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[发明专利]一种制备ABX3钙钛矿单晶薄膜的方法-CN201611064731.8在审
发明人：冯晶;胡明钰;种晓宇 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： C30B29/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备ABX3钙钛矿单晶薄膜的方法，所述制备ABX3钙钛矿单晶薄膜的方法将含A卤代物和含B金属化合物溶解于溶剂M中，含A卤代物和含B金属化合物的摩尔比为1：0.1～2；配置成浓度为0.05‑5.0mol/L钙钛矿溶液；向基片P上滴加钙钛矿溶液，盖上基片Q；利用基片P与基片Q两片基片，控制钙钛矿单晶的生长方向，使晶体在基片P与基片Q两基片之间的缝隙生长，即钙钛矿单晶只能延两个方向生长，随着两基片之间钙钛矿溶液中溶剂的蒸发制得钙钛矿单晶薄膜本发明可制备出较高质量、较大尺寸的钙钛矿单晶薄膜；方法工艺简单、可操作性强、可重复性高。
一种制备 abx3 钙钛矿单晶薄膜方法

[发明专利]具有原子级台阶结构的单晶钛酸锶衬底基片及其制备方法-CN201910644631.X在审
发明人：付振;陈燕宁;尹志岗;原义栋;刘芳 -专利权人：北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C30B29/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有原子级台阶结构的单晶钛酸锶衬底基片的制备方法。该制备方法包括：将未处理的钛酸锶衬底基片进行第一次超声波清洗；用氟化铵‑氢氟酸缓冲液腐蚀第一次清洗后的钛酸锶衬底基片；将所得钛酸锶衬底基片在高温流动氧氛围下进行退火处理；将退火处理后的钛酸锶衬底基片进行第二次超声波清洗，得到具有原子级台阶结构的单晶钛酸锶衬底基片；以及将所得的具有原子级台阶结构的单晶钛酸锶衬底基片进行出片。该制备方法能够使得单晶钛酸锶衬底基片可定向性腐蚀出具有台阶结构的钛‑氧结束面，且酸碱度适宜，表面呈现明显的台阶状，表面均方根粗糙度低，整个台阶表面并无腐蚀孔洞出现。
衬底基片单晶钛酸锶台阶结构原子级钛酸锶制备超声波清洗退火处理酸碱度均方根粗糙度腐蚀孔洞表面呈现台阶表面定向性氟化铵缓冲液氢氟酸台阶状未处理无腐蚀出片清洗流动

[发明专利]一种沉积纳米级氮化铌增强牙科钛瓷结合强度的方法-CN201110269030.9无效
发明人：唐祖明;周雪锋;梅茜;顾宁 -专利权人：东南大学
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积纳米级氮化铌增强牙科钛瓷结合强度的方法，其包括如下步骤：a.筛选无铸造缺陷的纯钛基片，对纯钛基片进行预处理；并在一定压力下，对所述纯钛基片进行喷砂，喷砂结束后将纯钛基片清洗干净，并用纯氮气吹干；b.在经过a步骤处理后的纯钛基片表面利用沉积方法沉积纳米级氮化铌；c.然后利用瓷粉对经过沉积处理的纯钛基片在烤瓷炉中进行瓷烧结，获得烤瓷熔附钛材料。本方法操作简便，抑制了纯钛在瓷烧结温度下的氧化行为，且在不影响美学效果的基础上达到了增强钛瓷结合强度的目的。此外，相关材料和设备获取较为便捷，具有良好的临床应用前景和较高的实际应用价值。
一种沉积纳米氮化增强牙科结合强度方法

[实用新型]用于快速制备大面积钙钛矿薄膜的设备-CN201920022202.4有效
发明人：蔡龙华;刘支赛;马英壮;孙风光;牛欢欢;方主亮;葛文奇;范斌;田清勇 -专利权人：苏州协鑫纳米科技有限公司;苏州协鑫能源技术发展有限公司
申请日： 2019-01-07 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： B05C9/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于快速制备大面积钙钛矿薄膜的设备，其包括：工作基台，其至少用以安置并固定基片；基片转移机构，其至少用以转移基片；涂布机构，其至少用以在基片表面涂布用于形成钙钛矿薄膜的低沸点钙钛矿溶液；风干机构，其包括设置在工作基台上方的箱体以及设置在箱体内的气流发生机构，气流发生机构能够自上至下向涂布有低沸点钙钛矿溶液的基片表面吹气或自下至上将基片表面的气体抽出，从而在基片表面形成流动气流，进而使低沸点钙钛矿溶液快速干燥形成钙钛矿薄膜本实用新型提供的用于快速制备大面积钙钛矿薄膜的设备，结构简单，对设备的精度及密封性的要求低，制备大面积钙钛矿薄膜的干燥时间短，适用于利于流水线生产。
钙钛矿薄膜基片表面快速制备低沸点钙钛矿气流发生机构本实用新型流水线生产风干机构工作基台固定基片快速干燥流动气流涂布机构转移机构对设备工作基密封性吹气制备抽出安置

[实用新型]一种钙钛矿薄膜涂布设备-CN201720629818.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：杭州纤纳光电科技有限公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： B05C9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种钙钛矿薄膜涂布设备，包括输送基片的传送装置、钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置以及风干装置或加热干燥装置，钙钛矿溶液涂布装置设置有钙钛矿涂布头，反溶剂喷涂装置设置有反溶剂喷涂嘴。基片经过传送装置带动依次经过钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置和风干装置或加热干燥装置，出风口的风将基片表面上的钙钛矿溶液和反溶剂同时挥发干燥并形成钙钛矿薄膜。本实用新型对喷涂或涂布有钙钛矿溶液的基片进行风吹或红外线加热干燥，在保证低生产成本的同时，提高成膜质量，适合进行基片的钙钛矿薄膜大面积规模化生产。
一种钙钛矿薄膜布设

[发明专利]一种在基片表面制备氮化钛纳米薄膜的方法、具有薄膜的基片及其应用-CN201810293001.8有效
发明人：谢贵柏;苗光辉;许建丽;杨晶;崔万照;张洪太;于洪喜;王新波;何鋆 -专利权人：西安空间无线电技术研究所
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明提供一种在基片表面制备氮化钛纳米薄膜的方法、具有薄膜的基片及其应用，属于二次电子发射抑制技术领域。所述方法包括：将基片经预真空室传送至反应腔中，给所述反应腔抽真空；向所述反应腔中通入惰性气体，对所述基片进行退火处理；将退火处理后的所述基片退回所述预真空室，采用氨气等离子体和气态钛源对所述反应腔进行若干次洗气循环；将所述基片送回所述反应腔，保持所述反应腔温度为150‑220℃，采用所述氨气等离子体和钛源进行等离子体增强氮化钛原子层沉积反应，得到表面具有氮化钛纳米薄膜的基片。本发明制备的超薄薄膜可控性强、薄膜与基片结合强度高、表面共形性好、在平面及多孔等复杂结构表面均匀性高。
一种表面制备氮化纳米薄膜方法具有及其应用

[发明专利]一种在铌酸锂晶体上制备周期性波导光栅的方法-CN201510183841.5有效
发明人：张爱玲;闫广拓 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2015-04-17 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：一种利用二次钛扩散在铌酸锂基片中制备周期性波导光栅的方法，在铌酸锂中利用二次钛扩散在铌酸锂基片中制备周期性波导光栅，所述二次钛扩散包括两种方式第一种方式为第一次钛扩散在铌酸锂基片中形成折射率周期性变化的光栅结构，第二次钛扩散在铌酸锂基片中形成单模条形波导结构；第二种方式为第一次钛扩散在铌酸锂基片中形成单模条形波导结构，第二次钛扩散在铌酸锂基片中形成折射率周期性变化的光栅结构，经第一次和第二次钛扩散后在铌酸锂基片中形成周期性波导光栅
一种铌酸锂晶体制备周期性波导光栅方法

[发明专利]一种在硅基片上制备钙钛矿薄膜的方法-CN202210860849.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：深圳黑晶光电技术有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L51/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种在硅基片上制备钙钛矿薄膜的制备方法，其方法包括：配制钙钛矿前驱体墨水；采用喷墨打印将钙钛矿前驱体墨水打印在硅基片上得到钙钛矿湿膜；采用真空闪蒸工艺辅助钙钛矿湿膜成膜，形成预结晶干膜；将所述钙钛矿预结晶干膜进行退火处理，获得钙钛矿薄膜。本工艺在硅片上采用高精密度的喷墨打印制备钙钛矿薄膜，具有更高的分辨率，更精细、更平滑的细节，使得钙钛矿在硅基片上形成致密、无缩孔的薄膜，与下层硅片形成良好的接触，实现钙钛矿薄膜在大面积硅基片上快速且稳定的沉积
一种硅基片上制备钙钛矿薄膜方法

[发明专利]一种钛扩散铌酸锂光波导的制备方法-CN202111096026.7在审
发明人：富松;张洪波;华勇 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛扩散铌酸锂光波导的制备方法，包括在铌酸锂基片表面形成一层具有导电性能的导电薄膜；利用光刻工艺在所述导电薄膜的表面形成一第一钛条沉积窗口和光刻胶波导掩膜结构；对导电薄膜进行第一次腐蚀，在导电薄膜上对应于所述第一钛条沉积窗口的位置处形成第二钛条沉积窗口，所述第二钛条沉积窗口使得铌酸锂基片的表面显露于外；在铌酸锂基片显露于外的表面形成一层钛膜；将铌酸锂基片上的光刻胶波导掩膜结构剥离；对导电薄膜进行第二次腐蚀，得到具有钛条扩散源的铌酸锂基片；将得到的铌酸锂基片在预设的扩散温度及扩散时间下进行钛扩散
一种扩散铌酸锂光波导制备方法

[发明专利]一种钙钛矿薄膜涂布设备及使用方法和应用-CN201710406229.9有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：杭州纤纳光电科技有限公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B05C9/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种钙钛矿薄膜涂布设备，包括输送基片的传送装置、钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置以及风干装置或加热干燥装置，钙钛矿溶液涂布装置设置有钙钛矿涂布头，反溶剂喷涂装置设置有反溶剂喷涂嘴。基片经过传送装置带动依次经过钙钛矿溶液涂布装置、反溶剂喷涂装置和风干装置或加热干燥装置，出风口的风将基片表面上的钙钛矿溶液和反溶剂同时挥发干燥并形成钙钛矿薄膜。本发明还涉及该涂布设备的使用方法和应用。本发明对现有的一步溶液法和两步溶液法设备及使用方法和应用进行改进，对喷涂或涂布有钙钛矿溶液的基片进行风吹或红外线加热干燥，在保证低生产成本的同时，提高成膜质量，适合进行基片的钙钛矿薄膜大面积规模化生产。
一种钙钛矿薄膜布设使用方法应用

[发明专利]扩散片及其制造方法-CN200810305609.4无效
发明人：洪新钦 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2008-11-18 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： G02B5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种扩散片，其包括一透光基片，一形成于该透光基片上的扩散层，该扩散层为一具有多孔结构的二氧化钛膜层。本发明还提供一种扩散片的制造方法，其包括以下步骤：提供一透光基片和一正丁醇钛溶液；利用溶胶凝胶法在该透光基片涂覆该正丁醇钛溶液，形成一多孔二氧化钛膜的扩散层。使用溶胶凝胶法制备的二氧化钛膜层作为扩散层，不需大型烘烤设备，量产成本较低。
扩散及其制造方法

[实用新型]一种钙钛矿电池组件结构-CN202222254028.0有效
发明人：秦艺颖;高昌吉;朱桂;刘琴;田清勇;范斌 -专利权人：昆山协鑫光电材料有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L51/44 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种钙钛矿电池组件结构。所述钙钛矿电池组件结构，包括气凝胶隔热层、第一基片、电池组件功能层、封装胶膜、第二基片和散热层，所述气凝胶隔热层、第一基片、电池组件功能层、封装胶膜和第二基片沿指定方向依次设置；其中，所述电池组件功能层的第一面与第一基片的导电面结合，所述电池组件功能层的第二面与封装胶膜结合，所述第一面与第二面相背对，所述第二基片设置在封装胶膜和散热层之间。本实用新型的钙钛矿电池组件结构，能够阻滞组件热流传递，降低组件整体温度，减轻因组件热效应造成的钙钛矿分解问题，延长钙钛矿太阳能组件使用寿命。
一种钙钛矿电池组件结构

[实用新型]耐高温减反射膜-CN201921251289.9有效
发明人：闪雷雷;朱小康 -专利权人：深圳陆鼎光电科技有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐高温减反射膜，其包括基片、至少两层二氧化钛涂层和至少两层二氧化硅/三氧化二铝涂层；二氧化钛涂层与二氧化硅/三氧化二铝涂层交替沉积于基片的正面上，且二氧化硅/三氧化二铝涂层靠近基片；二氧化钛涂层与二氧化硅/三氧化二铝涂层交替沉积于基片的反面上，且二氧化硅/三氧化二铝涂层靠近基片。本实用新型通过二氧化钛涂层与二氧化硅/三氧化二铝涂层交替沉积于基片的正面上，二氧化钛涂层与二氧化硅/三氧化二铝涂层交替沉积于基片的反面上，通过镀减反射膜膜可增加光的透过率，从而提高电池的效率；二氧化钛减反射膜能提高玻璃基体的抗碱性能和防水防潮性能，且二氧化钛和二氧化硅的熔点高，在高温环境中稳定不易变形。
耐高温减反射膜

[发明专利]一种基于喷涂工艺的钙钛矿发光二极管及其制备方法-CN201810440703.4有效
发明人：于军胜;王子君;吴梦鸽;杨根杰 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于喷涂工艺的钙钛矿发光二极管的制备方法，方法包括如下步骤：制备基片的衬底，在衬底上依次制备阳极层、空穴传输层、钙钛矿发光层、电子传输层和阴极层，最后将得到的基片进行封装，完成器件制备，其中制备钙钛矿发光层步骤具体为将基片置于低温板上降温，用喷涂法在空穴传输层上一次性喷涂钙钛矿材料溶液，得到钙钛矿发光层，再将低温的基片直接置于热台上退火完成钙钛矿发光层制备。本发明采用低温一次性喷涂制备钙钛矿发光层薄膜，粗糙度低，结晶性好，晶粒小，能够提高发光二极管的亮度和量子效率。
发光层钙钛矿制备发光二极管空穴传输层制备钙钛矿喷涂工艺一次性衬底喷涂退火电子传输层钙钛矿材料晶粒量子效率器件制备粗糙度低温板结晶性喷涂法阳极层阴极层薄膜封装

[发明专利]一种用于氯发生器的钛电极及其制备方法-CN200910111957.2无效
发明人：林华乡;蔡志发;陈华清 -专利权人：明达实业(厦门)有限公司
申请日： 2009-06-09 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： C25B11/08 文献下载
摘要：一种用于氯发生器的钛电极及其制备方法，涉及一种氯发生器，尤其是涉及一种用于氯发生器的钛电极及其制备方法。提供一种产氯效率较高、使用寿命较长的用于氯发生器的钛电极及其制备方法。设有钛基片，在钛基片上有表面涂层，表面涂层为金属铂、铱、钌的氧化物层，表面涂层中，按质量百分比，铂为0～70％，铱为10％～80％，钌为20％～90％。将钛基片进行表面处理后浸泡于水中备用；将氯铂酸、氯铱酸和三氯化钌溶于异丙醇和盐酸的混合溶液中，得涂覆液；将涂覆液冷却，搅拌，再涂覆在钛基片上，干燥，烘烤，再重复涂覆、烘烤。
一种用于发生器电极及其制备方法

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