专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]缺陷扫描方法及晶缺陷扫描机台-CN201210342178.5有效
  • 郭贤权;许向辉;顾珍 - 上海华力微电子有限公司
  • 2012-09-17 - 2013-01-23 - G01N21/88
  • 本发明提供了一种晶缺陷扫描方法,包括:统计得出流水线上某一站点的各个晶上的各个位置出现频率最高的单元像素以后赋予虚拟上的对应位置得到虚拟完美晶并保存所述虚拟完美晶;将保存的虚拟完美晶与所述的流水线上某一站点的晶做对比,检测晶层面的缺陷。本发明还提供一种晶缺陷扫描机台,包括上述的晶缺陷扫描方法。本发明增加虚拟完美晶与晶比较的缺陷扫描方式,加强了扫描机台捕捉缺陷能力。
  • 缺陷扫描方法机台
  • [发明专利]虚拟打墨方法-CN202210167632.1在审
  • 罗莹莹;陈燕华;骆向荣;徐亚楠;王淋雨;李文博;张亮 - 厦门士兰集科微电子有限公司
  • 2022-02-23 - 2022-07-29 - G01R31/28
  • 本发明提供了一种晶虚拟打墨方法,首先基于晶的不良晶粒的数量和分布方式判断晶是否需要进行针对晶测试的虚拟打墨,若是,则分析晶的失效来源,当无法分析出晶的失效来源时,对每个不良晶粒周围的至少部分晶粒均进行虚拟打墨,当分析出晶的失效来源时,基于晶的失效来源对晶划分子区域,并基于不良晶粒的分布方式对至少部分子区域中的所有晶粒整体进行虚拟打墨。本发明不需要人工参与,虚拟打墨的规则统一,避免人工操作的差异和误操作,提高了虚拟打墨的效率。
  • 虚拟方法
  • [发明专利]检测方法-CN202010147998.3在审
  • 熊俊剑 - 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
  • 2020-03-05 - 2020-06-05 - G01N23/2251
  • 本发明提供了一种晶检测方法,包括:扫描机台以虚拟单元为单位扫描晶,生成粗晶图;一个曝光单元由大于1的整数个虚拟单元构成,一个虚拟单元包括多个芯片;在粗晶图中剔除含测试芯片的虚拟单元,生成标准晶图;扫描机台根据标准晶图对主芯片单元缺陷扫描,SEM机台根据缺陷扫描生成文件在晶上寻找有缺陷的主芯片单元并检测。相比以单个芯片为单位逐个芯片扫描降低了扫描的虚拟芯片个数使SEM机台有能力计算出相对应的晶图进行点对点自动检测。相比以曝光单元为单位扫描晶,以虚拟单元为单位扫描减小了扫描单位的轮廓大小,晶边缘能够被更多的虚拟单元覆盖到,以使扫描机台能扫描到;因缩小了扫描单位范围使扫描精度提高。
  • 检测方法
  • [发明专利]一种晶粒缺陷监控方法-CN201811369312.4有效
  • 韩超;倪棋梁 - 上海华力微电子有限公司
  • 2018-11-16 - 2021-03-12 - H01L21/66
  • 本发明公开了一种晶粒缺陷监控方法,适用于集成电路生产过程中,提供一虚拟标准晶,及虚拟标准晶上的虚拟坐标,以及虚拟坐标与虚拟标准晶上晶粒的对应关系;包含以下步骤:步骤S1,提供一晶,对晶执行一缺陷检测操作获得晶中缺陷位置;步骤S2,晶上缺陷位置的实际坐标转换至虚拟坐标;步骤S3,根据虚拟坐标获得并记录缺陷位置对应的晶粒的位置;步骤S4,重复步骤S1至S3;步骤S5,根据记录的缺陷位置对应的晶粒的位置,得到每个晶粒的缺陷变化趋势本发明的技术方案有益效果在于:能够在晶粒级别上发现晶表面上特定区域的缺陷异常情况和监控缺陷的变化趋势,并进行有效报警。
  • 一种晶粒缺陷监控方法
  • [发明专利]一种无丝网过滤器-CN201310559779.6有效
  • 缪建祥;龚建洪 - 张家港市振昌机械科技有限公司
  • 2013-11-12 - 2014-04-02 - B29C47/68
  • 本发明公开了一种无丝网过滤器,包括过滤部分和排杂部分,过滤部分包括电机和箱体,电机的输出轴伸入到箱体中,且其上部依次组装有刮刀、滤网板和底网,其中,滤网板上均布有多个虚拟虚拟内均布有多个过滤孔,而底网上设置有与滤网板上的虚拟等量多个网眼,且网眼与虚拟对应设置,网眼的截面直径与虚拟的直径相同。本发明由于将滤网板上的过滤孔均布在多个虚拟中,而虚拟与滤网板下部的底网的网眼截面直径相同,使得过滤孔中过滤出的细料能够完全通过网眼而进入第一腔体,进而流出,过滤效率非常高,不会产生当过滤孔与底网的无孔空间接触时过滤效果不良的现象
  • 一种丝网过滤器
  • [实用新型]一种无丝网过滤器-CN201320710790.3有效
  • 缪建祥;龚建洪 - 张家港市振昌机械科技有限公司
  • 2013-11-12 - 2014-04-16 - B29C47/68
  • 本实用新型公开了一种无丝网过滤器,包括过滤部分和排杂部分,过滤部分包括电机和箱体,电机的输出轴伸入到箱体中,且其上部依次组装有刮刀、滤网板和底网,其中,滤网板上均布有多个虚拟虚拟内均布有多个过滤孔,而底网上设置有与滤网板上的虚拟等量多个网眼,且网眼与虚拟对应设置,网眼的截面直径与虚拟的直径相同。本实用新型由于将滤网板上的过滤孔均布在多个虚拟中,而虚拟与滤网板下部的底网的网眼截面直径相同,使得过滤孔中过滤出的细料能够完全通过网眼而进入第一腔体,进而流出,过滤效率非常高,不会产生当过滤孔与底网的无孔空间接触时过滤效果不良的现象
  • 一种丝网过滤器
  • [发明专利]保持器-CN202280011134.6在审
  • 小野泽高庸 - 日本精工株式会社
  • 2022-12-06 - 2023-10-20 - F16C33/41
  • 第1保持面沿着使第1虚拟以通过轴心和滚珠的中心的虚拟线为中心旋转而成的第1球面延伸。第2保持面沿着使第2虚拟虚拟线为中心旋转而成的第2球面延伸。第1虚拟和第2虚拟是正圆,且半径比滚珠的半径大。第1虚拟的中心和第2虚拟的中心配置于比以虚拟线为垂线且包含滚珠的中心的虚拟平面靠径向内侧的位置。
  • 保持
  • [发明专利]保持器-CN202280010335.4在审
  • 小野泽高庸 - 日本精工株式会社
  • 2022-12-06 - 2023-10-20 - F16C33/41
  • 第1保持面沿着使第1虚拟以通过轴心和滚珠的中心的虚拟线为中心旋转而成的第1球面延伸。第2保持面沿着使第2虚拟虚拟线为中心旋转而成的第2球面延伸。第1虚拟和第2虚拟是正圆,且半径比滚珠的半径大。第1虚拟的中心和第2虚拟的中心配置于比以虚拟线为垂线且包含滚珠的中心的虚拟平面靠径向外侧的位置。
  • 保持
  • [发明专利]一种AR眼镜中虚拟目标物的叠加方法-CN202110791505.4在审
  • 吕洋;余金涛;高志远 - 深圳市恒达移动互联科技有限公司
  • 2021-07-13 - 2021-11-16 - G06T19/00
  • 本发明公开了一种AR眼镜中虚拟目标物的叠加方法,涉及AR眼镜技术领域,包括以下步骤:建立虚拟坐标场景,在AR眼镜录制视角的正前方放置一块绿布板,作为虚拟目标承接板,将三维激光扫描设备扫描得到虚拟场景信息以及AR眼镜录制的视频场景信息进行叠加,确定绿布板三维坐标信息,并记录其跟随AR眼镜的运动轨迹,在绿布板上通过特效处理,叠加出虚拟目标物。本发明通过在AR眼镜录制视角的正前方放置一块绿布板,将虚拟场景信息以及视频场景信息共进行叠加,并在绿布板上通过特效处理,叠加出虚拟目标物,确立虚拟目标物与AR眼镜实际使用时视角变化时的关系,后期使用时使虚拟目标物自动选择与准确显示
  • 一种ar眼镜虚拟目标叠加方法
  • [发明专利]测试方法-CN200910055366.8有效
  • 郭强;龚斌;刘云海 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2009-07-24 - 2011-02-02 - H01L21/66
  • 本发明提供一种晶测试方法,包括:提供含有一个以上Shot的晶,每个Shot中含有一个以上的真实Die;将每个Shot分成一个以上虚拟Die,各个虚拟Die周期性重复,并且各个虚拟Die大小相同,真实Die与Die间对应点之间在长度和宽度方向的间距分别是虚拟Die长或者宽的整数倍;在所述一个以上真实Die中分别选取一代表点代表真实Die在Shot中的位置,所述各代表点在真实Die上的位置对应,根据各代表点的位置将真实die投射至虚拟Die,并将所述虚拟Die标记为1,其余虚拟Die标记为0,标记为1和0的所有虚拟Die组成虚拟图;根据所述的虚拟图测试所述晶
  • 测试方法

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