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- [发明专利]半导体工艺腔室-CN202111430718.0有效
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王洪彪;兰云峰;王勇飞
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2021-11-29
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2023-10-13
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C23C16/455
- 本发明提供一种半导体工艺腔室,包括腔体、基座和导气结构,导气结构包括上导气件和下导气件,上导气件的上导气腔用于由基座的四周接收气体,且其底部形成有环形开口,下导气件的底部与排气口601连通,下导气件的顶部具有多个将上导气腔与下导气件的下导气腔连通的导气通孔,下导气腔中设置有与导气通孔一一对应的多个导气组件,导气组件能够使气体通过导气通孔由上导气腔流入下导气腔的最小流通截面积随导上下气体之间的压差增大而减小。在本发明中,上导气腔通过多个开度随上下气体压差增大而减小的导气组件与下导气腔连接,从而在各种工况下均能保证晶圆上方气体流场的周向均匀性,进而在提高薄膜厚度均匀性的同时提高半导体工艺腔室的适应性。
- 半导体工艺
- [发明专利]一种旋转组件和紫外线热处理设备-CN202010192102.3有效
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王洪彪
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2020-03-18
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2023-10-13
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H01L21/67
- 本发明提供一种紫外线热处理设备的旋转组件,包括至少一个旋转件,所述旋转件能够绕该旋转件的旋转轴旋转,还包括与旋转件间隔设置的止动机构,所述止动机构包括止动索和壳体,所述壳体上形成有绳索出口,所述止动索的一端设置在所述壳体内,所述止动索的另一端穿过所述绳索出口固定在所述旋转件上;所述止动索位于所述壳体内的部分上形成有止动部,且所述止动部无法穿过所述绳索出口。在本发明中,止动索在旋转件转动时被旋转件从绳索出口扯出,当旋转件旋转超过预设角度时,止动索上的止动部因无法穿过绳索出口而卡在壳体中,从而使旋转件无法继续转动,进而及时结束工艺,提高半导体工艺的安全性。本发明还提供一种紫外线热处理设备。
- 一种旋转组件紫外线热处理设备
- [实用新型]蒸汽凝液回收利用装置-CN202223604912.9有效
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房清龙;尚志伟;王洪彪
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山东龙港化工有限公司
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2022-12-29
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2023-07-14
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F28B3/00
- 本实用新型涉及蒸汽凝液回收技术领域,具体地说,公开了一种蒸汽凝液回收利用装置,包括回收箱本体,回收箱本体的外壁上端连接有入气管,回收箱本体的顶部设有冷凝仓,其内部设有冷凝管,回收箱本体的中部开设有回收口,回收箱本体的内部设有回收组件,回收组件的底部连接有抬升组件。本实用新型通过入气管,令蒸汽可进入回收箱本体的内部,利用冷凝仓和冷凝管,使蒸汽可通过冷凝管散发的冷气进行冷却,凝结为水珠,利用抬升组件,带动回收组件滑动在回收箱本体的内部,便于对回收箱本体内壁上的蒸汽凝结的水珠进行回收,再利用回收口,便于将回收组件内部的水珠取出,在一定程度上提升了蒸汽凝液的回收效率。
- 蒸汽回收利用装置
- [实用新型]一种试验田作物标记装置-CN202320822016.5有效
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于峰;赵继春;丰尚弘;王洪彪;陈会娜
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北京市农林科学院
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2023-04-13
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2023-07-07
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G06Q50/02
- 本实用新型提供一种试验田作物标记装置,属于试验田管理技术领域。该试验田作物标记装置包括:处理器、图像采集模块、图像建模模块、数据标识模块、电源模块、存储模块;处理器用于实现与外围电路的通信与控制,实现数据调度与运算;图像采集模块用于采集试验田的全景图像;图像建模模块用于基于全景图像进行建模,获取试验田平面图,根据定位数据在试验田平面图上对试验田包括的种植地块的定位信息进行标注处理;数据标识模块用于对种植地块的作物种植信息进行标注处理;存储模块用于存储全景图像、试验田平面图、完成标注后的试验田平面图。该装置实现精准标注,降低标注成本和人工成本,提高工作效率,可以减少环境污染。
- 一种试验田作物标记装置
- [实用新型]中和系统水洗水高效回收装置-CN202223241186.9有效
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李少峰;王洪彪;尚志伟
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山东龙港化工有限公司
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2022-11-30
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2023-05-16
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B08B9/087
- 本实用新型公开了一种中和系统水洗水高效回收装置,属于水洗水高效回收技术领域,包括原水箱,原水箱的内部固定连接有第一竖杆,第一竖杆的表面套接有支撑架,支撑架的四侧均固定连接有清理板,四个清理板的内部均匀开设有矩形槽,矩形槽的内部滑动插接有T型杆,由此,通过牵引绳驱动支撑架进行上下移动,支撑架上下移动带动清理板进行上下移动,进而清理板侧面的毛刷板对原水箱的内壁进行清洗作用,同时毛刷板一侧T型杆连接有第一弹簧,通过第一弹簧的弹力调节毛刷板的位置,从而毛刷板对原水箱内壁的凹凸位置都可以进行清洗,进而增加毛刷板对原水箱内壁的清理能力,避免人工清理原水箱内壁的不便利。
- 中和系统水洗高效回收装置
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