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[发明专利]一种引入保护气的大气压非平衡等离子体射流装置-CN201810814512.X有效
发明人：张芝涛;刘璞;俞哲;刘蕊;曹慧娟;孙振宇 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明属于气体放电与应用技术领域，涉及一种引入保护气的大气压非平衡等离子体射流装置。该装置包括大气压等离子体射流枪体和供气供电控制装置；大气压等离子体射流枪体用于产生可利用保护气调控活性粒子成分的大气压非平衡等离子体射流；供气供电控制装置用于为大气压非平衡等离子体射流枪体提供可控的工作气体本发明将保护气体引入到大气压等离子体射流的形成和发展过程中，显著降低大气环境对大气压非平衡等离子体射流的影响，实现大气压非平衡等离子体射流活性粒子成分的有效调控，提升大气压非平衡等离子体射流的应用效果，为大气压非平衡等离子体射流医学及材料表面处理等应用提供一种简便实用的技术装置。
一种引入保护大气压平衡等离子体射流装置

[实用新型]一种引入保护气的大气压非平衡等离子体射流装置-CN201821168753.3有效
发明人：张芝涛;刘璞;俞哲;刘蕊;曹慧娟;孙振宇 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型属于气体放电与应用技术领域，涉及一种引入保护气的大气压非平衡等离子体射流装置。该装置包括大气压等离子体射流枪体和供气供电控制装置；大气压等离子体射流枪体用于产生可利用保护气调控活性粒子成分的大气压非平衡等离子体射流；供气供电控制装置用于为大气压非平衡等离子体射流枪体提供可控的工作气体本实用新型将保护气体引入到大气压等离子体射流的形成和发展过程中，显著降低大气环境对大气压非平衡等离子体射流的影响，实现大气压非平衡等离子体射流活性粒子成分的有效调控，提升大气压非平衡等离子体射流应用效果，为大气压非平衡等离子体射流医学及材料表面处理等应用提供简便实用的技术装置。
非平衡等离子体射流大气压等离子体保护气射流枪供电控制装置本实用新型保护气体射流装置引入供气材料表面处理应用技术领域高频高电压大气环境调控活性工作气体活性粒子技术装置气体放电应用提供应用效果有效调控可控的粒子医学

[发明专利]非局域热动平衡等离子体中粒子能级布居计算方法、系统-CN202011339081.X有效
发明人：何新;高城;杨俊波;江涛;张海良;杨俊才 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G06F30/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种非局域热动平衡等离子体中粒子能级布居计算方法、系统，利用下式计算非局域热动平衡等离子体中粒子能级布居：本发明引入了能够反映等离子体偏离局域热动平衡状态程度的非平衡束缚态特征温度，推导得到了改进Saha方程；同时，将非平衡束缚态特征温度应用于已有Boltzmann分布公式，得到了修正Boltzmann分布公式。本发明既适用于局域热动平衡等离子体，也适用于非局域热动平衡等离子体。对于非局域热动平衡等离子体，由于不需要求解能级布居速率方程组，可以在保证一定精度的同时，实现快速、高效的粒子能级布居计算。
局域动平衡等离子体粒子能级计算方法系统

[发明专利]等离子体增强磁控溅射系统及方法-CN201610458183.0在审
发明人：石永敬;孙建春;原金海;周安若;吴英 -专利权人：重庆科技学院
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体增强磁控溅射系统及方法，该系统包括真空室、非平衡磁控溅射阴极、样品架和等离子体发生器，样品架和非平衡磁控溅射阴极都设置在真空室内，且非平衡磁控溅射阴极位于样品架的上方；等离子体发生器与真空室连通；等离子体发生器用于对注入其内的气体进行等离子体化，并将气体的等离子体输送至真空室内；非平衡磁控溅射阴极用于对气体的等离子体进一步电离，并溅射靶材，产生气源沉积到样品架上的衬底上。通过本发明，可以使单位时间内轰击到样品架上衬底表面的等离子密度增大，由此可以提高薄膜质量；另外可以提高薄膜的致密度并降低沉积薄膜的成本。
等离子体增强磁控溅射系统方法

[实用新型]等离子体增强磁控溅射系统-CN201720388897.9有效
发明人：石永敬;孙建春;原金海;周安若;吴英 -专利权人：重庆科技学院
申请日： 2017-04-14 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种等离子体增强磁控溅射系统，该系统包括真空室、非平衡磁控溅射阴极、样品架和等离子体发生器，样品架和非平衡磁控溅射阴极都设置在真空室内，且非平衡磁控溅射阴极位于样品架的上方；等离子体发生器与真空室连通；等离子体发生器用于对注入其内的气体进行等离子体化，并将气体的等离子体输送至真空室内；非平衡磁控溅射阴极用于对气体的等离子体进一步电离，并溅射靶材，产生气源沉积到样品架上的衬底上。通过本实用新型，可以使单位时间内轰击到样品架上衬底表面的等离子密度增大，由此可以提高薄膜质量；另外可以提高薄膜的致密度并降低沉积薄膜的成本。
等离子体增强磁控溅射系统

[发明专利]一种往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器-CN201310376468.6无效
发明人：张芝涛;俞哲;徐书婧;李日红;杨海东;杜还 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2013-08-24 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器，其平板接地电极与覆盖在平板高压电极表面的α-Al2O3电介质层之间构成多个非平衡等离子体电离腔，平板接地电极上设置有冷却液腔，平板接地电极上在冷却液腔之间还设置有反应气体冷却腔，大气压非平衡等离子体反应器工作时，原料气体均匀进入反应器后，交替经过多个非平衡等离子体电离腔和多个反应气体冷却腔，再最后经反应气体出口输出，多个非平衡等离子体电离腔既可以采用同一激励电源供电，也可以每个电离腔采用独立的激励电源本发明使等离子体化学反应进行的更加充分，提升了等离子体化学反应的效果，使每个电离腔的放电性能都得到优化，也可更方便地调控等离子体化学反应进程。
一种往复电离大气压平衡等离子体反应器

[发明专利]计算化学非平衡效应下电弧等离子体组分的方法及系统-CN202110009722.3在审
发明人：陈力;张博雅;李兴文 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G16C10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种计算化学非平衡效应下电弧等离子体组分的方法及系统，包括：1)对气体分子进行结构优化；2)计算分子的路径；3)对于局部热力学平衡态的电弧等离子体，利用密度泛函理论计算路径中涉及粒子的熵，焓，比热；4)利用吉布斯自由能最小化方法或质量作用定律求解局部热力学平衡态电弧等离子体组分；5)对于化学非平衡态电弧等离子体，运用变分过渡态理论计算路径中化学反应速率；6)利用动力学模型求解化学非平衡态电弧等离子体的组分；本发明提出了一种计算化学非平衡效应下电弧等离子体组分的方法，针对气体电弧等离子体可能的两种状态的等离子体组分进行计算，为电弧的磁流体仿真提供数据基础。
计算化学平衡效应电弧等离子体组分方法系统

[发明专利]一种采用非平衡等离子体射流技术的净水系统-CN201910881496.0有效
发明人：宋鹏 -专利权人：大连民族大学
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用非平衡等离子体射流技术的净水系统，包括：液体雾化器依次通过流量计、过滤器、液体流量控制阀与蓄液池相连，所述液体流量控制阀还连接至阀门开度电子控制器的一端，所述阀门开度电子控制器的另一端与气体流量控制阀相连，所述气体流量控制阀位于高压气瓶与非平衡等离子体射流激励器之间的管路上，所述非平衡等离子体射流激励器与等离子体电源相连，所述液体雾化器底部的喷射区域与非平衡等离子体射流激励器一侧的射流区域重叠。本申请采用液体雾化技术和非平衡等离子体射流技术，既能够大幅度提高净化效率，又能够大幅度提高净化流量。
一种采用平衡等离子体射流技术净水系统

[发明专利]一种感应耦合等离子体热平衡的判断方法-CN202010597744.1有效
发明人：包为民;牛越;刘东林;李小平;刘彦明 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G06F30/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种感应耦合等离子体热平衡的判断方法，具体包括：通过工业相机从透明的圆柱反应器内放电等离子体源的轴向获得气体放电的稳定态图像；通过平衡态等离子体磁流体动力学模型进行感应耦合等离子体源热平衡的二维模型仿真，得到热平衡感应耦合等离子体轴向的仿真温度等值线图；将工业相机所采集到的彩色图像通过光照强度分析方法得到等离子体源的光强分布三维图；判断等离子体源光强分布与仿真等离子体源内热平衡状态的温度分布趋势一致，则说明检测的感应耦合等离子体放电为热平衡放电。本发明将图像处理与感应耦合等离子体热平衡下的仿真结果相结合，提高等离子体热平衡判断的准确性，具有实时、直观、稳定、非接触、低成本的优点。
一种感应耦合等离子体平衡判断方法

[发明专利]一种强电离放电非平衡等离子源及制备等离子的方法-CN200410155136.6有效
发明人：白敏冬;张芝涛;白希尧;白敏菂;杨波 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2004-06-18 - 公布日： 2005-03-16 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：一种强电离放电非平衡等离子源及制备等离子的方法属于气体电离放电和等离子体应用技术领域，涉及到一种强电离放电非平衡等离子源及制备等离子体的方法。它由电源、接地极、放电极、电介质层组成。向放电极上施加交变电压，产生浓度为10¹⁵/cm³等离子体。再在外加力的作用下，把等离子体从放电电场成束的输送出去。外加力是通过气体作用于电场中的离子身上的，外输等离子体浓度大于10¹²/cm³。该等离子源体积小、耗能低，硬度高，损耗小，产生的离子浓度高。为解决等离子体隐身、减阻及天线工程化研究提供了理论及方法基础，也为高气压强电离放电非平衡等离子体源在军事、工业上推广应用奠定了基础。
一种电离放电平衡离子源制备等离子方法

[发明专利]一种分区激励式大气压非平衡等离子体发生装置-CN201110278484.2有效
发明人：张芝涛;于清旋;俞哲;白敏冬;田一平;金忠林 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2011-09-19 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种分区激励式大气压非平衡等离子体发生装置，属于气体放电与应用技术领域。本发明的技术特征是在大气压平板式介质阻挡放电反应器上安装小型高频高压变压器，其高压输出端经由快速熔断器与大气压平板式介质阻挡放电反应器相连，组成大气压非平衡等离子体发生单元模块，根据需要将十至数百个大气压平板式介质阻挡放电非平衡等离子体发生单元模块并联组装，构成分区激励式大气压非平衡等离子体发生阵列，该阵列由一台低压高频逆变电源提供激励能量，再利用小型高频高压变压器将激励能量分配到各个独立的大气压平板式介质阻挡放电反应器。本发明的效果和益处是可以提高大气压非平衡等离子体发生阵列的固有谐振频率，优化非平衡等离子体发生单元的放电性能。
一种分区激励大气压平衡等离子体发生装置

[发明专利]一种大气压芦荟放电等离子体祛痘装置及其使用方法-CN201911136609.0有效
发明人：白成杰;李娜;姜守振;张超;杜军;潘杰 -专利权人：山东师范大学
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大气压芦荟放电等离子体祛痘装置，包括第一瓶体、第二瓶体、汽化机构、预混机构和大气压非平衡等离子体射流机构，第一瓶体用于盛装惰性气体，第二瓶体用于盛装含有芦荟成分的溶剂，第二瓶体连通于汽化机构；第一瓶体和汽化机构连通预混机构，预混机构连通大气压非平衡等离子体射流机构。本发明使用大气压非平衡等离子体射流机构将含有芦荟活性成分的溶剂以等离子体的形式射出，能够渗透到皮肤表层以下，从而解决涂抹药物所达不到的效果。
一种大气压芦荟放电等离子体装置及其使用方法

[发明专利]基材的等离子体处理-CN201180027782.2无效
发明人：弗朗索瓦兹·马辛内斯;托马斯·高迪;阿德里安·图唐特;皮埃尔·德斯坎普斯;帕特里克·里姆波尔;文森特·凯撒 -专利权人：道康宁法国公司;国家科学研究中心
申请日： 2011-07-20 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供用于等离子体处理基材的工艺，所述工艺包括对位于具有入口和出口的电介质外壳内的至少一个电极施加射频高压，同时使工艺气体从所述入口经过所述电极流动到所述出口，由此产生非平衡大气压等离子体。将雾化的或气态的表面处理剂掺入所述非平衡大气压等离子体。将所述基材邻近所述等离子体出口定位，以使得其表面与所述等离子体接触并相对于所述等离子体出口移动。控制所述工艺气体流以及所述等离子体出口与所述基材之间的间隙，以使得所述工艺气体在所述电介质外壳内具有湍流流态。
基材等离子体处理

[发明专利]汽相淀积金刚石的装置-CN91109955.7无效
发明人：栗原和明;佐佐木谦一;河原田元信;越野长明 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 1988-04-02 - 公布日： 1995-06-28 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：气相淀积金刚石的装置，包括一种第一极性的电极形成元件；相反极性的电极形成元件；直流等离子体吹管，它有直流电源，用于两电极之间施加电压，使进入的气体呈热等离子体；一种将原料气体化合物通入到等离子中的输气系统；一种形成非平衡等离子体的装置，它含有冷却气供给装置，在等离子体吹管喷嘴周围设有冷却气喷嘴，使热等离子体骤冷，并形成一种至少含自由基化的产物且有高浓度自由基的活性非平衡等离子体，使等离子流气相沉积；以及基片支撑机构
汽相淀积金刚石装置

[发明专利]一种介质阻挡放电非热平衡等离子体沼气制氢方法-CN202210389546.5在审
发明人：孟奇;赵华 -专利权人：聊城因特农业发展有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C01B3/34 文献下载
摘要：本发明属于氢气制备技术领域，公开了一种介质阻挡放电非热平衡等离子体沼气制氢方法，搭建非热平衡等离子体沼气重整制氢装置；将沼气通入到非热平衡等离子体沼气重整制氢装置中；非热平衡等离子体沼气重整制氢装置对沼气进行制氢本发明通过超声雾化水蒸气与沼气混合的介质阻挡放电重整化制氢技术，利用非热平衡的高能量电子，与甲烷分子、水分子、硫化氢分子碰撞，造成分子键的断裂，沼气中硫化氢和水分子重整产生二氧化硫在净水中脱硫，介质阻挡放电装备以镍金属作为内电极材料，同时作为催化剂材料，等离子体放电不断在镍金属表面活化镍金属，降低重整过程的能量消耗和提高氢气的单位时间内的反应效率。
一种介质阻挡放电平衡等离子体沼气方法

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