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- [实用新型]一种压力传感器的封装结构-CN202221268969.3有效
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孙飞;吴东辉;肖滨;李刚
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昆山灵科传感技术有限公司
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2022-05-24
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2022-09-16
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G01L1/00
- 本实用新型属于芯片封装技术领域,公开了一种压力传感器的封装结构。该压力传感器的封装结构包括基板、壳体、隔离片、传感器芯片和调理芯片,壳体设于基板上,并与基板围合形成容置腔;隔离片置于容置腔内,且固定于基板上;传感器芯片置于容置腔内,且传感器芯片固定于隔离片上;调理芯片置于容置腔内,且固定于基板上,传感器芯片与调理芯片电性连接,调理芯片与基板电性连接。本实用新型提供的压力传感器的封装结构,通过在基板和传感器芯片之间设置隔离片,增加了传感器芯片与基板之间的距离,有效避免了外界应力对传感器芯片造成影响,且与现有的增加基板的厚度相比,降低了成本。
- 一种压力传感器封装结构
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