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[发明专利]靶材组件及其制造方法-CN201510728688.X在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件及其制造方法，包括提供氧化铟锡靶材、背板和焊料，所述氧化铟锡靶材用于焊接的面为第一焊接面，所述背板用于焊接的面为第二焊接面，所述焊料为铟焊料；通过所述铟焊料对所述氧化铟锡靶材的第一焊接面和背板的第二焊接面进行焊接，以形成靶材组件。其中，通过铟焊料对氧化铟锡靶材和背板进行焊接，铟焊料能够很好地浸润氧化铟锡靶材。因此能够提高靶材组件的焊接强度。此外，铟焊料的熔点较低，焊接温度较低，从而焊接过程中氧化铟锡靶材内部组织结构不容易发生变化，且氧化铟锡靶材的第一焊接面不容易被氧化，进而能够使氧化铟锡靶材与背板结合更紧密，因此能够提高靶材组件的焊接强度
组件及其制造方法

[发明专利]透明导电铟掺杂氧化锡-CN201580028918.X在审
发明人： K·K·乌普雷蒂;K·H·拉克达瓦拉;R·谢伦伯格;M·A·艾利 -专利权人： PPG工业俄亥俄公司
申请日： 2015-03-12 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：一种制备氧化铟锡的方法，包括从靶材溅射铟和锡至衬底上，所述溅射包括在所述衬底上方沿着一个路径移动所述靶材。所述氧化铟锡可具有小于0.5Ω/□的薄层电阻。一种铟膜，包括：第一移动靶材溅射氧化铟锡层；在所述第一移动靶材溅射氧化铟锡层上的第二移动靶材溅射氧化铟锡层；以及在所述第二移动靶材溅射氧化铟锡层上的第三移动靶材溅射氧化铟锡层。一种透明体，包括氧化铟锡，以及一种飞行器，包括所述透明体。
透明导电掺杂氧化

[发明专利]氧化铟锡薄膜及其制备方法、含其的阵列基板、显示装置-CN201610545577.X有效
发明人：张启平;孙文波;钱叶甲 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示光源有限公司
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：一种氧化铟锡薄膜及其制备方法、包含该氧化铟锡薄膜的阵列基板和显示装置。其中该氧化铟锡薄膜的制备方法包括：步骤A：制备分立的氧化铟靶材和锡靶材；以及步骤B：在同一沉积腔室中，由所述氧化铟靶材和锡靶材分别产生氧化铟粒子和锡粒子，该氧化铟粒子和锡粒子在基体上共同形成氧化铟锡薄膜本发明的制备方法通过制备分立的氧化铟靶材和锡靶材，避免靶材重复制备，溅射工艺不用重新开始(如中途不用重新打开真空腔)；相比于传统制备方法的研磨、烧结制备不同锡含量靶材的单靶材镀膜的方式，有效缩短了开发周期，且薄膜中锡含量的控制更加便捷，节省了开发成本；可应用于各种显示装置的制备。
氧化薄膜及其制备方法阵列显示装置

[发明专利]一种铟锡合金靶材的制备方法-CN202011233264.3在审
发明人：黄永香 -专利权人：湖南七点钟文化科技有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化铟锡合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将铟粉和锡粉置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物采用滚动加热熔炼工艺制备铟锡合金靶材生坯，将所述铟锡合金靶材生坯进行热压烧结，得到铟锡合金靶材粗品；C)将所述铟锡合金靶材粗品进行退火，得到铟锡合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的铟锡合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
一种合金制备方法

[实用新型]氧化铟锡溅射设备的成膜装置和氧化铟锡溅射设备-CN201922462669.3有效
发明人：张洁;朱成顺;蒋雷 -专利权人：成都中电熊猫显示科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种氧化铟锡溅射设备的成膜装置和氧化铟锡溅射设备，氧化铟锡溅射设备的成膜装置包括氧化铟锡靶材以及安装在氧化铟锡靶材底部的驱动单元上的防着板，还包括围设在氧化铟锡靶材回镀区外围的遮蔽结构，且遮蔽结构与氧化铟锡靶材的外表面之间具有间隙，遮蔽结构与防着板连接，遮蔽结构用于对氧化铟锡靶材的回镀区进行遮挡，以防止镀膜时产生的杂质沉积在氧化铟锡靶材的回镀区，从而提高了防着板的使用寿命，降低了清洗成本，提高了设备的稼动率。
氧化溅射设备装置

[发明专利]一种氧化铟锡合金靶材的制备方法-CN202011233273.2在审
发明人：黄永香 -专利权人：湖南七点钟文化科技有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化铟锡合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将氧化铟和氧化锡置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物抽真空后冷等静压，得到粗坯，将所述粗坯进行二次压制，得到合金靶材生坯；C)将合金靶材生坯进行真空热压烧结，得到氧化铟锡合金靶材粗品；D)将所述氧化铟锡合金靶材粗品进行退火，将步骤A)的混合物等离子喷涂至退火后的氧化铟锡合金靶材粗品表面，得到氧化铟锡合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的氧化铟锡合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
一种氧化合金制备方法

[发明专利]氧化铟锡废靶材中回收制备铟锡合金的方法、装置-CN202211673175.X在审
发明人：宋建勋;苏鲜伟;李少龙;吕泽鹏;杨斌;何季麟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C25C3/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化铟锡废靶材中回收制备铟锡合金的方法，该方法包括：氧化铟锡废靶材制成氧化铟锡废靶颗粒，铺设在电解槽底部；熔盐电解质铺设在氧化铟锡废靶颗粒上方；氧化铟锡废靶材制作成棒状电极，设置在熔盐电解质中；以氧化铟锡棒状电极为阳极，氧化铟锡废靶颗粒作为阴极，与熔盐电解质形成电解体系；加热电解体系使熔盐电解质熔融，连接电解电源进行恒电位电解；电解过程中，氧化铟锡废靶颗粒被还原为液态铟锡合金，液态铟锡下沉到电解槽底部，进行收集；向电解槽中连续加入氧化铟锡废靶颗粒参与电解反应，电解过程连续进行，连续收集铟锡合金。
氧化铟锡废靶材中回收制备合金方法装置

[发明专利]一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法-CN201710643390.8有效
发明人：陆映东;武建良;马超宁;黄誓成 -专利权人：洛阳晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2017-07-31 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，包括以下步骤：㈠成型横截面为椭圆形的管状氧化铟锡靶材素坯；㈡在烧结炉的承烧板上，摆放二排挡块，二排挡块的间距比椭圆形氧化铟锡靶材素坯的外椭圆短轴大20～100mm；㈢将成型好的氧化铟锡靶材素坯平躺放在二排挡块之间，氧化铟锡靶材素坯的椭圆形长轴与承烧板垂直，然后在氧化铟锡靶材素坯两侧与挡块之间填充氧化铝砂，最后开始升温脱脂和烧结，得到氧化铟锡旋转靶材。该方法采用平躺烧结，可使旋转靶材的长度不受限于烧结炉高度，而是受限于烧结炉长度，并且采用椭圆形的素坯结构，能够抵消大部分的烧结变形，烧结变形量小，适合批量生产长尺寸的氧化铟锡旋转靶材。
一种氧化旋转烧结方法

[发明专利]一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法-CN201810722391.6在审
发明人：孙本双;陈杰;曾学云;舒永春;何季麟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明提供一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法，该方法包括，氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到料浆；料浆喷雾造粒，在管状靶材模具中冷等静压成型，得到氧化铟锡管状靶材素坯；氧化铟锡管状靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理，得到氧化铟锡管状靶材。该方法的烧结温度降低，烧结时间大大缩短，氧化铟锡靶材的晶粒细小、均匀，致密度高，相对密度可达99.7％。
管状靶材氧化铟锡烧结脱脂一体化制备混合粉体料浆素坯冷等静压成型氧化铟锡靶材氧化锡粉体氧化铟粉体一体化处理喷雾造粒温度降低晶粒研磨料浆液混匀模具

[发明专利]一种氧化铟锡锌靶材、氧化物薄膜及其制备方法-CN202211101171.4在审
发明人：陈明飞;刘永成;王金科;郭梓旋;徐胜利;陈明高;江长久;王志杰;莫国仁;李跃辉 -专利权人：长沙壹纳光电材料有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化铟锡锌靶材、氧化物薄膜及其制备方法与应用。本发明的氧化铟锡锌靶材包含In、Sn、Zn、O，以原子摩尔比计In：Sn：Zn＝0.6988：M+N：N，其中，所述M满足0＜M≤0.0199；所述N满足0＜N＜0.33945；所述氧化铟锡锌靶材的相对密度大于采用本发明的氧化铟锡锌靶材制得的氧化物薄膜表面粗糙度低，相对于氧化铟锡靶材其膜层透过率和电阻无显著性变化，具有广泛的应用价值。
一种氧化铟锡锌靶材氧化物薄膜及其制备方法

[发明专利]一种氧化铟锡靶材组件的焊接方法-CN202310941481.5在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;张余 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化铟锡靶材组件的焊接方法，通过在背板上设置凸台，改进氧化铟锡靶材组件的焊接结构，解决了焊接难的问题，使得靶材的焊接结合率提升至99％以上；且由于凸台的存在，装夹靶材组件时只需夹持凸台的侧面，不会夹持到氧化铟锡靶材的侧面，方便后续安全稳定加工。
一种氧化铟锡靶材组件焊接方法

[发明专利]铟锡镍氧化物靶材及其制造方法-CN201910981520.8有效
发明人：柯伯贤;谢承谚;简毓苍;刘砚鸣 -专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
申请日： 2019-10-16 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种铟锡镍氧化物靶材及其制造方法。其中，所述铟锡镍氧化物靶材是由铟、锡、镍及氧所组成，其中镍相对于铟、锡和镍的总和的含量和大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且该铟锡镍氧化物靶材的平均体电阻率小于2×10‑4<本发明能显著降低铟锡镍氧化物靶材于溅镀一段时间后靶面发生的结瘤现象，故可提升溅镀过程的稳定性并获得高品质的薄膜。
铟锡镍氧化物及其制造方法

[发明专利]一种锡铟合金靶材的塑性变形加工和热处理方法-CN202210903144.2在审
发明人：唐芸生;余琨;张家涛;贾元伟;储鑫;梁华鑫;李政;宋觉敏 -专利权人：云南锡业集团（控股）有限责任公司研发中心
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种锡铟合金靶材的塑性变形加工和热处理方法，采用高纯锡锭和高纯铟锭配置锡铟合金靶材成分，控制锡铟合金靶材成分中锡的含量为50％～95wt.％，铟的含量为5％～50wt.％；在电阻炉升温到260℃～300℃后，将高纯锡锭在石墨坩埚中加热熔化后，加入高纯铟锭并搅拌，得到合金熔体；将合金熔体浇铸到钢模中获得合金锭；将合金锭于100±10℃热处理16～24h；然后除去表面氧化皮，再挤压、或锻压、或轧制成型，得到初加工锡铟合金靶材；将初加工锡铟合金靶材进行退火处理，获得等轴形状且晶粒尺寸在30～50μm、晶粒无明显方向性的再结晶晶粒的锡铟合金靶材。
一种合金塑性变形加工热处理方法

[发明专利]一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺-CN202110725837.2在审
发明人：曾墩风;王志强;王振宏 -专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B22D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺，包括以下步骤，步骤1，将金属化后的靶材和背板放置在加热台上进行升温加热；步骤2，将铟和锡分别放置到加热炉内进行加热熔化；步骤3，按比例将熔化的铟倒入熔化的锡中，使用自动搅拌机进行搅拌混合；步骤4，将搅拌均匀的铟锡混合材料放置在靶材和背板之间，再逐步降温冷却。通过采用铟锡混合材料，以锡为主体，减少了铟的使用量，适用于靶材绑定工艺，有效的降低了生产成本。
一种使用混合材料绑定工艺

[发明专利]一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法-CN201310135894.0有效
发明人：黄誓成;何建进;陆映东 -专利权人：广西晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2013-04-18 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： C04B35/622 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将由化学共沉淀法得到氧化铟锡粉末装入管状柔性模具中，以200～400MPa压力进行冷等静压成型，冷等静压结束后，卸压至常压，制得氧化铟锡管状素坯，再将氧化铟锡管状素坯在脱脂炉中进行脱脂，然后将脱脂后的坯体放入压力烧结炉中，按一定的烧结条件在氧气压力下进行压力烧结，得到相对密度在99%以上的氧化铟锡旋转靶材。本发明制备的氧化铟锡管状旋转靶材，其优点在溅射过程中，靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转，因而360°靶面可被均匀刻蚀，同时溅射原子可向各个方向飞行，均匀性好，溅射面积大，更换操作方便，生产效率高，靶材利用率高
一种氧化旋转制备方法

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