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- [实用新型]偏振态位相可调控宽光谱反射镜-CN201320740936.9有效
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段微波;李大琪;陈刚;余德明;黄伟庆;刘定权
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中国科学院上海技术物理研究所
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2013-11-21
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2014-10-15
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G02B5/08
- 本实用新型公开了一种偏振态位相可调控宽光谱反射镜,在光学基片(1)上依次制备金属膜层(2),中心波长可调全介质反射膜堆(3)以及位相调制非规整多层介质膜层(4),中心波长可调全介质反射堆(3)的结构为:(H L)xH,其中x为反射堆的周期,x=1-10,H为λ0/4膜厚的高折射率材料nH膜层,L为λ0/4膜厚的低折射率材料nL膜层;所述的位相调制非规整多层介质膜(4)的结构为:aH bL cH dL eH fL…,其中,a,b,c,d,e,f…代表位相调控非规整多层介质膜(4)各膜层的厚度系数,H为λ0/4膜厚的与中心波长可调全介质反射堆(3)相同高折射率材料nH的膜层,L为λ0/4膜厚的与中心波长可调全介质反射堆(3)相同低折射率材料
- 偏振位相调控光谱反射
- [发明专利]高密度电容器结构及其制作方法-CN201310270855.1有效
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黎坡
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2013-06-28
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2017-07-11
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H01L21/02
- 本发明提出一种高密度电容器结构及其制作方法,在半导体衬底上形成多个由第一金属层‑第一介质层‑第二金属层‑第二介质层组成的堆膜,接着分别刻蚀堆膜的侧壁,暴露出一部分第一金属层和第二金属层的表面,在所述堆膜的侧壁以及表面形成第三介质层,接着在堆膜的侧壁形成金属连接线,金属连接线与暴露出的第一金属层和第二金属层的表面电连接;由此第一金属层、第二金属层作为电容器的两个极板,第一介质层和第二介质层隔离第一金属层和第二金属层,金属连接线分别连接第一金属层和第二金属层,从而使多个堆膜形成并联的电容器,进而能够在不增加极板面积的同时,提高单位面积电容器的密度,增加电容器的电容量。
- 高密度电容器结构及其制作方法
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