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[发明专利]蒸镀膜-CN200980122753.7有效
发明人：山村刚平;角沙织;木村将弘;阿部俊辅;佐藤卓;佐藤浩幸;增田顺一;新沼馆浩 -专利权人：东丽株式会社;株式会社吴羽
申请日： 2009-06-12 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀膜，是在由树脂组合物(1)形成的树脂层(A)的至少一面上设置有由金属或无机氧化物形成的蒸镀层的蒸镀膜，其中，树脂组合物(1)含有具有70摩尔％以上的特定结构(式(1)所示结构)作为重复单元的聚乙醇酸，被蒸镀面的中心线平均粗糙度为5nm～50nm。本发明提供具有优异的气体阻挡性、加工适应性以及能够禁受实用的耐分解性的蒸镀膜。
镀膜

[发明专利]蒸镀膜-CN02814902.5有效
发明人：铃木浩;金高武志;大桥美季;佐佐木升;中岛隆幸;石井良治 -专利权人：凸版印刷株式会社
申请日： 2002-07-23 - 公布日： 2004-10-06 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀膜，包括实质上由高分子材料制成的基材以及实质上由陶瓷制成的蒸镀层，其中基材在蒸镀上蒸镀层之前，被施以通过使用空心阳极等离子处理器进行的等离子预处理。
镀膜

[实用新型]一种具有波浪分切面的金属化膜-CN201921600559.2有效
发明人：黄伟东 -专利权人：广东顺德凯普司特电子材料有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： H01G4/012 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有波浪分切面的金属化膜，包括基膜，所述基膜上下表面分别蒸镀有第一金属蒸镀膜和第二金属蒸镀膜，所述第一金属蒸镀膜包括两条第一侧边蒸镀膜，两条第一侧边蒸镀膜相互间隔设置并形成位于基膜上表面的第一留边，所述第二金属蒸镀膜包括两条第二侧边蒸镀膜，两条第二侧边蒸镀膜相互间隔设置并形成位于基膜上表面的第二留边；其中，所述第一金属蒸镀膜和第二金属蒸镀膜均具有波浪分切，所述波浪分切位于第一金属蒸镀膜和第二金属蒸镀膜的顶面上形成波浪边缘
一种具有波浪切面金属化

[发明专利]真空蒸镀晶板镀膜装置和真空蒸镀晶板镀膜方法-CN201610296002.9在审
发明人：陈磊;陈建民;赵丽萍;钱俊有;张文涛;蔡水占;张会超;王东胜 -专利权人：河南鸿昌电子有限公司
申请日： 2016-05-08 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及致冷件生产技术领域的设备和方法，名称是真空蒸镀晶板镀膜装置和真空蒸镀晶板镀膜方法，真空蒸镀晶板镀膜装置，其特征是:包括柜体，在柜体上具有传送装置,柜体具有密闭结构和抽真空装置，在传送装置上面安装真空蒸镀装置，所述的传送装置上具有晶板的放置盘，柜体内还设置有除尘装置和静电释放装置；真空蒸镀晶板镀膜方法，将晶板放置在真空蒸镀装置里面下面进行镀膜，镀膜的耗材是镍、钯或银，可以形成一层镀膜的半导体晶板。这样的真空蒸镀致晶板镀膜装置可以生产出节省耗材、减少浪费、环保性好、镀膜和晶板结合力量好的致冷件晶板镀膜。
真空蒸镀晶板镀膜装置方法

[发明专利]镀膜装置-CN200910308028.0无效
发明人：裴绍凯 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种镀膜装置，其包括镀膜室、承载装置、溅镀装置及蒸镀装置。承载装置包括固定板及用于承载镀膜工件的第一承载盘。固定板将镀膜室分隔成蒸镀腔和溅镀腔溅镀装置设置于溅镀腔内。蒸镀装置与所述蒸镀腔对应连通。所述固定板开设有连通蒸镀腔和溅镀腔的镀膜通孔。第一承载盘可转动地安装于镀膜室内并位于镀膜通孔附近，以使第一承载盘通过转动可选择性地遮蔽或者暴露所述镀膜通孔。从而当所述第一承载盘暴露所述镀膜通孔时，使得第一承载盘承载的镀膜工件暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的一个，并且当使得第一承载盘遮蔽所述镀膜通孔时，所述第一承载盘承载的镀膜工件通过镀膜通孔暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的另一个
镀膜装置

[实用新型]一种镀膜机及其系统-CN201721698046.0有效
发明人：雷梁;魏琼林;蒙志林;冉从军;何吉刚;李小强 -专利权人：成都中科唯实仪器有限责任公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种镀膜机及其系统，其涉及镀膜设备领域。该镀膜机通过可拆卸集成设置蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件，使得蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件之间能够任意拼装组合，从而在一台镀膜机上即可实现蒸碳、溅射和镀膜三项功能；通过配置膜厚仪，实现了镀膜过程中对于膜厚的实时监控；通过设置溅射试验、溅射定时设定功能，实现在设定时间内自动完成溅射流程；通过采用向下蒸碳模式和与带有拉力弹簧的蒸碳组件进行配合使用，实现了蒸碳过程中碳消耗量的自适应调节。因此，上述的镀膜机及其系统，能够集成蒸碳、溅射和镀膜三项功能于一体，降低了使用者的综合购买成本，提高了蒸碳、溅射和镀膜时的工作效率，具备较高的市场推广应用价值。
溅射镀膜镀膜机碳组件自适应调节定时设定镀膜过程镀膜设备工作效率集成设置拉力弹簧拼装组合实时监控市场推广自动完成可拆卸膜厚仪消耗量膜厚配置试验购买应用

[实用新型]电子束镀膜系统-CN201822030743.X有效
发明人：赖奇;廖先杰;刘翘楚;肖传海;彭富昌;钟璨宇;邹宇;吴恩辉;江思媛;范立男 -专利权人：攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子束镀膜系统，包括相连通的清洗室和蒸镀室，清洗室底部设有气体入口和清洗室抽气口，清洗室内还设有磁控溅射装置；蒸镀室内设有电子束蒸镀装置，蒸镀室底部还设有蒸镀室抽气口。本实用新型通过抽气口排出清洗室和蒸镀室内的空气，再由气体入口向清洗室内通入离化气体产生电子对待镀膜的带材进行清洗、加热和刻蚀，可有效清除带材镀膜面的杂质和氧化层，极大提高镀膜层的结合力，改善镀膜层应力；通过蒸镀室内的电子束蒸镀装置使镀膜材料熔化蒸发、离化后沉积在带材上进行镀膜，能促进镀膜材料离子在带材上的沉积，使沉积形成的镀膜层致密度提高；本实用新型可极大提高带材镀膜后的镀膜层性能。
带材镀膜层清洗室镀膜室内本实用新型抽气口蒸镀室蒸镀沉积电子束蒸镀装置清洗电子束镀膜镀膜材料气体入口离化熔化磁控溅射装置气体产生结合力氧化层刻蚀排出加热离子蒸发

[实用新型]一种溅射与蒸镀混合镀膜设备-CN202221669025.7有效
发明人：邓建东;李庆春;陈明源;薛海星 -专利权人：东莞市光志光电有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种溅射与蒸镀混合镀膜设备，包括：传送机构，用于传送基膜；冷却辊筒，位于基膜传送路径上，基膜传送经过该冷却辊筒，用于冷却镀膜后的基膜；镀膜机构，对应冷却辊筒设置，用于在基膜上镀Ag‑Pd‑Cu膜，基膜在冷却辊筒与镀膜机构之间进行传送；镀膜机构包括第一蒸发镀膜机组、溅射镀膜机和第二蒸发镀膜机组，第一蒸发镀膜机组、溅射镀膜机、第二蒸发镀膜机组沿着基膜传送路径依次分布，第一蒸发镀膜机组、第二发镀膜机组用于蒸镀银，溅射镀膜机用于在第一蒸发镀膜机组和第二发镀膜机组蒸镀的同时将Pd‑Cu合金材料打入蒸镀银上。本实用新型可在蒸镀的同时将Pd‑Cu合金材料打入蒸镀银上，所形成的Ag‑Pd‑Cu膜能支撑长时间不氧化，耐候特性佳。
一种溅射混合镀膜设备

[发明专利]一种蒸镀装置和蒸镀方法-CN201910500772.4有效
发明人：孙晓午 -专利权人：惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀装置和蒸镀方法，所述蒸镀装置包括镀膜室、设置于所述镀膜室底部，盛装且加热镀膜材料的坩埚以及设置于所述镀膜室顶部且与所述坩埚相对，夹持待镀膜产品的夹具。其中，所述镀膜室的底部设置有至少一个第一进气孔，所述镀膜室通过第一进气孔通入惰性气体，所述镀膜室设置有至少一个排气孔。蒸镀材料加热升华气化，从坩埚内扩散出来，然后被惰性气体带动快速的向待镀膜产品方向运动，镀膜的速度更快，生产效率高。在蒸镀材料气化运动过程中，惰性气体还可以将蒸镀材料混匀，使得蒸镀材料在镀在待镀膜产品前各区域的密度更一致，镀膜均一性好，成膜质量更好，精度更高。
一种装置方法

[发明专利]聚乙烯醇系蒸镀膜-CN201380009839.5有效
发明人：野中康弘;河合宏;山越聪 -专利权人：株式会社可乐丽
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： B32B27/30 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种蒸镀膜，所述蒸镀膜可抑制在层压等蒸镀膜加工时因弯曲而导致的针孔、裂缝的产生，可抑制阻气性的降低。本发明是一种蒸镀膜，其具有包含聚乙烯醇系聚合物的基材膜、和被层叠在该基材膜上的金属蒸镀层，所述蒸镀膜的特征在于，上述金属蒸镀层的利用电子显微镜测得的平均粒径为150nm以下。作为上述金属蒸镀层的平均厚度，优选30nm以上100nm以下。
聚乙烯醇镀膜

[发明专利]一种薄膜基材的镀膜方法和薄膜产品-CN202310438968.1在审
发明人：臧世伟;刘文卿 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜基材的镀膜方法和薄膜产品，该镀膜方法包括：取薄膜基材；将所述薄膜基材放卷于第一镀膜设备中采用悬浮式镀膜方式进行第一次蒸镀；将第一次蒸镀后的薄膜基材放卷于第二镀膜设备中采用贴辊式镀膜方式进行第二次蒸镀或者先将薄膜基材放卷于第一镀膜设备中采用贴辊式镀膜方式进行第一次蒸镀，然后将第一次蒸镀后的薄膜基材放卷于第二镀膜设备中采用悬浮式镀膜方式进行第二次蒸镀。本发明实施例中，第一镀膜设备采用的是悬浮式镀膜，第二镀膜设备采用贴辊式镀膜；或者第一镀膜设备为贴辊式，第二镀膜设备为悬浮式，采用这种双重控制模式，不仅可解决翘边鼓边的问题，还可以减少薄膜孔洞，提高薄膜的延伸性
一种薄膜基材镀膜方法产品

[实用新型]一种真空镀膜装置-CN201821376210.0有效
发明人：陈道理 -专利权人：盱眙新远光学科技有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种真空镀膜装置，包括：蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，本实用新型将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质，另外，将大部分蒸镀组件安装在蒸镀釜封头内，可以方便对设备的检修，降低使用成本。
蒸镀喷管装置镀件封头放置板镀膜真空镀膜装置本实用新型抽真空泵抽真空管固定支架喷头产品品质镀膜装置升降气缸组件安装上端镀膜层镀膜源对设备固定座均匀性平整度输送管真空泵蒸镀源下端检修

[发明专利]一种蒸镀源及蒸镀镀膜装置-CN201110190161.8有效
发明人：赵军;梅芳 -专利权人：上方能源技术(杭州)有限公司
申请日： 2011-06-30 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于半导体、LED、太阳能电池领域的镀膜器，尤其涉及一种蒸镀源及其蒸镀镀膜装置。一种蒸镀源，包括温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块、排气模块和绝热模块，而所述温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块和排气模块均设置于蒸镀源本体中，绝热模块包围蒸镀源本体的外表面。蒸镀镀膜装置包括蒸镀源以及包围蒸镀源的真空腔体室。本发明将组成镀膜设备的各功能模块整合在一个单体结构即蒸镀源本体中，可以达到稳定均匀的温度控制，组成结构简洁紧凑、整体热导性好、熔点高、温度稳定、源材料利用率高、镀膜均匀的蒸镀源及蒸镀镀膜装置。
一种蒸镀源镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN200910312962.X无效
发明人：裴绍凯 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-12-31 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种镀膜装置，包括镀膜室、安装在该镀膜室内的镀膜件放置板、蒸镀装置。蒸镀装置与镀膜件放置板相对设置。镀膜件放置板为一平板。镀膜装置还包括设于镀膜室内，且位于蒸镀装置与镀膜件放置板之间的等离子体发射器。等离子体发射器包括相互平行且共面的多个等离子体发射管，多个等离子体发射管所形成的平面与镀膜件放置板平行。该镀膜装置的镀膜效果较好。
镀膜装置

[发明专利]一种扫描镀膜装置及扫描镀膜组件-CN201110190208.0有效
发明人：赵军;梅芳 -专利权人：上方能源技术(杭州)有限公司
申请日： 2011-06-30 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于半导体、LED、太阳能电池领域的镀膜装置及镀膜组件。一种扫描镀膜装置包括镀膜源、真空腔体室和基板传输模块，蒸镀源包括温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块、排气模块和绝热模块，前四个模块均设置于蒸镀源本体中；真空腔体室包围蒸镀源；蒸镀源具有两个相背的蒸镀源工作面，蒸镀源工作面与水平面所成角度为65～115°。本发明的蒸镀源与基板的相互位置关系以及蒸镀源的结构实现了同时对两片基板进行连续的气相传输沉积镀膜，使得生产效率加倍；大幅提高源材料利用率；减少腔体壁上形成镀膜，装置外壁清洁；降低了生产成本；基板边缘镀膜均匀扫描镀膜组件可同时对多基板进行气相传输沉积，使得生产效率提高若干倍。
一种扫描镀膜装置组件

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