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[发明专利]一种光学元件表面缺陷测量装置-CN202310925058.6在审
发明人：孙安玉;虞兵;曲凯歌;张师健;居冰峰;陈远流;朱吴乐;管凯敏 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学元件表面缺陷测量的装置。本发明包括成像单元、扫描运动单元、轮廓测量单元、自动聚焦单元、样品装夹单元、调平调心单元、主控单元。成像单元由粗测量光路和精测量光路组成；轮廓测量单元拟合生成聚焦地形图；自动聚焦单元调整显微物镜上下微动实现自动聚焦成像；所述的样品装夹单元用于固定被测样品；调心调平单元是集调平调心于一体的自动化装置。本发明利用低倍率暗场散射结合高倍率明暗场成像方式，快速的发现光学元件表面缺陷以及精确测量缺陷尺寸；本发明保证了缺陷识别和分类的效率和精度。
一种光学元件表面缺陷测量装置

[发明专利]一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法-CN202110896664.0有效
发明人：孙安玉;钟皓泽;居冰峰;管凯敏;翟石磊;王杰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感器一次性测量出到盖玻片上/下表面的距离、待观测生物组织层的厚度；通过标定确立显微物镜物方焦点和光谱共焦传感器测量值之间的空间关系，进而实现由光谱共焦传感器测量值直接驱动聚焦运动装置实现生物显微视觉的精确自动对焦。本发明还提供一种基于上述装置及方法的数字切片扫描仪。本发明适用于数字切片扫描仪的聚焦地形图构建，也可用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
一种基于光谱原理生物显微视觉对焦装置方法

[发明专利]一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法-CN202110896661.7有效
发明人：孙安玉;钟皓泽;居冰峰;管凯敏;杨筱钰;陈远流;朱吴乐 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法。本发明将光谱共焦技术、激光散射技术和激光诱导超声技术结合起来，通过色散镜组将激发激光和检测激光同时聚焦到光学元件的不同深度，激发激光在光学元件亚表面产生瞬态热膨胀效应，检测激光观测并分析亚表面缺陷在热膨胀效应作用下的超声振动，由光谱共焦技术获取亚表面缺陷位置散射光的空间分布信息及散射光谱信息。通过利用上述技术得到缺陷的反射光谱、散射光谱、三维形状、缺陷深度等多维度信息，进行亚表面缺陷的损伤表征。本发明适用于对亚表面缺陷有严苛要求的超精密光学元件的成品无损检测。
一种用于光学元件表面缺陷检测装置方法

[实用新型]基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置-CN202121820233.8有效
发明人：孙安玉;钟皓泽;居冰峰;管凯敏;翟石磊;王杰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01N21/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感模块包括色散镜头、宽光谱光源、光纤光路、光谱测量模块、控制系统；显微光学模块包括显微物镜、结像透镜、倍率转换镜、聚光镜、光源、数字摄像装置；玻片夹持装置用于固定标准生物玻片，保证标准生物玻片在水平运动时不发生滑移；聚焦运动装置用于实现驱动玻片夹持装置与显微物镜之间相互移动；扫描运动装置用于驱动玻片夹持装置在X‑Y平面内运动，完成对标准生物玻片的扫描。本实用新型用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
基于光谱原理生物显微视觉对焦装置

[实用新型]载玻片夹取和固定装置-CN202020423080.2有效
发明人：万方;孙安玉;杜慧林;居冰峰;管凯敏 -专利权人：浙江大学
申请日： 2020-03-29 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： B25J9/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种载玻片夹取和固定装置，包括控制模块、底板、步进电机及驱动器、传动机构、导向机构、力传感器和夹爪。控制模块连接力传感器和驱动器，所述的驱动器连接步进电机，力传感器安装夹爪之间或传动机构之间，测量因夹爪运动而产生改变的力的大小，并反馈给控制模块，控制模块接收力传感器的反馈信号，并通过驱动器控制步进电机转动；夹爪连接传动机构和导向机构，传动机构连接步进电机，导向机构约束夹爪的运动；步进电机及驱动器、传动机构和导向机构都安装在底板上。本实用新型装置将载玻片夹取和固定功能集成在同一装置，并采用力传感器进行反馈，可以整合机构，简化操作，同时降低控制的精度要求，提高了自动显微镜的效率。
载玻片固定装置

[发明专利]一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置及方法-CN201911097409.9有效
发明人：孙安玉;李智宏;居冰峰;王传勇;胡耀元;管凯敏 -专利权人：浙江大学
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种超声调制配合散射光检测的装置和方法。本发明装置包括超声激发装置、激光散射检测装置、运动平台、样品台、光电二极管、二极管放大器和数字示波器；将超声调制技术与激光散射缺陷检测技术相结合，通过在检测样品表面进行超声调制，引入缺陷特征在运动状态下的动态变化，观测并分析此状态下缺陷的静态光散射效应，通过对散射光强的幅值及相位变化进行分析实现对缺陷的检测。本发明在散射检测中加入超声调制，提供两种缺陷检测结果，并利用扫描方式提供直观的缺陷分布图像。本发明可应用于精密光学元件的缺陷检测，尤其适用于对亚表面缺陷有严格要求的超精密光学元件的成品检测。
一种基于超声调制表面缺陷检测装置方法

[发明专利]一种载玻片夹取和固定装置-CN202010233229.5在审
发明人：万方;孙安玉;杜慧林;居冰峰;管凯敏 -专利权人：浙江大学
申请日： 2020-03-29 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： B25J9/12 文献下载
摘要：本发明提供一种载玻片夹取和固定装置，包括控制模块、底板、步进电机及驱动器、传动机构、导向机构、力传感器和夹爪。控制模块连接力传感器和驱动器，所述的驱动器连接步进电机，力传感器安装夹爪之间或传动机构之间，测量因夹爪运动而产生改变的力的大小，并反馈给控制模块，控制模块接收力传感器的反馈信号，并通过驱动器控制步进电机转动；夹爪连接传动机构和导向机构，传动机构连接步进电机，导向机构约束夹爪的运动；步进电机及驱动器、传动机构和导向机构都安装在底板上。本发明装置将载玻片夹取和固定功能集成在同一装置，并采用力传感器进行反馈，可以整合机构，简化操作，同时降低控制的精度要求，提高了自动显微镜的效率。
一种载玻片固定装置

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