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[发明专利]利用中性粒子束发生装置的非挥发性存储薄膜器件的制造方法-CN201580054847.0有效
发明人：洪雯杓;张晋宁 -专利权人：高丽大学教产学协力团世宗校区
申请日： 2015-10-08 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L27/115 文献下载
摘要：本发明公开一种利用中性粒子束发生装置的非挥发性存储薄膜器件的制造方法。本发明中的中性粒子束发生装置包括：腔室，具有规定大小的等离子体放电空间；气体供给口，用于供给上述腔室内的气体；以及反射器，通过与在上述腔室生成的等离子体离子进行碰撞，来将等离子体离子转换为中性粒子，本发明的利用中性粒子束发生装置的非挥发性存储薄膜器件的制造方法包括：将形成有第一绝缘膜的基板配置于上述腔室内的步骤：通过上述气体供给口向上述腔室内供给用于发生氢等离子体的氢气体及用于发生等离子体的非活性气体的步骤：通过使在上述腔室生成的氢等离子体离子与上述反射器进行碰撞
利用中性粒子束发生装置挥发性存储薄膜器件制造方法

[发明专利]一种制备稳定的非化学计量纳米二氧化铈颗粒的工艺-CN201711020116.1在审
发明人：兰苑培;李军旗;陈超轶;金会心;徐本军;王林珠;刘利 -专利权人：贵州大学
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： C01F17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备稳定的非化学计量纳米二氧化铈颗粒的工艺，包括如下步骤1）将三价铈的无机盐研磨至粒径小于20μm，并进行脱结晶水处理，得A品；2）使用热等离子体发生器将激发气体激发为热等离子体焰，利用载气将A品运载至热等离子体反应器中，控制热等离子体发生器的功率为10‑30kW，让A品在热等离子体焰中进行完全反应，得B品；3）将B品随气流运送至收集器进行收集，得非化学计量纳米二氧化铈颗粒。本发明制备的非化学计量纳米二氧化铈颗粒具有稳定性好，氧空位含量高的特点。
一种制备稳定化学计量纳米氧化颗粒工艺

[发明专利]一种基于反射式衰减片的等离子体不同光强区域原位同步成像方法-CN201810641656.X有效
发明人：邹江林;李敏;王利达;肖荣诗;赵乐 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于反射式衰减片的等离子体不同光强区域原位同步成像方法，具体为一种利用光在两片非平行衰减片间多次反射和透射，实现等离子体不同光强区域原位同步成像的观察方法。本发明方法基于等离子体辐射的光进入非平行的两面反射式衰减片中多次反射和透射，采用相机记录每一次透射的光。两面衰减片采用非平行方式的目的是分开每次反射和透射的位置，以便错开透射成像的位置；多次反射的目的是层层剥离低光强区域，留到最后的是高光强区域。采用该方法能够获得等离子体不同光强区域的清晰形貌。本发明适用于激光制造、电弧制造、激光电弧复合制造、核聚变等过程中等离子体的观察。
一种基于反射衰减等离子体不同区域原位同步成像方法

[发明专利]一种机翼前缘下垂动态失速控制装置和方法-CN202310030922.6有效
发明人：张鑫;李昌;马志明 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心低速空气动力研究所
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B64C23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种机翼前缘下垂动态失速控制装置和方法，本发明涉及动力控制技术领域，装置包括主控模块、等离子体激励器、电源和信号发生器；主控模块用于根据机翼表面分离状态，控制所述信号发生器的输出；信号发生器通过输出不同波形信号对所述电源输出波形进行调制，从而控制等离子体激励器的放电状态；电源为等离子体激励器提供驱动电压；等离子体激励器展向安装在机翼前缘，能够产生非定常诱导涡结构，非定常诱导涡结构与机翼前缘的主流涡相互作用，从而形成虚拟前缘下垂结构。本发明采用等离子体非定常激励方式，在机翼前缘不断诱导出涡结构，其与主流流动相互作用在机翼前缘生成虚拟前缘下垂结构，从而满足动态失速控制需求。
一种机翼前缘下垂动态失速控制装置方法

[发明专利]一种非热电弧等离子体污水处理厂出水杀菌的方法-CN201410477884.X无效
发明人：杜长明 -专利权人：中山大学
申请日： 2014-09-11 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种非热电弧等离子体污水处理厂出水杀菌的方法，将污水处理厂出水引入包括高压电源、1个或多个并联的刀形不锈钢电极、喷嘴、气源的非热电弧等离子体装置；开启高压电源，在刀形不锈钢电极和水液面之间产生击穿电弧，打开气源，气流通过喷嘴驱动电弧沿着刀形电极滑动，形成非热电弧等离子体，等离子体诱发等离子体化学反应，产生大量过氧化氢、臭氧、氢氧自由基等活性粒子，能够有效将待处理污水处理厂出水中的有害微生物杀死。
一种电弧等离子体污水处理出水杀菌方法

[发明专利]等离子体电弧炬的不对称消耗品-CN201780075063.5在审
发明人： S.帕特尔;C.G.达罗;D.阿根;S.穆迪;M.希根斯;E.M.施普尔斯基 -专利权人：海别得公司
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：提供了一种等离子体电弧炬的炬尖端组件，用于在刨削操作中递送扩散的等离子体电弧流。该组件包括喷嘴，该喷嘴包括喷嘴主体，喷嘴主体限定在近端与远端之间延伸的中心纵向轴线。喷嘴主体的喷嘴出孔限定了至少一个内孔，内孔用于穿过其中传导等离子体电弧。该组件还包括埋头内孔特征，该埋头内孔特征相对于喷嘴主体的远端设置，流体连接到内孔并相对于内孔位于远侧。内孔或埋头内孔特征中的至少一者在垂直于纵向轴线的平面中具有非圆形横截面形状。非圆形横截面形状被配置为在等离子体电弧中实现扩散等离子体电弧的第二非圆形横截面形状。
内孔等离子体电弧喷嘴主体非圆形横截面形状喷嘴埋头远端中心纵向轴线扩散尖端组件流体连接纵向轴线组件包括不对称消耗品递送出孔传导近端刨削穿过垂直配置延伸

[发明专利]一种磁控元件和磁控溅射装置-CN201610779067.9有效
发明人：杨玉杰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：该磁控元件包括闭合磁控管和非闭合磁控管，闭合磁控管的内磁极和外磁极之间组成闭合的等离子体路径，非闭合磁控管的第一磁极和第二磁极之间组成非闭合的等离子体路径，闭合的等离子体路径和非闭合的等离子体路径用于至少对应覆盖靶材中心到靶材边缘的半径区域
一种元件磁控溅射装置

[发明专利]一种电磁波反射方法-CN200910238462.6无效
发明人：徐跃民;侯印鸣;程芝峰;端木刚;孙海龙;丁亮;吴逢时;鉴福升;朱翔;孙简 -专利权人：中国科学院空间科学与应用研究中心
申请日： 2009-11-20 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： H01Q15/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种电磁波反射方法，其特征在于，该方法没有利用传统的固体金属面做反射电磁波面的局限，而是利用等离子体技术产生等离子体片，所述的等离子体片作为电磁波的反射面，实现电磁波反射。所述的等离子体密度通过调整外界激励电源的电压进行调节，满足针对不同频率电磁波的反射要求；所述的等离子片形状通过外界提供的轴向磁场调节，形成曲面或平面的等离子体片；利用非固体形态的等离子体面做反射面的方法可以灵活改变反射面的形状以及可以选择性地反射不同频率的电磁波
一种电磁波反射方法

[发明专利]内燃机的点火装置-CN201810140134.1在审
发明人：冢越崇博 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2018-02-11 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： F01N3/20 文献下载
摘要：提供一种内燃机的点火装置，所述点火装置具备：火花塞，其具有面向内燃机的燃烧室的排气口附近的放电部；驱动部，其通过对火花塞施加驱动电压来使得在所述放电部发生非平衡等离子体放电；以及电子控制单元，其在排气净化催化剂处于预热状态的情况下，在第一预定期间从驱动部向火花塞施加驱动电压，由此使得在放电部发生非平衡等离子体放电，所述第一预定期间是自排气门开始打开起的预定期间、并且是发生排气的自由排气现象的期间。
火花塞点火装置放电部内燃机非平衡等离子体驱动电压放电燃烧室排气净化催化剂施加电子控制单元驱动预热状态自由排气排气口自排气排气

[发明专利]非热等离子体微粒减少系统以及使用该系统的方法-CN200980119153.5无效
发明人：阿里·沃加特;理查德·巴克斯 -专利权人：环境能源技术公司;阿里·沃加特;理查德·巴克斯
申请日： 2009-03-25 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： F01N3/02 文献下载
摘要：本发明总体上涉及用于减少气流中微粒物质数量的基于非热等离子体的系统，还涉及使用这样的系统的方法。本发明尤其涉及具有自洁表面的基于非热等离子体的减少微粒物质的系统。尤其可以预期的是减少系统中微粒物质积累的自洁表面，微粒物质积累例如可能导致非热等离子体生成减少，以及因此使系统减少气流中微粒物质数量的能力降低。
等离子体微粒减少系统以及使用方法

[发明专利]在材料表面进行等离子体聚合反应-CN98805946.0有效
发明人：高锡勤;郑炯镇;崔原国;金起焕;河三喆;金铁焕;崔成昌 -专利权人：韩国科学技术研究院
申请日： 1998-11-21 - 公布日： 2000-07-05 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种通过等离子体聚合进行表面处理的方法,该方法利用DC放电等离子体对金属表面进行处理,包括如下步骤在反应室内安装阴极电极和表面待处理的金属基质的阳极电极将反应室内的压力维持在预定的真空度下以预定的压力向反应室内送入不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和以预定的压力向反应室内送入非聚合气;以及为获得DC放电,向电极施加电压,以此获得由不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和非聚合气产生的正、负离子和游离基所组成的等离子体,然后通过等离子体沉积在阳极电极表面上形成具有亲水性或疏水性的聚合物。本发明还提供了利用RF放电等离子体由等离子体聚合对材料(包括金属、陶瓷或聚合物)的表面进行处理的方法。
材料表面进行等离子体聚合反应

[实用新型]产生非平衡等离子体的装置-CN200520022934.1无效
发明人：林烈;盛宏至;杨驰;吴彬;吴承康;魏小林 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2005-04-25 - 公布日： 2006-12-20 - 主分类号： H05H1/48 文献下载
摘要：本实用新型涉及产生非平衡等离子体的装置，包括：一中心电极、3个外电极，由三相交流电源供电；上法兰、下法兰与本体顺序连成一体，中心电极和外电极插入本体内；上法兰的另一端面嵌入进气盘，其上开有孔和分别连接气路接头3个放电电弧之间的点燃时间在相位上相差120度，并在电极表面合成形成脉冲放电，产生连续性非平衡等离子体，保证等离子体在时间上的连续性。由于使用三相交流电源供电，降低了成本，便于操作和维修。
产生平衡等离子体装置

[发明专利]一种限制环及其制作方法、以及等离子体处理装置-CN202011302303.0在审
发明人：杨金全;傅时梁;王明明 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种限制环及其制作方法、以及等离子体处理装置，通过在气体通道内设置非纵向弯折部，增大了等离子体与气体通道碰撞几率，有效的将等离子体限制在处理区域内，大大减小了深宽比，从而降低了气阻。
一种限制及其制作方法以及等离子体处理装置

[实用新型]一种限制环、以及等离子体处理装置-CN202022681147.5有效
发明人：杨金全;傅时梁;王明明 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种限制环、以及等离子体处理装置，通过在气体通道内设置非纵向弯折部，增大了等离子体与气体通道碰撞几率，有效的将等离子体限制在处理区域内，大大减小了深宽比，从而降低了气阻。
一种限制以及等离子体处理装置

[发明专利]用于基于UV抑制等离子体不稳定性的系统和方法-CN202011189122.1在审
发明人：尚卡·斯瓦米纳森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-09-11 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于基于UV抑制等离子体不稳定性的系统和方法。将衬底定位成暴露于等离子体处理室内的等离子体产生区域。在所述等离子体产生区域内产生第一等离子体。所述第一等离子体被配置为致使膜沉积在所述衬底上直到沉积在所述衬底上的所述膜达到阈值膜厚度。然后所述衬底暴露于紫外辐射以消除沉积在所述衬底上的所述膜内的缺陷。可以使用构造成产生紫外线辐射的第二等离子体或者使用设置成暴露于等离子体产生区域中的紫外辐射设备来原位提供紫外线辐射。也可以通过将衬底移动到与等离子体处理室分离的紫外辐射设备来非原位地提供紫外辐射。
用于基于 uv 抑制等离子体不稳定性系统方法