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- [发明专利]一种钆钡铜氧致密膜的制备方法-CN201210310445.0无效
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金利华;卢亚锋;李成山;于泽铭
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西北有色金属研究院
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2012-08-28
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2012-12-05
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C04B35/622
- 本发明公开了一种钆钡铜氧致密膜的制备方法,包括以下步骤:将三氟乙酸钆、三氟乙酸钡和三氟乙酸铜溶解于甲醇中,得到三氟乙酸盐前驱液一;将螯合剂与三氟乙酸盐前驱液一加入搅拌器中,搅拌反应后形成络合物,将络合物在甲醇和丙酸混合溶液中定容得三氟乙酸盐前驱液二;采用旋涂法将三氟乙酸盐前驱液二均匀涂覆在铝酸镧单晶基片上,后将涂覆有涂层的铝酸镧单晶基片置于热解炉中进行热解,得到表面光滑的前驱膜;将前驱膜置于管式炉中进行晶化处理,晶化处理后将管式炉中的温度降到渗氧处理的温度进行渗氧处理,随炉冷却得钆钡铜氧致密膜。本发明工艺简单、设计合理且易于操作,采用本制备方法制备的钆钡铜氧致密膜表面光滑、平整致密、性能优异。
- 一种钆钡铜氧致密制备方法
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