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[发明专利]自组装单层原位气相沉积作为铜助粘剂及扩散阻障件的方法-CN201310455370.X在审
发明人：童津泓 -专利权人：格罗方德半导体公司
申请日： 2013-09-29 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明涉及自组装单层原位气相沉积作为铜助粘剂及扩散阻障件的方法。铜区域在介电层中形成。包含有自组装单层的扩散阻障件沉积在铜区域上方。覆盖层沉积在自组装单层上方。在某些具体实施例中，覆盖层及自组装单层沉积在相同的处理室中。
组装单层原位沉积作为铜助粘剂扩散阻障方法

[发明专利]自组装单层原位气相沉积作为铜助粘剂及扩散阻障件的方法-CN201910627579.7在审
发明人：童津泓 -专利权人：格罗方德半导体公司
申请日： 2013-09-29 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明涉及自组装单层原位气相沉积作为铜助粘剂及扩散阻障件的方法。铜区域在介电层中形成。包含有自组装单层的扩散阻障件沉积在铜区域上方。覆盖层沉积在自组装单层上方。在某些具体实施例中，覆盖层及自组装单层沉积在相同的处理室中。
自组装单层阻障件沉积气相沉积覆盖层铜区域助粘剂扩散介电层

[发明专利]一种单层自组装金纳米颗粒/二硫化钼复合膜及其制备方法-CN201710403077.7有效
发明人：万艳芬;杨鹏;尹航;马谡;吴治涌;王润卉 -专利权人：云南大学
申请日： 2017-06-01 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： B22F9/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种单层自组装金纳米颗粒/二硫化钼复合膜及其制备方法，该单层自组装金纳米颗粒/二硫化钼复合膜的制备方法主要包括：厚度为6nm的金纳米颗粒自组装单层薄膜、二硫化钼单层薄膜；这两种薄膜材料依靠范德华力形成单层自组装金纳米颗粒本发明充分利用单层自组装金纳米颗粒/二硫化钼复合膜中金纳米颗粒自组装单层薄膜和二硫化钼单层薄膜的协同激发作用能够产生光电性能高增益，制备的单层自组装金纳米颗粒/二硫化钼复合膜厚度均一可控，金纳米颗粒自组装单层薄膜的集体表面等离子激元共振效应作为激发泵浦，能够极大增强二硫化钼单层薄膜的光致发光和光电转换效率，在未来光电器件、生物光子学、场效应晶体管、光探测器等光电领域具有极大优势。
一种单层组装纳米颗粒二硫化钼复合制备方法

[发明专利]半导体装置的形成方法-CN202010699211.4在审
发明人：林政明;杨世海;徐志安;方子韦;赵皇麟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：方法包括分别沉积第一自组装单层与第二自组装单层于第一间隔物与第二间隔物的侧壁上，并沉积层状物堆叠于基板之上以及第一自组装单层与第二自组装单层之间，且层状物堆叠接触第一自组装单层与第二自组装单层。沉积层状物堆叠的步骤包括沉积铁电层与移除第一自组装单层与第二自组装单层。方法亦包括沉积金属化合物层于铁电层上。金属化合物层的部分沉积于铁电层与第一间隔物或第二间隔物之间。
半导体装置形成方法

[发明专利]一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法-CN201410250429.6有效
发明人：李昕欣;陈传钊;许鹏程 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法，包括步骤：1)提供一表面具有微通道和储液池的基底，生长第一自组装单层膜；2)提供一具有镂空结构的硬掩膜，对准后，利用紫外光穿过镂空结构辐照至第一自组装单层膜的局部区域，使所述第一自组装单层膜的局部区域被氧化去除；3)在去除第一自组装单层膜的区域生长第二自组装单层膜。4)重复步骤2)，局部去除所述第一自组装单层膜的另一局部区域，并在这一区域生长第三自组装单层膜；5)继续重复上述去除和生长步骤，实现多重自组装单层膜在圆片级基底表面的集成生长。
一种表面多功能化微流控芯片圆片级制造方法

[发明专利]包括自组装单层的电子器件及其制造方法-CN200480010412.8有效
发明人： C·R·卡根;R·马特尔 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2004-03-19 - 公布日： 2007-10-10 - 主分类号： H01L29/08 文献下载
摘要：一种电子器件，包括源区和漏区，邻近于源区和漏区布置的自组装单层，自组装单层包括至少一个共轭分子，以及邻近于自组装单层布置的导电衬底。
包括组装单层电子器件及其制造方法

[发明专利]一种金纳米颗粒自组装可移植单层薄膜的制备方法-CN201510765301.8有效
发明人：万艳芬;杨鹏;水世显;张显;吴治涌 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2015-11-11 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： B22F9/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种金纳米颗粒自组装可移植单层薄膜的制备方法，包括制备金纳米颗粒原液，制备金纳米颗粒纯溶液，以及在不相混的液体表面上金纳米颗粒自组装为可移植的单层薄膜。本发明通过一步一相法制备出金纳米颗粒，采用乙二醇作为面下相，在不相混的液体表面上对金纳米颗粒的自组装进行调节，实现金纳米颗粒自组装为可移植的单层薄膜。本发明可用于金纳米颗粒自组装可移植单层薄膜的制备。本发明制备的金纳米颗粒自组装可移植单层薄膜大面积连续，厚度均一可控，稳定性好，可长时间保存，以及能在任意基片上进行移植，且实现自组装的金纳米颗粒的平均粒径为6nm，尺寸偏差约为6％。
一种纳米颗粒组装移植单层薄膜制备方法

[发明专利]新型亚胺杯芳烃衍生物和氨基杯芳烃衍生物，其制备方法，由该方法制备的自组装单层，使用该自组装单层固定低聚 D N A的方法，以及由该方法制备的低聚 D N A芯片-CN200680038071.4有效
发明人：金泰善;宋锦秀;金正勋;金亨燮 -专利权人：博美利克斯技术公司
申请日： 2006-05-11 - 公布日： 2008-11-19 - 主分类号： C07C251/24 文献下载
摘要：本发明涉及新型亚胺杯芳烃衍生物，其制备方法，以及由该方法制备的自组装单层，使用该自组装单层固定低聚DNA的方法，以及由该方法制备的低聚DNA芯片。此外，本发明涉及新型氨基杯芳烃衍生物，其制备方法，以及由该方法制备的自组装单层，通过液相中所述自组装单层上的分子识别自动固定低聚DNA的低聚DNA固定方法，以及由该方法制备的低聚DNA芯片。
新型亚胺芳烃衍生物氨基制备方法组装单层使用固定以及芯片

[发明专利]具有自组装单层图案的滑动件-CN201410534292.7在审
发明人： A·拉贾赛克哈兰;D·J·埃利森;Q·郭 -专利权人：希捷科技有限公司
申请日： 2014-07-10 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本申请公开具有自组装单层图案的滑动件。滑动件，具有前缘、后缘、工作表面、以及靠近所述后缘的读/写头。滑动件包括滑动件的工作表面上的保护涂层，以及滑动件的工作表面和保护涂层上的自组装单层涂层，所述涂层包括至少一种自组装单层材料。
具有组装单层图案滑动

[发明专利]可逆地控制细胞在金层表面的自组装单层膜上黏附的方法-CN200910082633.0有效
发明人：蒋兴宇;刘定斌;谢赟燕 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2009-04-23 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： C12N11/14 文献下载
摘要：一种可逆地控制细胞在金层表面的自组装单层膜上的黏附的方法，其步骤为：先制备可共价连接于金层表面的由化合物1与化合物2均匀混合形成的自组装单层膜，再将经培养的细胞黏附于所述金层表面的自组装单层膜上。" wi="318" he="65" />化合物2分子式为：通过紫外光和可见光对金层表面的自组装单层膜照射的切换，实现细胞在所述金层表面的自组装单层膜上的可逆控制；而且该方法简单快速，易于操作。
可逆控制细胞表面组装单层黏附方法

[发明专利]在基材上形成图案化的层的方法-CN200480032181.0无效
发明人： D·博丁斯基 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2004-11-01 - 公布日： 2006-12-06 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种通过软性平版印刷图案化工艺在基材(24)上形成图案化的自组装单层(20)的方法，该方法包括：a)提供限定所述图案化的自组装单层(20)的所需图案的图案化器件(10)；b)在所述基材(24)的表面(22)上形成自组装单层(20)；c)将所述图案化器件(10)施加到所述基材(24)的所述表面上，对所述图案化器件(10)进行配置以将改性剂输送到所述基材表面的选定区域中，所述选定区域相应于所述所需图案或其负性图案，所述改性剂包含化学品并且对其进行配置以在所述选定区域改变所述自组装单层(10)的分子与所述基材(24)的所述表面之间的相互作用强度；和d)选择性除去或替换所述自组装单层(20)的区域，所述区域在步骤(c)之后在其分子与所述基材的所述表面之间显示出较低的相互作用强度，从而形成具有所需图案的自组装单层(20)。可对改性剂进行选择以降低或提高自组装单层的分子与基材的最上层表面之间的相互作用强度，如工艺所要求的那样。
基材形成图案方法

[发明专利]用于图案化形成的自组装单层-CN201210436875.7有效
发明人：黄琮闵;李忠儒;黄建桦 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-11-05 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开涉及用于图案化形成的自组装单层，具体涉及一种用于制造半导体器件的工艺。在一些实施例中，半导体器件包括图案化表面。图案可以由自组装单层形成。公开的工艺提供可以快速沉积的自组装单层，因此，增加生产吞吐量并且减少成本，以及提供形状大致均匀的图案。
自组装单层半导体器件图案化图案图案化表面快速沉积增加生产吞吐量制造

[发明专利]一种胶原蛋白自组装单层膜及其制备方法和应用-CN202310851864.3在审
发明人：李建全;彭令;王欢;陶荣 -专利权人：稳健医疗用品股份有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本申请提供一种胶原蛋白自组装单层膜及其制备方法和应用，涉及生物材料技术领域。该胶原蛋白自组装单层膜的制备方法，利用胶原蛋白会在高浓度盐溶液中析出这一特性，将胶原蛋白溶液均匀的注入高浓度盐溶液表面，利用两种溶液密度的不同，形成独特的双液界面体系，胶原蛋白在双液界面接触高浓度盐溶液后，均匀析出自组装为单层膜。该胶原蛋白自组装单层膜可以应用在食品包装膜、载药、组织修复、化妆品、植入类医疗器械表面改性中。
一种胶原蛋白组装单层及其制备方法应用

[发明专利]在氧化物表面上碳纳米管的选择性设置-CN200680003296.6有效
发明人： A·阿夫扎利－阿尔达卡尼;J·B·汉农 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2006-01-05 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： B05D5/00 文献下载
摘要：更具体地说，本发明提供了一种方法，其中使用在未构图或构图金属氧化物表面上形成的自组装单层从包括碳纳米管的分散体吸引或排斥碳纳米管。根据本发明，碳纳米管可以被吸引到自组装单层以附着到金属氧化物表面上，或它们可以被自组装单层排斥而接合到与包括自组装单层的金属氧化物表面不同的预定表面。
氧化物表面上纳米选择性设置

[发明专利]一种调控氧化铟锡表面能与功函数的含氟自组装单层膜及制备方法-CN201711432102.0有效
发明人：王世荣;郑浩;李祥高;肖殷 -专利权人：天津大学
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H01L51/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种调控氧化铟锡表面能与功函数的含氟自组装单层膜及制备方法。通过化学清洗和等离子处理，在平整的ITO基板上衍生出羟基；将处理后的基底浸入含氟自组装分子溶液中，室温下浸泡24小时，形成表面带有有机分子自组装单层膜的基底，将处理后的基底用甲苯或无水乙醇进行超声处理，去除物理吸附的自组装分子，用氮气吹干后在真空干燥条件下保存，得到调控氧化铟锡表面能与功函数的含氟自组装单层膜。本发明制备的自组装单层膜可以使ITO保持相对较低且恒定的表面能，同时改变表面功函数。
一种调控氧化表面函数组装单层制备方法

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