专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果4930414个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]位置调整量监测装置-CN202111675399.X在审
  • 刘振;吴凤丽;尹艳超;邱大益 - 拓荆科技股份有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-03-25 - G01B5/00
  • 本发明提供了一种位置调整量监测装置,用于检测半导体设备内加热盘的水平位置,包括:检测器板,所述检测器板上设置有孔洞,所述孔洞用于容纳加热盘与加热盘安装座之间的连接杆;位移检测器,所述位移检测器以所述孔洞的中心为中心沿圆周方向间隔排列其检测头抵接于所述加热盘安装座的表面;与所述检测器板固定连接的连接件,用于所述检测器板安装于所述半导体设备,使用连接件使设置有位移检测器的检测器板安装于半导体设备的工艺腔体外部,有利于在工艺进行的同时监测加热盘的位置,简化将工艺效果与位置调整量关联起来的步骤,减小调整设备的时间成本,以提高整体的工艺效率。
  • 位置调整监测装置
  • [发明专利]吸附位置调整装置-CN202080090738.5在审
  • 原贤志 - 株式会社富士
  • 2020-02-07 - 2022-08-12 - H05K13/04
  • 吸附位置调整装置使用于元件安装机,该元件安装机具备具有多个吸附部件的头,能够执行通过使头向目标位置移动而使多个元件由多个吸附部件大致同时吸附的同时吸附控制,上述目标位置以使多个吸附部件位于从多个供料器向供给位置供给的多个元件的上方的方式确定该吸附位置调整装置具备对供料器的供给位置从上方进行拍摄的拍摄装置、显示由拍摄装置拍摄到的拍摄图像的显示装置及控制装置。控制装置在进行目标位置调整的情况下,以拍摄作为调整对象的多个供料器中的供给位置的上表面的方式控制拍摄装置,在显示装置显示拍摄到的多个上表面图像和与多个上表面图像重叠的多个指针。
  • 吸附位置调整装置
  • [发明专利]调整聚焦位置的方法-CN02127492.4有效
  • 吴元薰 - 南亚科技股份有限公司
  • 2002-08-02 - 2004-02-04 - G03F7/20
  • 一种用于半导体元件的微影制造方法中曝光步骤的聚焦方法,包括:提供一测试光罩,具有一透明基板,所述透明基板表面具有一遮光层,用以露出一相角0度透光区与一相角90度透光区,其中上述相角0度透光区与上述相角90度透光区的尺寸相同;提供一光源,保持与上述测试光罩一距离,透过上述测试光罩在一基底表面曝光出对应上述相角0度透光区的第一影像与对应上述相角90度透光区的第二影像;量测上述第一影像与上述第二影像的尺寸;若上述第一影像与上述第二影像的尺寸不相等,则改变上述光源与上述测试光罩的间距,重复上述步骤,直到上述第一影像尺寸与上述第二影像尺寸相等为止。
  • 调整聚焦位置方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top