|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 6388767个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]硅通孔侧壁的平坦化方法-CN201410068687.2有效
-
勇振中;张文奇
-
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
-
2014-02-27
-
2017-01-04
-
H01L21/768
- 本发明涉及一种工艺方法，尤其是一种硅通孔侧壁的平坦化方法，属于硅通孔加工的技术领域。按照本发明提供的技术方案，一种硅通孔侧壁的平坦化方法，所述侧壁平坦化方法包括如下步骤：a、提供基板，并对所述基板进行刻蚀，以在所述基板内得到深孔；b、对所述基板进行氧等离子体环境下的氧等离子体氧化或氧等离子体阳极氧化，以在所述深孔的侧壁上形成氧化绝缘层；所述氧等离子体氧化过程中基板的温度为200℃~600℃；c、利用等离子体刻蚀去除上述深孔侧壁的氧化绝缘层；d、重复上述步骤b及步骤c，直至深孔侧壁达到所需的光滑度。本发明工艺步骤简单，能对TSV的侧壁进行有效平坦化，便于TSV内加工的可靠性，适应范围广，安全可靠。
- 硅通孔侧壁平坦方法
- [发明专利]镗孔机套筒侧壁通孔定位夹持件-CN201610216212.2在审
-
张文燕
-
安徽宝昱电子科技有限公司
-
2016-04-08
-
2016-07-06
-
B23B41/02
- 镗孔机套筒侧壁通孔定位夹持件，包括一个机体(1)，在机体(1)上设置信息定位模块(2)、信息接收模块(3)、压力感应模块(4)、管理模块(5)，运行时，信息定位模块(2)分别设置在机体(1)的套筒侧壁上，信息接收模块(3)设置在通孔上，感应其与信息定位模块(2)的位置关系，管理模块(5)处理综合信息；在信息接收模块(3)上设置计数模块(6)，依次记录信息定位模块(2)的数值以及序号；在管理模块(5)上设置显示模块(7)，实时显示信息定位模块(2)与信息接收模块(3)的位置情况；在管理模块(5)上设置提示模块(8)；通过控制通孔位置、数量情况来使得机身部件运作顺利。
- 镗孔机套侧壁定位夹持
- [发明专利]一种改善通孔侧壁形貌的方法-CN201210393966.7无效
-
陶铮;松尾裕史
-
中微半导体设备（上海）有限公司
-
2012-10-17
-
2014-05-07
-
H01L21/3065
- 本发明提供一种改善通孔侧壁形貌的方法，所述方法为将硅基底放置在一等离子体刻蚀腔内，在所述等离子体刻蚀腔内通入反应气体，所述反应气体包括含氟元素的气体，还包括为COS气体或H2S气体的一种或两种，COS气体或H2S气体产生的碳离子、氧离子、氢离子和硫离子与侧壁硅反应生成碳硅化合物、硅氧化和物、硅硫化合物、硅氢化合物附着在硅通孔的侧壁和底部，形成钝化层。F等离子在大功率条件下垂直轰击底部的钝化层或Si，可以对孔洞底部的Si形成快速刻蚀，而在孔洞的侧壁，F等离子没有垂直方向的动能的作用，F等离子对钝化层的刻蚀速率很慢，因此，在整个刻蚀过程中，横向刻蚀速率慢
- 一种改善侧壁形貌方法
- [实用新型]一种滑槽侧壁通孔去毛刺用锉刀-CN202023252584.1有效
-
朱海洋
-
大连深科光学有限公司
-
2020-12-30
-
2021-09-28
-
B23D67/12
- 本实用新型公开了一种滑槽侧壁通孔去毛刺用锉刀，包括操作手柄和安装柱，操作手柄的内部穿插连接有安装柱，操作手柄内壁一端的两侧均开设有滑腔，两个滑腔的内部均滑动连接有安装板，两个安装板的一端均固定连接有固定销组，两个固定销组均由三个固定销组成，安装柱一端的两侧均开设有销孔组，两个销孔组均由三个销孔组成，两个固定销组分别与两个销孔组卡合连接，两个滑腔的一端均开设有通孔，操作手柄外壁一端的两侧均开设有安置槽，本实用新型一种滑槽侧壁通孔去毛刺用锉刀，在进行更换锉刀端头时，只需取下防滑套拉动两个调节杆，将两个固定销组从两个销孔组内拉出，即可将安装柱拔出，方便更换锉刀端头。
- 一种滑槽侧壁通孔去毛刺锉刀
|
