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[发明专利]一种谐振式高加速度振动发生装置-CN201611164677.4有效
发明人：蔡晨光;刘志华;杨明;王颖 -专利权人：中国计量科学研究院;北京化工大学
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01M7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振式高加速度振动发生装置，该装置的振动台用于提供与谐振梁谐振频率相同的振动激励信号；振动台台面用于安装并固定谐振梁支架固定座；谐振梁支架固定座用于调整两个谐振梁支架的位置并固定谐振梁支架；谐振梁支架用于安装长度可调节的谐振梁；谐振梁固支器用于紧固谐振梁；谐振梁长度可调节，谐振频率可改变，处于谐振工作状态，用于放大振动台发生的机械振动信号，实现高加速度振动发生；谐振梁支架支撑杆，用于支撑两个谐振梁支架；预紧力加载器用于调节谐振梁支架支撑杆的支撑长度。与传统的谐振式高加速度振动发生装置相比，本装置在谐振梁固定后，可通过施加预紧力的方式，高精度地调节谐振梁的谐振频率。
谐振梁支架谐振频率振动发生装置长度可调节支架固定座支架支撑杆谐振式预紧力振动台机械振动信号谐振工作状态振动激励信号振动台台面传统的加载器可改变紧固支撑放大施加

[发明专利]一种新型频率检测谐振式磁强计-CN201811185109.1有效
发明人：焦文龙;闫旭亮;李君儒 -专利权人：华润微电子（重庆）有限公司
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型频率检测谐振式磁强计，包括一敏感梁和至少一对梁谐振器，所述敏感梁的两端分别固定在一第一锚点上；每对所述梁谐振器中包括设置在所述敏感梁的第一面上的梁谐振器和设置在所述敏感梁的第二面上的梁谐振器，两个所述梁谐振器分别设置在所述敏感梁的两端；每一所述梁谐振器均包括一谐振梁、一用于驱动所述梁谐振器工作的驱动部件和一用于检测所述梁谐振器谐振频率的检测部件，所述谐振梁的一端垂直固定在所述敏感梁上，所述谐振梁的另一端固定在一第二锚点上
一种新型频率检测谐振磁强计

[发明专利]一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法-CN201910064334.8有效
发明人：赵立波;韩香广;李雪娇;郭鑫;皇咪咪;卢德江;王久洪;赵玉龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括谐振层和承压膜片，谐振层包括谐振梁和平衡梁，四根谐振梁组成一组H型梁，H型梁共有两组且对称设置，谐振梁端部均固定在平衡梁上，两根平衡梁通过谐振梁的延伸部分与刚性质量块连接，相邻的谐振梁之间设置有质量块，质量块中部设置有耦合梁，耦合梁中部设置有拾振电阻，位于外侧的两个质量块分别与两个可动电极固定连接。当压力施加在承压膜片加载时，谐振梁受压产生形变，导致谐振梁的固有频率发生改变，同时通过固定电极激励谐振梁振动，谐振状态时，耦合梁上拾振电阻分别循环处于受压/受拉状态，基于压阻效应使得拾振电阻值发生变化，从而拾取谐振梁固有频率。
一种受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法

[发明专利]微机电谐振结构、谐振器及压力传感器-CN201710982712.1有效
发明人：杜晓辉;王洲;闫晓风;刘丹;王麟琨;石镇山 -专利权人：机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：本公开提供了一种微机电谐振结构、谐振器及压力传感器。该谐振结构包括：环形谐振主梁；环形谐振辅梁，设置于环形谐振主梁的外侧；2N个第一连接块，匀设于环形谐振主梁和环形谐振辅梁之间的环形空间内，对于每一个第一连接块，其内侧刚性连接至环形谐振主梁；2N个第一调频块，匀设于环形谐振主梁和环形谐振辅梁之间的环形空间内，每一个第一调频块设置于两个第一连接块之间，其内侧和外侧分别刚性连接至环形谐振主梁和环形谐振辅梁；N为正整数，2N个第一连接块和2N个第一调频块关于环形谐振主梁和环形谐振辅梁共同的轴对称本公开中，谐振结构的振动为动平衡状态且完全耦合。
微机谐振结构谐振器压力传感器

[发明专利]基于电磁激励压阻检测的面内振动硅微谐振式压力传感器-CN202010121079.9有效
发明人：赵立波;韩香广;李雪娇;王李;于明智;李支康;朱楠;杨萍;闫鑫;王淞立;赵玉龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了基于电磁激励压阻检测的面内振动硅微谐振式压力传感器，基于双H型谐振梁对称耦合设计，包括谐振器和压力敏感膜，谐振器通过锚点与压力敏感膜连接，谐振器包括谐振梁和耦合梁、拾振梁，压力敏感膜受压力载荷后带动锚点运动，锚点将变形传递到谐振梁上，改变谐振梁的内应力，从而使谐振梁的固有频率发生变化。两侧谐振梁上布置有激励线路，激励线路内部通有交流电，在永磁场中产生方向相反的洛伦兹力，完成谐振梁驱动。拾振梁布置在耦合梁内侧，当谐振器处于工作模态时候，谐振梁产生相对运动，耦合梁带动拾振梁产生变形，从而改变拾振梁上压敏电阻的内应力，则压敏电阻阻值随之改变，通过检测电阻信号完成谐振频率拾取。
基于电磁激励检测振动谐振压力传感器

[发明专利]一种多梁耦合的微机电谐振器-CN202110433259.5在审
发明人：刘文立;杨晋玲;袁泉;陈泽基;杨富华 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： H03H7/075 文献下载
摘要：本公开提供一种多梁耦合的微机电谐振器，包括：谐振结构，包括多个谐振梁，且各个谐振梁顺次首尾相连耦合形成多边形环，相邻所述谐振梁耦合处设置有位移节点；电极，设置于所述谐振结构外围及所述谐振结构的内侧，通过机电转换介质层与所述谐振结构相隔；多个支撑梁，每个所述支撑梁的一端连接至一个所述位移节点；其中，各所述支撑梁的另一端连接至固定的基座，使得所述谐振结构处于悬空状态，因此在谐振结构工作时，电极驱动所述谐振结构，使所述每个谐振梁在所述多边形环所在面内朝垂直于对应谐振梁长度的方向做弯曲振动
一种耦合微机谐振器

[发明专利]一种基于内共振锁频的MEMS谐振式传感器-CN202111483360.8在审
发明人：肖尊浩;施展;宦荣华;浦东;王雪峰;韦学勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于内共振锁频的MEMS谐振式传感器，包括低频谐振器模块、高频谐振器模块、耦合梁模块、低频激励模块和高频激励模块，所述低频谐振器模块通过低频谐振梁与低频激励模块连接，所述的低频激励模块能产生激励并通过功率放大器检测低频谐振梁的运动；所述高频谐振器模块通过高频谐振梁与高频激励模块连接，所述的高频激励模块能产生激励并通过功率放大器检测高频谐振梁的运动；所述耦合梁模块连接低频谐振器模块和高频谐振器模块。本发明通过利用低频谐振梁与高频谐振梁频率耦合失锁跳变这一现象，使谐振器能够在非线性区域进行测量，提升了谐振器的灵敏度，扩充了测量范围。
一种基于共振 mems 谐振传感器

[发明专利]一种谐振式流量传感器-CN202110391530.3有效
发明人：王立峰 -专利权人：南京深思微电子有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01F1/05 文献下载
摘要：本发明公开一种谐振式流量传感器，包括衬底，谐振敏感结构、读出端口结构和闭环读出电路。其中，谐振敏感结构包括：锚区，谐振梁，读出梁及其第一平衡梁，敏感梁及其第二平衡梁，以及连接梁；所述读出梁及其第一平衡梁关于谐振梁形成左右对称；所述敏感梁及其第二平衡梁关于谐振梁形成左右对称。此外，本发明的敏感结构工作在机械谐振状态，具有对流量的灵敏度高和输出稳定性高的优势。
一种谐振流量传感器

[发明专利]一种基于参数泵的MEMS振荡器-CN202110045005.6有效
发明人：韦学勇;徐宇涛;徐柳;阳琪琪;王雪峰;宦荣华;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于参数泵的MEMS振荡器，低频谐振器模块通过低频谐振梁分别连接低频谐振器第一激励模块和低频谐振器第二激励模块；高频谐振器模块通过高频谐振梁分别连接高频谐振器第一激励模块和高频谐振器第二激励模块；共用梁模块采用机械连接方式将低频谐振梁和高频谐振梁连接；低频谐振器模块与低频振荡器闭环振荡回路连接，并经加法器与参数泵模块连接，高频谐振器模块与高频振荡器闭环振荡回路连接；低频振荡器闭环振荡回路和高频振荡器闭环振荡回路分别使低频谐振梁和高频谐振梁在谐振频率处发生闭环振荡，参数泵模块对低频谐振梁施加动态刚度调制信号。
一种基于参数 mems 振荡器

[发明专利]弱耦合式MEMS加速度传感器-CN202011100965.X有效
发明人：邹旭东;汪政;熊兴崟;王坤锋;李志天;杨伍昊 -专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种弱耦合式MEMS加速度传感器，包括N个锚点，用于提供锚固连接点；敏感质量块；M个支撑结构，与M个锚点连接，用于支撑敏感质量块；第一谐振器，包括第一谐振梁、第一驱动电极和第一检测电极，第一谐振梁一端通过杠杆结构与敏感质量块连接，第一驱动电极用于给第一谐振梁激振，第一检测电极用于检测第一谐振梁的振幅；第二谐振器，包括第二谐振梁、第二驱动电极和第二检测电极，第二谐振梁的一端与一个锚点连接，第二谐振梁的另一端通过耦合结构与第一谐振梁的另一端连接，第二驱动电极用于给第二谐振梁激振，第二检测电极用于检测第二谐振梁的振幅；第一谐振器的质量小于第二谐振器的质量，第一谐振器与第二谐振器的本征频率相等。
耦合 mems 加速度传感器

[发明专利]结合参数弯曲模态能量收获的压电振动能量收获系统-CN200880009115.X无效
发明人： R·G·安多斯卡;J·吴 -专利权人：佛蒙特大学及州立农业学院
申请日： 2008-03-21 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： H01L41/00 文献下载
摘要：振动能量收获(VEH)的结构包括谐振梁，每个谐振梁具有基本谐振频率和参数模态频率；并且包括用于响应该梁的基本谐振激励和参数模态激励中的每一个而生成电荷的至少一个压电层。提供电路以用于从谐振梁收获电荷。在某些实施例中，该梁的参数模态频率被调谐成接近该梁的基本谐振频率以便增加VEH结构的有效带宽。可以通过将多个参数模态使能的谐振梁中的谐振梁调谐成稍微不同的基本谐振频率和参数模态频率来进一步增加VEH结构的有效带宽。
结合参数弯曲能量收获压电振动系统

[发明专利]利用拉伸应变调节微机电谐振器谐振频率的方法和设备及其应用-CN02811246.6有效
发明人：庆·马;安德鲁·伯林 -专利权人：英特尔公司
申请日： 2002-05-24 - 公布日： 2004-07-14 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于改变谐振器梁的谐振频率的方法。该方法包括首先制造具有第一端和第二端的谐振器梁。该谐振器梁通过第一端和第二端被悬置在衬底的上方。谐振器梁的至少一端连接到致动器，该致动器向谐振器梁施加致动力以向所述谐振器梁上施加拉伸应变或者压缩应变。通过改变致动力的量，可以调整谐振器梁的谐振频率。另外，通过改变致动力的大小和方向，谐振器梁可以用作温度传感器或者温度补偿谐振器。
利用拉伸应变调节微机谐振器谐振频率方法设备及其应用

[发明专利]一种静电驱动频率可变微机械谐振器-CN201310374612.2有效
发明人：田文超;扈江磊;杨丽琴 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2013-08-23 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：一种静电驱动频率可变微机械谐振器，其包括，一谐振梁，所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件，且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极；两外部构件，所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧，所述外部构件两端设有挤压部件，所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸，且所述外部构件上还设有定齿电极，且所述定齿电极与所述动齿电极相交错；同时，所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动，当所述两外部构件靠近所述谐振梁时，所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度
一种静电驱动频率可变微机谐振器

[发明专利]一种双谐振梁式微机械压力传感器-CN200810113421.X无效
发明人：樊尚春;汤章阳;刘广玉 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2008-05-29 - 公布日： 2008-10-08 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种双谐振梁式微机械压力传感器，主要包括：感压膜片、非感压区、谐振工作梁和谐振补偿梁四部分，结构中央为矩形感压膜片，敏感被测压力产生相应变形；感压膜片周边部分为非感压区，不敏感被测压力；感压膜片周边固支在非感压区的内壁上；谐振工作梁双端固支于感压膜片上表面中央处，感受被测压力，从而改变自身谐振频率，通过闭环系统检测该谐振频率，获得对应的被测压力值；谐振补偿梁双端固支于非感压区上表面，和谐振工作梁平行且几何尺寸一致，对被测压力不敏感，只感受与谐振工作梁相同的温度等环境因素；用谐振工作梁的谐振频率和谐振补偿梁的谐振频率进行差分，即可消除由于温度等环境因素引起的工作梁谐振频率的变化，从而提高了传感器的测量精度和稳定性。
一种谐振式微机械压力传感器

[发明专利]一种差分谐振器及MEMS传感器-CN201910606444.2在审
发明人：占瞻;李杨;刘雨薇;陈秋玉;张睿 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种差分谐振器及MEMS传感器，其中，差分谐振器包括基底、第一谐振器、第二谐振器以及耦合机构，第一谐振器通过耦合机构与第二谐振器连接，且第一谐振器和第二谐振器与基底连接并且在外力作用下可相对基底位移，耦合机构包括第一导向梁、第二导向梁、第一耦合梁、第二耦合梁、第一连接件以及第二连接件；其中，第一导向梁和第二导向梁设置于与第一谐振器或第二谐振器的振动方向相垂直的方向的相对两侧；第一耦合梁的一端与第一导向梁连接，另一端与第二导向梁连接，并且第一耦合梁通过第一连接件与第一谐振器连接；第二耦合梁的一端与第一导向梁连接，另一端与第二导向梁连接，并且第二耦合梁通过第二连接件与第二谐振器连接。
谐振器导向梁耦合梁耦合机构第二连接件第一连接件基底连接基底位移外力作用相对两侧振动方向垂直的基底

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