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- [发明专利]制造半导体器件的方法-CN202310031450.6在审
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川嶋祥之
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瑞萨电子株式会社
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2023-01-10
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2023-08-25
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H10B43/35
- 第一栅极电极经由包含金属元素的第一绝缘膜形成于半导体衬底上。侧壁绝缘膜形成于第一栅极电极的侧表面上。第二栅极电极经由第二绝缘膜形成于半导体衬底上。第二栅极电极被形成为经由第二绝缘膜与第一栅极电极邻近。第二绝缘膜由具有第三绝缘膜、具有电荷累积功能的第四绝缘膜和第五绝缘膜的堆叠膜制成。第三绝缘膜由于通过热氧化处理对半导体衬底的部分进行氧化而形成于半导体衬底上,并且由于通过热氧化处理对所述侧壁绝缘膜进行氧化而形成于第一栅极电极的侧表面上。
- 制造半导体器件方法
- [实用新型]一种叠层母排结构-CN201620562005.8有效
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李进普
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深圳市容光机电设备有限公司
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2016-06-08
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2016-10-26
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H01R25/16
- 本实用新型涉及叠层母排,尤其涉及一种叠层母排结构,该叠层母排结构包括绝缘膜、负极板和正极板,所述母排结构还设有串接板,所述正极板一侧边突出设有正极端子,所述负极板一侧边突出设有负极端子;所述绝缘膜与正极板、负极板和串接板纵向交替层叠并固定连接,绝缘膜、正极板、负极板以及串接板上均设有位置相互吻合的功能孔,绝缘膜包括顶面绝缘膜和底面绝缘膜,母排结构整体的顶面和底面分别为顶层绝缘膜进和底层绝缘膜;所述顶层绝缘膜一侧边突出,设有端子绝缘挡片。有益效果:表面绝缘纸沿着正负极端子折弯的形状进行贴合粘接,起到端子处表面局部绝缘。
- 一种叠层母排结构
- [发明专利]半导体器件-CN200610005439.9无效
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山崎舜平;须泽英臣
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株式会社半导体能源研究所
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1995-11-25
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2006-08-30
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H01L27/12
- 一种半导体器件,包括:具有绝缘表面的衬底;在衬底上形成的第一绝缘膜,为氮化硅膜;在第一绝缘膜上形成的第二绝缘膜,为氧化硅膜;在第二绝缘膜上的结晶半导体膜,具有沟道区及源和漏区;在结晶半导体膜上形成的栅绝缘膜;在栅绝缘膜上形成的栅电极;层间绝缘膜,设置在所述结晶硅上;以及象素电极,通过层间绝缘膜与漏区电连接。这些半导体器件是借助本发明的一种腐蚀设备制成的,由于不发生等离子损伤,因而防止了在有源层侧表面中陷阱能级的出现,于是抑制了载流子通过陷阱能级的运动,因而半导体器件中的截止电流值减小。
- 半导体器件
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