分器；所述天线辐射装置设置于加热腔内；所述固态源通过功分器连接天线辐射装置；所述功分器为两组以上微带电路。本发明通过功分器连接固态源，控制固态源的频率、输出功率及工作时间，实现加热腔内分区加热；本发明可实现分区加热，结构简单、成本低。
一种利用固态调频实现微波分区加热方法设备

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