专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]整合结构-CN201310150648.2无效
  • 黄昭元;何岳风;杨名声;陈辉煌 - 艾芬维顾问股份有限公司
  • 2013-04-26 - 2014-10-29 - H01L23/528
  • 本发明提供一种整合结构,包含:衬底,具有第一层与第二盖层依序设置于衬底上;金属栅极晶体管,具有设置于该衬底上的介电常数栅极层、嵌于该第一层之内的栅电极以及位于该衬底内的源极/漏极;第一金属接触件,贯穿该第一层且与该源极/漏极直接接触;及硅穿孔,贯穿该第二盖层、该第一层与该衬底。
  • 整合结构
  • [发明专利]一种超高密度单层纳米晶存储器的制备方法-CN201310208992.2无效
  • 刘晓杰;李爱东;高墨昀;李学飞;吴迪 - 南京大学
  • 2013-05-30 - 2013-09-04 - H01L21/8247
  • 本发明公开了一种超高密度单层纳米晶存储器的制备方法,先用ALD方法在干净的半导体衬底上生长一层3~10nm厚的隧穿层,形成薄膜;接着将3~8nm粒径可控、单分散好的金属纳米颗粒浸渍涂覆或旋涂在薄膜上,自组装成有序排列的单层纳米颗粒点阵;最后再利用ALD方法在单层纳米颗粒点阵表面覆盖一层10~30nm厚度的材料控制层。本发明利用湿化学法在合成大小可控、单分散性好的金属纳米颗粒方面的优势,通过廉价的浸渍涂覆或旋涂的方法,在ALD沉积的超薄膜层上自组装单层有序金属纳米颗粒点阵,然后再ALD生长一层厚度为10~30纳米的薄膜控制层
  • 一种超高密度单层纳米存储器制备方法
  • [发明专利]双镶嵌结构制作方法-CN200910194919.8有效
  • 周鸣;牛孝昊 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2009-08-31 - 2011-04-06 - H01L21/768
  • 一种双镶嵌结构制作方法,包括:在基底上依次形成第一材料层和第二材料层,其中,所述第二材料层覆盖所述第一材料层,且所述第二材料的硬度大于所述第一材料的硬度;分别在所述第一材料层和所述第二材料层中,形成沟槽和管孔,并在所述沟槽和所述管孔中沉积金属材料;去除多余的金属材料的同时,去除所述第二材料层,使所述第一材料层表面具有低厚度的所述第二材料层或不具有所述第二材料层。本发明在不增加工艺复杂度的情况下,减小硬度小的第一材料层被刮伤或磨损的几率,保证了器件不仅具有良好的性能,还具有稳定性、高产品良率以及良好的传输性能。
  • 镶嵌结构制作方法
  • [发明专利]材料的电击穿电场强度和系数的测量系统-CN202211024423.8在审
  • 贾攀;周健友;仲政 - 哈尔滨工业大学(深圳)
  • 2022-08-25 - 2022-11-04 - G01R31/12
  • 本申请涉及一种软材料的电击穿电场强度和系数的测量系统,包括驱动机构、系数测量模块和击穿电场强度测量模块;击穿电场强度测量模块包括变压器、数据采集卡、俯视拍摄相机;测量过程中数据采集卡向变压器输入低电压,经过变压器放大为电压,将电压接入软材料形成回路电流,将回路电流峰值对应的电压作为电击穿电压;通过俯视拍摄相机记录的电极面积的变化确定薄膜厚度的变化;根据电击穿电压和薄膜厚度的变化,确定电击穿电场强度;系数测量模块包括LCR表和俯视拍摄相机;通过LCR表测量两个电极之间的电容;通过俯视拍摄相机记录测量过程中电极面积的变化;通过电容和电极面积的变化,确定系数。
  • 软介电材料击穿电场强度系数测量系统
  • [发明专利]一种制备薄膜的方法-CN201310199062.5有效
  • 刘江萍;陈骁;何流;王锦梅;徐晓薇 - 刘江萍
  • 2013-05-27 - 2013-08-14 - C08L81/06
  • 本发明实施例公开了一种聚合物复合薄膜的制备方法,其特征在于,包括:将主材料A与一定量的第一溶剂充分混合,获得第一浆料;将具有介电常数、低损耗的有机材料B与一定量的第二溶剂混合分散,获得第二浆料;将第一浆料和第二浆料充分混合后,获得第三浆料;真空容器中静置熟化第三浆料,获得混合均匀的凝胶态有机复合材料;将凝胶态复合材料加入到挤出机中,加热挤出,待熔膜挤出后通过冷却辊骤冷,再将挤出冷却膜通过拉伸成膜机双向拉伸,最后通过150℃热定型后,制得聚合物复合薄膜。该薄膜具有介电常数值、击穿电压值和低损耗值。
  • 一种制备高介电薄膜方法
  • [发明专利]半导体结构和形成方法-CN201010227409.9有效
  • S·A·科恩;A·格里尔;T·J·小黑格;刘小虎;S·V·源;T·M·肖;H·肖芭 - 国际商业机器公司
  • 2010-07-12 - 2011-01-26 - H01L23/532
  • 提供一种具有低于4.2的介电常数的帽盖层,其呈现比常规帽盖层更高的对UV和/或E束辐射的机械和稳定性。并且,该帽盖层在经受沉积后处理时保持一致的压缩应力。该帽盖层包括三层材料,其中这些层中的至少一层具有良好的抗氧化性,对导电金属扩散有抵抗性,并且在至少UV固化时呈现机械稳定性。该低k帽盖层还包括含氮层,该含氮层包含电子施主和双键电子。该低k帽盖层还呈现高压缩应力和模量,且在沉积后的固化处理之下稳定,这导致较少的膜和器件开裂以及改善的器件可靠性。
  • 半导体结构形成方法

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