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- [发明专利]一种金属掩膜版的加工方法-CN202111037978.1有效
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钱超;杨柯;吴建
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常州高光半导体材料有限公司
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2021-09-06
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2023-10-20
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C23C14/04
- 本发明提出的一种金属掩膜版的加工方法，涉及蒸镀掩膜领域。该加工方法在金属片上分三步依次蚀刻加工出第一凹槽、两个第二凹槽和第三凹槽；控制第一凹槽的宽度为d1、深度为h1；控制第二凹槽的宽度为d2′、深度为h2，两个第二凹槽相远端的距离为d2；第三凹槽蚀刻至与两个第二凹槽上下贯通形成一个呈整体的贯通孔，该贯通孔中，以所述的第三凹槽的侧壁与第二凹槽的侧壁的交界处为分界，形成宽度为d2、深度为h2′的上部孔体和宽度为d3、深度为h3的下部孔体。利用本发明的加工方法，能够有效控制所述的上部孔体和下部孔体的尺寸精度和一致性，大幅度提高了金属掩膜版的产出良率和一致性。
- 一种金属掩膜版加工方法
- [发明专利]金属掩膜版切割防护设备-CN202110255638.X有效
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钱超;杨柯;牛恩众;余强根
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常州高光半导体材料有限公司
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2021-03-09
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2023-03-10
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B23Q11/08
- 本发明公开了金属掩膜版切割防护设备，涉及掩膜版切割防护设备技术领域，具体为金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定套接有驱动盘，所述驱动盘正面的边缘处固定连接有驱动柱，所述驱动柱的外表面活动套接有驱动套杆的一端。该金属掩膜版切割防护设备，通过卡爪的上表面为平整的矩形，所述卡爪上表面向内的一侧开设有固定槽口与第二液压伸缩杆、承载台、升降套管、棘轮之间相互配合能够使得被拨动杆运输过来的掩膜版被承载台运输到卡爪上，能够实现切割掩膜版在防护机箱的内腔中和取拿掩膜版在防护机箱的外侧，可以有效的解决切割掩膜版时会迸溅碎料而存在隐患。
- 金属掩膜版切割防护设备
- [发明专利]一种掩膜版及掩膜版组件-CN202210933756.6在审
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吴建;杨柯;钱超
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常州高光半导体材料有限公司
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2022-08-04
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2022-11-01
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C23C14/04
- 本发明提出的一种掩膜版及掩膜版组件，涉及蒸镀掩膜技术领域。该掩膜版包括：掩膜图案区，设置在所述掩膜版的中部，包括若干规则排布的掩膜图案通孔；以及牵引部，设置在所述掩膜版的两端，掩膜版的每一端至少设置两个牵引部，相邻的牵引部之间具有开口；以及应力缓释区，对称设置在所述掩膜版的两端至所述的掩膜图案区之间，且与所述掩膜图案区之间具有间隔区域；应力缓释区包括若干腰型通孔，腰型通孔均沿第一方向延伸；沿第一方向上，应力缓释区从其中部至其两端宽度逐渐缩小。所述掩膜版组件包括上述的掩膜版。本发明的掩膜版张网焊接后的表面、尤其是掩膜图案区更加趋于平整，大幅度提升了掩膜版组件的产品质量。
- 一种掩膜版组件
- [发明专利]一种蚀刻线滚轮、蚀刻传送线及蚀刻装置-CN202210077933.5在审
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吴建;钱超;杨柯
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常州高光半导体材料有限公司
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2022-01-24
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2022-04-29
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C23F1/08
- 本发明提出的一种蚀刻线滚轮、蚀刻传送线及蚀刻装置，涉及蚀刻设备技术领域。蚀刻线滚轮包括轮轴和若干轮片，若干轮片间隔设置在轮轴上，且相对于轮轴的中线对称分布；并且，从轮轴的中线至其两端方向上的各轮片的直径依次递减。蚀刻传送线包括所述的蚀刻线滚轮；沿输送方向上，若干蚀刻线滚轮水平平行间隔排布。蚀刻装置包括所述的蚀刻传送线，以及设置在所述的蚀刻传送线上侧的上侧喷淋装置，和/或设置在所述的蚀刻传送线下侧的下侧喷淋装置。本发明通过改进蚀刻线滚轮的结构，使得蚀刻传送线的输送面呈凸面，进而使得在线传输时金属掩膜版中间高于其两侧，药液直接向低两侧处流走，不会聚集，彻底避免了“水池效应”的产生。
- 一种蚀刻滚轮传送装置
- [实用新型]一种提高掩膜版张网精度的夹具-CN202023346108.6有效
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钱超;杨柯;余强根;牛恩众
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常州高光半导体材料有限公司
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2020-12-31
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2021-11-12
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G03F1/84
- 本实用新型公开了一种提高掩膜版张网精度的夹具，包括底座，所述底座的内壁开设有安装槽，所述安装槽的内壁滑动连接有聚光板，所述底座的顶部外壁开设有透光槽，所述底座的内壁开设有矩形槽，所述矩形槽设置于安装槽的下方，所述矩形槽的内壁固定连接有照明灯，所述底座的顶部外壁固定连接有挡板，所述挡板的外壁固定连接有安装块，所述安装块的底部外壁固定连接有弹簧。通过新型的夹具设备，底座的顶部外壁开设有透光槽，通过透光槽使掩膜版的安装不会与聚光板接触，不会给掩膜版的表面带来摩擦从而避免掩膜版产生磨损，通过设置的聚光板将照明灯的灯线汇聚，通过透光槽将掩膜版照亮，使掩膜版在制作的时候可以更加清晰，提高制作的精准度。
- 一种提高掩膜版张网精度夹具
- [发明专利]掩膜版除尘除油设备-CN202011641183.7在审
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钱超;杨柯;余强根;牛恩众
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常州高光半导体材料有限公司
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2020-12-31
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2021-06-01
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B08B3/02
- 本发明公开了掩膜版除尘除油设备，包括清洗箱，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注水管，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注液管，所述注水管的顶部外壁开设有注水孔，所述注液管的顶部外壁开设有注液孔，所述注水管、注液管的外壁之间固定连接有导管，所述导管的数量为三个，所述注水管、注液管的底部外壁均固定连接有清洗装置。通过设置的注水管与注液管，让掩膜板在进行清洗时，能够持续不断的对掩膜板进行清洗，同时设置的导管连通注水管与注液管，让注入的水流与清洗液进行混合，再经由清洗装置处设置的喷头喷射出去，同时喷孔设置为三孔，让喷射出去的水流能够形成散射，使得清洗范围变广，清洗的效果更好、效率更高。
- 掩膜版除尘设备
- [发明专利]一种金属掩膜版用高精度蚀刻机-CN202011637974.2在审
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钱超;杨柯;牛恩众;余强根
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常州高光半导体材料有限公司
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2020-12-31
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2021-05-28
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C23F1/08
- 本发明公开了一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，包括箱体，所述箱体的内部活动安装有托板，箱体的背面固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的正面固定安装有第一连接筒，第一连接筒的底部固定安装有喷嘴，第一连接筒的顶部连通有第一伸缩软管，第一伸缩软管的顶部连通有喷淋泵，箱体的背面固定安装有气缸，气缸的正面固定安装有第二连接筒，第二连接筒的底部固定安装有喷头，第二连接筒的顶部连通有第二伸缩软管。通过设置的电动伸缩杆和气缸，可以让喷嘴和喷头进行移动，不必再设置大量的喷嘴来对金属掩膜版进行喷射化学药液蚀刻，不仅节省了大量的化学药液，还可以及时的对金属掩膜版进行喷水清理，提高了蚀刻机的工作效率，还降低了生产成本。
- 一种金属掩膜版用高精度蚀刻
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