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- [发明专利]晶片检测机及其方法-CN200710306088.X无效
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吴世烈;高赫振
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斯尔瑞恩公司
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2007-12-28
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2008-07-02
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G01N21/95
- 本发明涉及一种晶片检测机及其方法。晶片检测机包括:检测台,具有用于卸载已检测晶片和加载待检测的新晶片的第一区域以及用于检测晶片的第二区域;多个晶片装配单元,彼此面对安装于所述检测台上;旋转盘,其上安装有多个晶片装配单元,旋转盘旋转以使每个晶片装配单元依次位于第一和第二区域;机器人,用于从位于第一区域的晶片装配单元中卸载已检测晶片并将待检测的新晶片加载至位于第一区域的晶片装配单元;以及晶片翻转装置,用于翻转加载至位于第二区域的晶片装配单元中的晶片。
- 晶片检测及其方法
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