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- [发明专利]背照式图像传感器及其形成方法-CN202111060888.4在审
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李杰
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格科微电子(上海)有限公司
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2021-09-10
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2023-03-14
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H01L27/146
- 本发明提供一种背照式图像传感器及其形成方法,所述背照式图像传感器包括:半导体衬底,其形成有光生载流子收集区以及围绕所述光生载流子收集区的隔离区,所述光生载流子收集区及所述隔离区靠近所述半导体衬底的正表面;微透镜,位于所述半导体衬底背表面之上;其中:在所述微透镜与所述半导体衬底背表面之间,设有多层介质层,使入射光线经多层介质层到达所述半导体衬底背表面的入射角减小,以减少相邻所述光生载流子收集区之间的光线串扰。通过多层介质层及电势的设置,减少光学串扰及电学串扰,从而能够省去深层隔离结构,降低工艺难度,提高图像传感器对长波长光线的吸收,提高图像传感器的灵敏度。
- 背照式图像传感器及其形成方法
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