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- [发明专利]向光刻设备派送光罩的方法-CN202310342632.5在审
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李嘉成;严甲武;程杰;朱兆亮;张晖
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上海华力微电子有限公司
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2023-03-31
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2023-06-09
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G03F7/20
- 本发明提供了一种向光刻设备派送光罩的方法,包括:步骤S1:筛选出负载小于第一设定值的光刻设备或者筛选出光刻设备对应的高能量光罩和低能量光罩的比例达到第二设定值且负载小于第三设定值的光刻设备;步骤S2:从筛选出的光刻设备中选出负载最低的光刻设备;步骤S3:根据生产计划要求和光罩的高低温要求评估光罩的生产要求紧急度;步骤S4:将紧急生产要求最高的光罩派送到负载最低的光刻设备。本发明将在向光刻设备派送光罩时将光罩的高低温要求考虑进去,从而将低能量光罩考虑到高温光刻设备的生产中,实现高能量光罩和低能量产品的交叉作业。从而提高了光刻设备的利用率,减少了机台的浪费和生产时间。
- 光刻设备派送方法
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