专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种测量膜厚的装置及方法-CN201811583928.1有效
  • 刘谆骅 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2018-12-24 - 2020-09-04 - G01B11/06
  • 本发明公开了一种测量膜厚的装置及方法,所述光源发出的光束经过所述光束整形器形成线状光束,所述线状光束依次经过所述固定起偏器和旋转起偏器进入晶圆表面的膜层,并在晶圆表面的膜层中发生反射和折射,线状光束经过膜层反射之后进入所述聚焦光栅单元,所述聚焦光栅单元将反射之后的线状光束色散为二维光谱,所述二维光谱经过所述检偏器进入所述图像传感器,得到关于光强信号的二维光谱图像,根据所述二维光谱图像上的光强信号得到晶圆表面对应位置的膜层厚度。本发明中一种测量膜厚的装置及方法,能够同时测量多个点的反射信号,既能提高测量速度,又大大减少了测量过程中的机械运动。
  • 一种测量装置方法
  • [发明专利]图案检查装置及图案检查方法-CN201410053224.9有效
  • 藤原成章 - 斯克林集团公司
  • 2014-02-17 - 2017-04-19 - G01N21/892
  • 在该图案检查装置上设有第一光源部(331),将光照射至透明基材(9)的形成有图案的一侧主表面(91)上;第二光源部(332),将光照射至另一侧主表面(92)上;一个第一受光部(341),接受第一光源部(331)的光中被图案反射反射光和第二光源部而且,一边使透明基材(9)连续移动,一边交替点亮第一光源部(331)和第二光源部(332),从而用一个第一受光部(341)获取基于图案的反射光而形成的反射图像和基于透明基材(9)的透过光而形成的透过图像
  • 图案检查装置方法
  • [发明专利]无源光网络光纤的故障检测方法及装置-CN201310055961.8有效
  • 徐继东;陆建鑫 - 中兴通讯股份有限公司
  • 2013-02-22 - 2017-02-08 - H04B10/071
  • 包括在无源光网络的主干光纤上设置分路耦合器,以及在无源光网络的各个分支光纤上分别设置分路路由器,且所有的分路路由器均通过多模耦合器与分路耦合器连接;从光线路终端发出的下行业务光、从光网络终端发出的上行业务光以及从光时域反射仪发出的光程检测光按照原定路线运行,而从每个光网络终端发出的光程检测光的反射光经分路路由器绕过了分光器到达多模耦合器,并经多模耦合器耦合后进入分路耦合器,减少了反射光的损耗,提交了其信噪比,使得反射光能够顺利的到达OTDR上,达到了运营商在
  • 无源网络光纤故障检测方法装置
  • [发明专利]光源装置以及具备该光源装置的图像投影装置-CN201410046082.3有效
  • 西森丈裕;藤田和弘;村井俊晴;前田育夫;高桥达也 - 株式会社理光
  • 2014-02-10 - 2014-08-27 - G03B21/20
  • 本发明涉及光源装置以及具备该光源装置的图像投影装置,其目的在于不仅冷却光源装置中多个发光元件构成的发光元件组,而且还有效冷却使发光元件组发射的光返回该发光元件组内侧的光反射部件。本发明的光源单元(1)具有发射光照射照射对象物的发光元件组,该发光元件组具有多个被保持在光源保持体(13)上呈平面布置的发光元件(11-1)~(11-12),在所述发光元件组发射光的一侧设有第二反射镜(10),该第二反射镜(10)隔着空间与光源保持体(13)相对设置,用于反射发光元件组发射的光,使得光返回该发光元件组的多个发光元件内侧,并且形成冷却风的流路,用以使得由轴流风扇(3)送入的冷却风通过上述空间
  • 光源装置以及具备图像投影
  • [发明专利]折返式LED照明光学系统-CN201410125879.2有效
  • 张晓晖;陈琛;陈亮;程刚 - 中国人民解放军海军工程大学
  • 2014-03-31 - 2014-07-09 - F21S2/00
  • 本发明涉及LED照明的准直光学系统技术领域,具体涉及一种折返式LED照明光学系统,包括自由曲面透镜和自由曲面反射器,所述自由曲面透镜和自由曲面反射器共轴,间距为0.01m-0.1m;所述自由曲面透镜包括第一曲面为旋转对称自由曲面;第二曲面,为旋转对称自由曲面;第三曲面,为旋转对抛物面,抛物面的焦点为第二曲面折射光线的虚拟光源点;第五曲面,为旋转对称自由曲面;以及第四曲面,为圆柱面,用于连接第三曲面和第五曲面;所述自由曲面反射器本发明实现了任意视场角的照明,而不会因为全反射降低光学系统的光效。
  • 折返led照明光学系统
  • [发明专利]一种基于环境卫星的灰霾污染监测方法-CN201410168708.8有效
  • 陶明辉;陈良富 - 中国科学院遥感与数字地球研究所
  • 2014-04-24 - 2017-11-24 - G06F19/00
  • 本发明涉及卫星遥感技术领域,公开了一种基于环境卫星的灰霾数据反演方法,包括以下步骤获取给定海拔的地表反射率数据,以及所监测区域的地基数据和环境卫星数据;利用所述地基数据建立所监测区域的灰霾气溶胶模式,根据所述灰霾气溶胶模式和地表反射率数据建立用于灰霾数据反演的查找表;根据所述环境卫星数据识别灰霾;利用环境卫星数据、地表反射率数据、查找表计算得到所监测区域的灰霾光学厚度,作为反演得到的灰霾数据。本发明利用高空间分辨率的环境卫星数据结合精确的地表反射率数据反演灰霾数据,可以反演得到连续的高分辨率定量灰霾数据,准确度高。
  • 一种基于环境卫星污染监测方法

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