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[发明专利]在SHF放电等离子体中从气相沉积金刚石薄膜的高速方法和实施所述方法的装置-CN03824814.X无效
发明人：安纳托利·L.·维克哈夫;艾莱克斯·M.·戈贝奇夫;艾莱克桑德·G.·里特瓦克;朱里·V.·柏克夫;格利高利·G.·丹尼索夫;奥莱格·A·伊万诺夫;弗拉蒂米尔·A.·科尔丹诺夫 -专利权人：范应用物理研究院
申请日： 2003-09-18 - 公布日： 2005-11-09 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及借助于SHF放电等离子体通过分解气体混合物的碳沉积，例如，可用于生产多晶金刚石薄膜(薄片)，该薄膜用于制作诸如回旋管的SHF功率源输出窗。在此之后，借助于频率比通常使用2.45GHz高出许多倍的SHF辐射，例如，30GHz，通过产生稳定的非平衡等离子体使所述气体混合物激活。为了定域等离子体，驻波形成在承载体附近，而等离子体层形成在驻波的波腹中，并使等离子体层的尺寸是可调节的。
shf 放电等离子体沉积金刚石薄膜高速方法实施装置

[发明专利]一种采用等离子体激励技术的喷嘴-CN201910689833.6有效
发明人：宋鹏 -专利权人：大连民族大学
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： F02M43/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用等离子体激励技术的喷嘴，包括喷嘴体，所述喷嘴体中设有容置腔，在容置腔中设有绝缘针阀、接地电极，针阀电极包括电极杆，在电极杆顶部设有电极沿，所述电极沿底部卡接在喷嘴体顶部；电极杆位于绝缘针阀中，电极杆的部分外壁与绝缘针阀之间的空隙为电离空间，接地电极包裹在绝缘针阀外周；在容置腔的一侧设有长燃料通道，所述长燃料通道的一端与容置腔底部相连，长燃料通道的另一端与位于喷嘴体顶部的电磁阀a相连；在容置腔的另一侧设有短燃料通道本申请采用介质阻挡放电激励的方式对主要燃料进行电离，能够利用非平衡等离子体气动效应改善燃料的分布范围、利用非平衡等离子体化学效应改善喷雾的反应活性。
一种采用等离子体激励技术喷嘴

[发明专利]一种等离子体中具有刮削层特性的偏滤器平衡位形的模拟方法-CN202011363838.9有效
发明人：陈文锦;张豪伟;马志为 -专利权人：浙江大学
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G06F30/367 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体中具有刮削层特性的偏滤器平衡位形的模拟方法，包括：(1)依据被模拟的托卡马克核聚变装置建立物理模型；(2)初始化模拟区域的初始磁通量，等离子区域和偏滤器线圈区域的电流方向，并根据模拟参数要求和径向力学平衡方程构造初始平衡输入参数；(3)依据当前磁通量和平衡输入参数计算等离子体区域的环向电流，并依据等离子体区域的环向电流分布计算偏滤器线圈区域的环向电流分布，依据等离子体区域和偏滤器线圈区域的环向电流分布更新模拟区域的磁通量；(4)迭代执行步骤(3)以更新模拟区域的磁通量，迭代结束后，以当前磁通量作为偏滤器平衡位形。该模拟方法能够获得真实具有刮削层特性的偏滤器平衡位形。
一种等离子体具有刮削特性滤器平衡模拟方法

[实用新型]一种非转移弧等离子体热解微藻制备燃气燃油的装置-CN201721860105.X有效
发明人：王晶晨;郭科宏;宋敏洁;石为华;钟贵全;吴道洪 -专利权人：神雾科技集团股份有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H05H1/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种非转移弧等离子体热解微藻制备燃气燃油的装置，包括：炉体、炉盖、非转移弧等离子体发生器、制备燃油等离子枪，其中，所述炉盖设置在炉体上；所述非转移弧等离子体发生器穿过所述炉盖设置于所述炉体内，所述制备燃油等离子枪贯穿设置于所述炉体上并位于所述非转移弧等离子体发生器的下方；本实用新型能够高效且充分地热解微藻以生成燃气跟燃油，实现生物‑燃料的有效转换；充分利用了等离子内部的热量跟余热对水蒸气进行加热
非转移弧制备等离子体发生器炉盖炉体微藻等离子体热解本实用新型等离子枪燃气燃油水蒸气有效转换等离子减小加热地热余热燃气穿过体内燃料消耗贯穿

[发明专利]用于多极磁阱磁约束装置的等离子体环向力平衡控制方法-CN201610451778.3在审
发明人：佟为明;金显吉;林景波;陶宝泉;李中伟;李凤阁;李辰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-06-21 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G21B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于多极磁阱磁约束装置的等离子体环向力平衡控制方法，该方法通过设置外部磁场B_V的磁感应强度大小的方式控制多极磁阱磁约束装置中的等离子体的环向力平衡，多极磁阱磁约束装置包括一内部盲鳗线圈根据环向力平衡条件，等离子体受到的各项力的合力为零，由此得到外部磁场的磁感应强度B_V需满足的关系式。本发明提供的用于多极磁阱磁约束装置的等离子体环向力平衡控制方法通过引入外加磁场的方式实现了对等离子体环向力平衡的控制，减少了环形磁约束装置由于环向效应引起的等离子体的损失。
用于多极磁阱磁约束装置等离子体平衡控制方法

[发明专利]一种难降解废水的净化装置及净化方法-CN201810893784.3在审
发明人：竹涛;金鑫睿;张星;韩一伟 -专利权人：中国矿业大学（北京）;鼎格环境科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：净化装置包括等离子体反应器、配水系统和出水管道；等离子体反应器包括至少一个等离子体反应单元，每个等离子体反应单元包括高压电极、等离子体放电板和接地板。等离子体放电板和接地板分别设置在等离子体反应器相对的两侧且面平行布置。配水系统为涌流式和喷淋式设置在接地板一侧。等离子体放电板包括若干个轴向平行设置的列管，列管选用套管式结构。若干个等离子体反应单元呈面平行均匀设置。废水在接地板上形成水膜。相邻等离子体放电板和接地板之间形成介质阻挡放电，激发产生非平衡态等离子体，降解污染物。
接地板等离子体放电板等离子体反应单元等离子体反应器净化装置难降解废水配水系统列管非平衡态等离子体介质阻挡放电轴向平行设置降解污染物模块化组装套管式结构无二次污染出水管道高压电极净化效率均匀设置平行布置净化喷淋式水膜涌流平行废水激发

[发明专利]等离子体收缩系统及其使用方法-CN88108991.5无效
发明人：约翰·F·阿斯姆斯;罗尔夫·H·洛夫堡 -专利权人：加州大学评议会
申请日： 1988-12-31 - 公布日： 1990-07-11 - 主分类号： H05H1/04 文献下载
摘要：等离子体收缩系统包括一台流体束收缩装置，用以建立一个等离子体源，该源是由一中心狭窄的受压流体蒸汽细流、以及周围环绕着稀薄汽相预处理云组成的。一台放电装置与流体束装置作电连接，用以供给通过流体蒸汽部分的、建立发射等离子体的非相干光的电流。一个用该等离子体收缩系统生产半导体的方法包括将半导体片子对等离子体发射的非相干光曝光，完成退火和腐蚀工艺。
等离子体收缩系统及其使用方法

[发明专利]大气压等离子体射流杀菌消毒装置及方法-CN202110615217.3在审
发明人：鲁志松;庞磊;乔琰 -专利权人：西南大学
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了大气压等离子体射流杀菌消毒装置及方法，该装置由大气压等离子体射流发生器和三维非平面基底组成，三维非平面基底上设有用于容纳待杀菌物体的凹坑，凹坑具有用于反射大气压等离子体射流的倾斜面，可使大气压等离子体射流反射不同角度，通过增加待杀菌物体表面的大气压等离子体射流暴露面积，从而增强等离子体对物体的杀菌效率。通过设计具有不同倾斜角度的凹坑构建不同类型的基底，可显著提升实际生活中大气压等离子体射流对不同物体的杀菌效率。本发明绿色环保，方便快捷、方法简单，在食品杀菌方面具有很大的应用潜力。
大气压等离子体射流杀菌消毒装置方法

[实用新型]多用途等离子体涤气器-CN200420058871.0无效
发明人：肖戈;肖文治 -专利权人：肖戈
申请日： 2004-05-09 - 公布日： 2006-03-15 - 主分类号： B03C3/04 文献下载
摘要：一种多用途等离子体涤气器，其主要特征是在气体进口与洗涤装置之间装有可使进口气体电离、同时使非气相微粒荷电的等离子体发生装置。等离子体发生装置为点对板式等离子体发生装置、复合等离子体发生装置、平板电极等离子体发生装置。等离子体发生装置的发生方式为直流放电或高频放电、微波放电、脉冲放电、电子辐射放电、电晕放电、介质阻挡放电。本实用新型适用于气固、气液、气气混合的分离，能够同时对气体中的粉尘、焦油、雾滴等非气相微粒和有害气相成分(如硫氧化物、氮氧化物等)进行高效脱除，具有高效、多用途、投资少、占地灵活、运行费用低等特点。
多用途等离子体涤气器

[发明专利]半导体集成电路制造方法-CN201110263795.1无效
发明人：孟令款 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-09-07 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种半导体集成电路制造方法，采用脉冲等离子体进行刻蚀，通过周期性的施加脉冲功率以产生等离子体，由于具有比连续波等离子体更低的电子温度和等离子体密度，使得等离子体损伤被大大地降低，极大的避免凹槽效应的形成；另外，在鞘层电压降低的情况下，当电负性等离子体注入到高深宽比孔结构中时能够中和累积的正电荷粒子，从而可以缓和甚至消除正电荷与电子间的不平衡，以获得理想的刻蚀形貌。
半导体集成电路制造方法

[发明专利]等离子体装置-CN201711326795.5有效
发明人：马场哲治;加藤典之 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体装置，在对工件进行等离子体处理的等离子体装置中，抑制处理对象物的变形。等离子体装置具备容器，该容器具有相向配置的第一模及第二模，将工件密封在关闭的第一模及第二模的内部。工件具有：处理对象物，具有处理对象部分和处理对象部分的外周的非处理对象部分；及掩模部件，覆盖非处理对象部分。第一模具有：相向平面部，与工件的外周表面相向配置；第一凹陷部，与处理对象部分相向配置并产生等离子体；及第二凹陷部，在相向平面部与第一凹陷部之间与非处理对象部分相向配置并产生等离子体。
等离子体装置

[发明专利]一种非热电弧等离子体净化养殖水的方法-CN201410477941.4无效
发明人：杜长明 -专利权人：中山大学
申请日： 2014-09-11 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种非热电弧等离子体净化养殖水的方法，将养殖水引入非热电弧等离子体装置；开启高压电源，在1个或多个并联的刀形不锈钢电极和水液面之间产生击穿电弧，打开气源，气流通过喷嘴驱动电弧沿着刀形电极滑动，形成非热电弧等离子体，等离子体诱发等离子体化学反应；放电处理5～20min可有效将养殖水中有害微生物杀死，达到净化养殖水的目的。本发明可以通过等离子体一步有效的杀灭养殖水中的各种细菌，也能分解去除水中的有机污染物，使养殖水得到净化，提高了养殖物的免疫力和抗病力，装置与操作简单、小型、便携，可定期对养殖水进行杀菌消毒。
一种电弧等离子体净化养殖方法

[发明专利]低合金高强钢激光复合焊缝硬度控制方法-CN200810042792.3无效
发明人：蔡艳;倪加明;倪慧峰;俞海良;张悦;黄海谷 -专利权人：上海交通大学;江南造船(集团)有限责任公司
申请日： 2008-09-11 - 公布日： 2009-02-11 - 主分类号： B23K28/02 文献下载
摘要：一种焊接工程技术领域的低合金高强钢激光复合焊缝硬度控制方法，本发明中，熔化极电弧沿焊接方向置于激光焦点之前，控制熔化极电弧与激光焦点的距离，使激光的光致等离子体与熔化极电弧等离子体保持交互作用，共同形成一个熔池，熔池在熔化极电弧笼罩区域浅，而在光致等离子体区域深；非熔化极电弧沿焊接方向置于激光焦点之后，控制非熔化极电弧与激光焦点的距离，使光致等离子体与非熔化极电弧等离子无显著交互作用，同时非熔化极电弧在光致等离子体的协助下维持稳定燃烧
合金高强激光复合焊缝硬度控制方法

[发明专利]反应器系统及清洁反应器系统的方法-CN202210449313.X在审
发明人： A.米什拉;J.L.温克勒;M.B.莫萨;M.穆罕默德;P.马;H.马萨德;Y-S.郭;C.伦塞福德;S.张 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：一种反应系统，包括与远程等离子体单元和旁路管线都流体连通的化学品存储组件，用于向反应室提供等离子体活化的清洁物质和非等离子体活化的清洁物质。
反应器系统清洁方法

[发明专利]等离子体约束装置及等离子体处理装置-CN200710176174.3有效
发明人：南建辉;宋巧丽 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-10-22 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体约束装置及等离子体处理装置，等离子体约束装置为空心柱状，侧壁上设有多个通孔，通孔的深度大于等离子体中带电粒子的平均自由程，通孔为圆孔或长条形孔。等离子体约束装置设于等离子体处理装置的上电极与下电极之间，并可以上下移动。当进行传片时，等离子约束装置升起；当传片结束时，等离子体约束装置降到合适位置，准备开始工艺。可以有效地把等离子体约束在上、下电极之间的工艺区域，减少反应室的颗粒污染以及延长非工艺区域部件的使用寿命。
等离子体约束装置处理

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