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[发明专利]一种管状靶材的内旋转高温烧结方法-CN201810466234.3在审
发明人：舒永春;陈杰;孙本双;曾学云;刘洋 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C04B35/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种管状靶材的内旋转高温烧结方法，包括管状靶材素坯成型、加热烧结管状靶材素坯，加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态，以及，降温直至室温、得到烧结好的管状靶材。本发明实施例公开的管状靶材的内旋转高温烧结方法，能够制备出收缩均匀、无开裂、无烧结变形的管状靶材，制备方法简单，易于工业化应用。
管状靶材高温烧结内旋转烧结素坯制备工业化应用加热过程烧结变形素坯成型旋转状态加热收缩

[实用新型]一种金属管状靶材校直装置-CN202022649701.1有效
发明人：刘军社 -专利权人：宝鸡市佳军金属材料有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： B21D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属管状靶材校直装置，包括底座和管状靶材，所述底座上设有小巧轻便同时便于固定和校直管状靶材且操作时便于省力的校直装置，所述校直装置包括便于校直管状靶材且操作时便于省力的校直机构，所述底座上设有便于夹紧管状靶材且校直过程中可以灵活转动和移动的固定机构，此金属管状靶材校直装置，解决了现有金属管状靶材校直装置机体较大且使用时操作较为费力的问题，设置了校直机构，便于校直管状靶材且操作时便于省力，设置了固定机构，便于夹紧管状靶材且校直过程中可以灵活转动和移动，便于适应较直过程中管状靶材所夹紧处的位置移动，装置操作简单快捷，节省了工作人员的体力，大大提高了人们的工作效率。
一种金属管状靶材校直装置

[发明专利]一种管状靶材焊接的温度控制装置及其应用-CN202010237379.3有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周伟君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本发明提供一种管状靶材焊接的温度控制装置，所述装置通过在管状靶材外部设置有分段式温控系统，能够对靶材进行分段式降温；利用所述装置的管状靶材焊接后冷却方法在焊接完成后分段将管状靶材冷却，可解决管靶焊接合格率低，加热系统不稳定导致陶瓷靶易碎的问题。
一种管状焊接温度控制装置及其应用

[发明专利]一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法-CN201810466251.7在审
发明人：舒永春;陈杰;孙本双;曾学云;刘洋 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： C04B35/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法，包括管状靶材素坯成型；加热管状靶材素坯、加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态，在烧结温度下保持设定的时间，且加热采用微波加热与电阻加热混合方式进行，以及，降温、停止旋转、直至室温、得到烧结好的管状靶材。利用微波混合加热内旋转高温烧结方法能够制备出收缩均匀、无变形、无烧结裂变的管状靶材，制备方法简单，易于工业化应用。
管状靶材高温烧结混合加热烧结内旋转微波素坯制备工业化应用电阻加热混合方式加热管状加热过程素坯成型微波加热旋转状态无变形靶材加热裂变收缩

[发明专利]一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法-CN202211055870.X在审
发明人：姚力军;潘杰;黄文杰;周友平;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B28B1/087 文献下载
摘要：本发明提供了一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法，所述装置系统包括：气动振动装置、管状包套、夹具与锁紧螺丝；所述气动振动装置与所述夹具之间可拆卸连接，所述管状包套在所述夹具中间，所述夹具与所述管状包套之间可拆卸连接；所述靶材粉末在所述提升管状靶材装粉密度的装置系统中进行装粉并振实，管状靶材装粉密度得到提升；所述装置系统以气动振动装置替代现有振动平台对管状靶材粉末进行振实，靶材装粉密度得到提升，且装置体积较小，方便携带至各工段进行生产
一种提升管状靶材装粉密度装置系统方法

[发明专利]一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置-CN201810466187.2在审
发明人：舒永春;吴敦元;陈杰;孙本双;曾学云 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： F27B5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，该烧结装置包括烧结装置本体，该烧结装置本体包括炉膛上盖、炉膛本体和炉膛下盖；承烧台，设置在炉膛下盖上，用于放置管状靶材；旋转组件，用于旋转承烧台，该旋转组件可以为磁旋转组件内旋转高温烧结装置通过管状靶材的旋转，实现了管状靶材烧结过程中加热温度的均匀性，减小了大尺寸管状靶材在加热过程中受热不均的问题，能够制备出收缩均匀、烧结不形变、不开裂的大尺寸管状靶材。
管状靶材炉膛高温烧结装置烧结装置内旋转制备旋转组件下盖加热过程炉膛本体烧结过程受热不均烧结磁旋转均匀性形变加热减小上盖收缩

[实用新型]一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置-CN202022396598.4有效
发明人：刘军社 -专利权人：宝鸡市佳军金属材料有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B24B29/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置，包括电机和抛光头，所述电机的输出端设有便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理的研磨抛光装置，此管状金属靶材内孔研磨抛光装置，解决了现有管状金属靶材内孔研磨抛光装置使用时难以根据管状靶材内径大小随意调节抛光头使之与靶材内壁贴合且使用时粉尘飞溅难以回收的问题，设置了研磨抛光装置，便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理
一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置

[实用新型]一种用于固定管状靶材的卡盘-CN201922373731.1有效
发明人：周其刚;黄家荣 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B24B5/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了靶材制造技术领域的一种用于固定管状靶材的卡盘，旨在解决现有技术中夹固管状靶材用的卡盘只能夹持固定尺寸的管状靶材，且卡盘与管状靶材之间刚性接触，容易影响管状靶材的打磨精度甚至造成其损失的技术问题
一种用于固定管状卡盘

[发明专利]一种极高靶材利用率的镀膜设备-CN201610065026.3在审
发明人：渠洪波 -专利权人：沈阳科友真空技术有限公司
申请日： 2016-02-01 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种极高靶材利用率的镀膜设备，涉及一种真空溅射镀膜技术领域。该发明包括真空室，其中，还包括管状靶材、偏压电源、直流线圈电源和镀膜电源，管状靶材设置在真空室内，偏压电源、直流线圈电源和镀膜电源均设置在真空室外，管状靶材上缠绕有水冷线圈，管状靶材的上方设置有第一工件台，管状靶材的下方设置有第二工件台，偏压电源与第一工件台连接，直流线圈电源与水冷线圈连接，镀膜电源与管状靶材连接。本发明极大提高靶材利用率，提高镀膜速率，同时通过电磁线圈产生的磁场束缚电子运动轨迹，使电子与膜材离子的运动路径延长，进一步增加电子与膜材原子或分子碰撞几率，从而提高离化率。
一种极高利用率镀膜设备

[实用新型]一种用于管状靶材的对称渐进式绑定治具-CN201922433551.8有效
发明人：周其刚;李宪民 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B65B13/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于管状靶材的对称渐进式绑定治具，包括平行布设的外载体架、内载体架，所述外载体架的顶端通过装配叉接件与所述内载体架的顶端固定连接，所述外载体架的底端通过连接架与所述内载体架的底端固定连接，所述外载体架与所述内载体架的内部设置有导引组件，所述导引组件的内部容纳设置有管状靶材，所述管状靶材的外周面设置有绑定套。本实用新型从整体上解决了现有的管状靶材在加工成型以后，需要进行包装绑定成产品后进行运输，防止在管状靶材未使用之前被损坏或者刮伤，设计一种用于管状靶材的对称渐进式绑定治具，以解决对管状靶材的绑定辅助包装的技术问题
一种用于管状对称渐进绑定

[发明专利]一种管状氧化铟镓锌（In2-CN202211502274.1在审
发明人：陈杰;齐超;孙本双;何季麟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明属于金属氧化物靶材制备技术领域，具体涉及一种管状氧化铟镓锌（In2Ga2ZnO7）细晶高致密无开裂靶材的制备方法。该方法包括物料球磨、造粒、冷等静压制备管状靶材素坯、三阶段烧结。本发明使用了三阶段烧结工艺，通过对靶材粉末处理、坯体成型及烧结过程的调控，制备了高致密度、细晶粒，无开裂的氧化铟镓锌管状靶材。管状靶材在旋转阴极内溅射时，靶材利用率较平面靶材由原本的30～40%提升至70%以上，大大提升了溅射效率及靶材利用率，具有较高的产业利用价值。
一种管状氧化铟镓锌 in base sub

[发明专利]一种管状物内壁双辉等离子处理装置及处理方法-CN202310091775.3在审
发明人：魏东博;林慕尧;陈小虎;张平则;杨凯;李淑琴 -专利权人：南京航空航天大学;中国兵器科学研究院宁波分院
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种管状物内壁双辉等离子处理装置，包括电极杆和底盘；底盘通过第一陶瓷支柱与靶材托盘相连，底盘通过第二陶瓷支柱与工件托盘相连；靶材托盘上设置靶材一及靶材二，靶材一、靶材二为圆盘形；工件托盘上预留与工件内径相等的孔，工件托盘上还设置空心保温罩，靶材一、靶材二中间位置设置工件，靶材一、靶材二、工件、空心保温罩的中心线重合；靶材托盘与电极杆一相连，工件托盘与电极杆二相连。本发明还公开了一种管状物内壁双辉等离子处理装置的处理方法。本发明的两个金属靶材外壁和管状物内壁为等间距，位于管状物的上下两侧，膜层厚度均匀致密，无孔洞和裂纹出现，与基体成冶金结合，提高使用寿命。
一种管状内壁等离子处理装置方法

[发明专利]一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法-CN201810722391.6在审
发明人：孙本双;陈杰;曾学云;舒永春;何季麟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明提供一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法，该方法包括，氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到料浆；料浆喷雾造粒，在管状靶材模具中冷等静压成型，得到氧化铟锡管状靶材素坯；氧化铟锡管状靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理，得到氧化铟锡管状靶材。该方法的烧结温度降低，烧结时间大大缩短，氧化铟锡靶材的晶粒细小、均匀，致密度高，相对密度可达99.7％。
管状靶材氧化铟锡烧结脱脂一体化制备混合粉体料浆素坯冷等静压成型氧化铟锡靶材氧化锡粉体氧化铟粉体一体化处理喷雾造粒温度降低晶粒研磨料浆液混匀模具

[发明专利]钽、铌管状靶材生产方法-CN202011337995.2在审
发明人：柴正伍 -专利权人：宝鸡同盈稀有金属有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种钽、铌管状靶材生产方法，包括以下步骤：在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。采用本发明技术方案的钽、铌管状靶材生产方法生产的钽、铌管状靶材内部组织一致性较好，保证溅射膜的质量；同时靶材成才率高，有效节约生产成本。
管状生产方法

[发明专利]一种纯铝管状靶材与铝合金配件的搅拌摩擦焊方法-CN202211083845.2在审
发明人：姚力军;潘杰;龚祖光;王学泽;凌培文 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明提供一种纯铝管状靶材与铝合金配件的搅拌摩擦焊方法，所述搅拌摩擦焊方法包括如下步骤：(1)纯铝管状靶材依次进行挤压、拉伸、校直热处理和机加工处理，得到待焊接纯铝管状靶材；铝合金配件进行机加工处理，得到待焊接的铝合金配件；(2)所述待焊接纯铝管状靶材与待焊接的铝合金配件经搅拌头的转速为1000～1500r/min且焊接点移动速度为0.03～0.05m/min的搅拌摩擦焊，得到成品管状靶材。本发明所述搅拌摩擦焊方法适应多种尺寸纯铝管状靶材的焊接，焊接效率高且焊接质量好，具有大规模工业化推广应用前景。
一种管状铝合金配件搅拌摩擦方法

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