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[发明专利]用于使用等离子源激发井、沉积物和钻孔的系统和方法-CN201380049824.1有效
发明人： P·G·阿吉夫;A·A·莫莎诺夫 -专利权人：诺瓦斯能源集团有限公司
申请日： 2013-07-26 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种用于在流体介质中产生非线性的、宽频带的、周期性的、定向的、弹性的振荡的等离子体源。等离子体源包括具有限定间隙的两个电极的等离子体发射器、用于将金属导体引入到间隙中的传送装置以及用于为等离子体发射器供电的高压变压器。一种用于通过使用等离子体源产生的受控的周期性振荡激发井、沉积物和钻孔的系统和方法。系统包括等离子体源、地面控制单元和支撑电缆。在方法中，等离子体源浸没在井、沉积物或者钻孔的流体介质中并且用于在间隙中产生金属等离子体。金属等离子体发射压力脉冲和冲击波，该压力脉冲和冲击波被引导至流体介质中。在流体介质中产生非线性的、宽频带的、周期性的和弹性的振荡，包括冲击波的通过的谐振振荡。
用于使用离子源激发沉积物钻孔系统方法

[发明专利]一种大气压等离子体电子密度的诊断方法-CN202111165769.5在审
发明人：倪国华;胡磊;徐少勇;孙坡;阮超波;李淩豪 -专利权人：中科等离子体科技（合肥）有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明的一种大气压等离子体电子密度的诊断方法，基于测量装置，所述测量装置包括依次通讯连接的信号捕捉单元、信号采集单元及计算单元，包括以下步骤，S1、通过信号捕捉单元捕捉正离子振荡辐射的电磁波信号；S2、通过信号采集单元采集正离子振荡辐射的电磁波信号；S3、基于采集的信号波形，获得信号的振荡频率即大气压等离子体振荡辐射电磁波信号频率；S4、根据所述的电磁波信号频率，计算出大气压等离子体的电子密度，并建立电子密度随时间的变化关系本发明的大气压等离子体电子密度的诊断方法，其通过测量等离子体中正离子振荡辐射电磁波的振荡频率，计算得到等离子体的电子密度，具有对诊断设备要求低、测量效率高等优点。
一种大气压等离子体电子密度诊断方法

[发明专利]一种用于皮肤癌细胞处理的等离子体振荡射流发生器-CN202110873442.7在审
发明人：李欣欣;韩骅;戴亮亮;卞干兰;陈兴娟;胡思隽 -专利权人：西北工业大学;西北工业大学深圳研究院
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供一种用于皮肤癌细胞处理的等离子体振荡射流发生器，该等离子体振荡射流发生器内设置有流动通道，流动通道包括气体进口段、振荡射流发生段和射流出口段；振荡射流发生段包括主流通道和反馈通道，主流通道的出口端的宽度大于射流出口段的入口端的宽度主要利用流体力学的康达效应，在传统直通道式等离子体射流发生器的基础上增加流体振荡器件，通过特殊的流道设计形成反馈通道，驱动等离子体射流在一定方向产生振荡效应，从而大幅度增加等离子体射流的处理面积，提高等离子体射流处理速度，解决了目前大气压非平衡态等离子体射流发生装置存在处理面积小、效率低、速度慢的问题。
一种用于皮肤癌细胞处理等离子体振荡射流发生器

[实用新型]一种等离子体振荡射流激励器-CN202223326580.2有效
发明人：刘汝兵;薛生辉;林麒 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体振荡射流激励器，其包括本体、两电极、电源和单向阀，本体设有激励腔室和振荡腔室，激励腔室可产生等离子体射流，振荡腔室设有两分隔块，该两分隔块界定有主流道和两支流道，等离子体射流通过过气口进入振荡腔室内，并在附壁效应作用以及支流道对等离子体射流的冲击作用下，往复地从贴附于左右两分隔块的位置由出气口射出，从而形成扫射形态的振荡射流，在同样流量情况下，可有效提高等离子体射流的影响范围。
一种等离子体振荡射流激励

[发明专利]用于使用等离子体源激发井、沉积物和钻孔的系统和方法-CN201810203635.X在审
发明人： P·G·阿吉夫;A·A·莫莎诺夫 -专利权人：诺瓦斯能源集团有限公司
申请日： 2013-07-26 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明一般涉及用于使用等离子体源激发井、沉积物和钻孔的系统和方法。等离子体源包括具有限定间隙的两个电极的等离子体发射器、用于将金属导体引入到间隙中的传送装置以及用于为等离子体发射器供电的高压变压器。系统包括等离子体源、地面控制单元和支撑电缆。在方法中，等离子体源浸没在井、沉积物或者钻孔的流体介质中并且用于在间隙中产生金属等离子体。金属等离子体发射压力脉冲和冲击波，该压力脉冲和冲击波被引导至流体介质中。在流体介质中产生非线性的、宽频带的、周期性的和弹性的振荡，包括冲击波的通过的谐振振荡。
等离子体源沉积物流体介质冲击波钻孔等离子体发射器金属等离子体压力脉冲地面控制单元高压变压器传送装置金属导体谐振振荡弹性的宽频带电极浸没激发振荡电缆供电发射引入支撑

[发明专利]大气等离子体设备和用于该设备的波导-CN201110211601.3有效
发明人：金翼年;池映渊 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2011-07-27 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：提供了一种大气等离子体设备和用于该设备的波导。根据本发明的大气等离子体设备包括：产生电磁波的振荡器；从所述振荡器产生的电磁波输入其中以经由其传播的波导，其中所述波导包括至少一个或多个阶梯，在包括末端矮部的波导区域产生等离子体。该大气等离子体设备可同时获得使经由具有一个或多个阶梯的波导施加的电磁波产生聚集的效应以及稳定地保持所产生的等离子体的效果。
大气等离子体设备用于波导

[发明专利]一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置-CN201010136233.6有效
发明人：于威;路万兵;傅广生;刘丽辉;王保柱 -专利权人：河北大学
申请日： 2010-03-31 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置，属于等离子体加工设备技术领域，用以实现射频功率的稳定和有效馈入并能有效防止螺旋波等离子体的跳模现象，其技术方案是：该装置包括外部高压电源、激发螺旋波等离子体的天线、绝缘电介质管、高真空腔体、线圈、辅助线圈，绝缘电介质管和高真空腔体分别设置进气孔和进气控制装置、环形喷嘴和加热器，在外部高压电源和激发螺旋波等离子体的天线之间连接有自激式射频振荡电路。本发明利用自激式振荡方式实现射频电磁场和螺旋波等离子体的耦合，可有效防止螺旋波等离子体的跳模现象，使所产生的螺旋波等离子体更稳定，为螺旋波等离子体的应用开辟了新的发展空间；本发明还具有电路简单、调试放便
一种螺旋等离子体增强化学沉积装置

[发明专利]经由激光能量调制来稳定液滴-等离子体相互作用的系统和方法-CN201680047342.6有效
发明人： D·里格斯;R·拉法克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：在激光产生等离子体(LPP)极紫外(EUV)系统中，通过激光脉冲照射液滴来在室中产生等离子体。这会生成使得等离子体不稳定的力，并且使得随后液滴随着其接近等离子体而改变其飞行轨迹和速度。可以从所生成的EUV能量的量的振荡检测该不稳定性。为了通过稳定等离子体和液滴的行进来减少振荡，使用比例‑积分(PI)控制器算法来基于室中生成的EUV能量修改随后激光脉冲的能量。通过修改随后激光脉冲的能量，等离子体稳定，这减小了对液滴飞行的影响并稳定了所生成的EUV能量的量，从而允许等离子体室操作更长的时间间隔并且降低由激光源维持的储备功率的量。
经由激光能量调制稳定等离子体相互作用系统方法

[发明专利]用于湍流减阻控制的微秒振荡等离子体放电系统及放电方法-CN202110398458.7在审
发明人：郑海波;高超;武斌;李跃强;严日华 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2021-04-11 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提出的新型微秒振荡式等离子体激励系统由调压器、函数发生器、双通道等离子体微秒脉冲电源、等离子体激励器模块组成，函数发生器输出信号两个相位差为1/2T的驱动信号，两个驱动信号驱动双通道等离子体微秒脉冲电源实现振荡式输出微秒振荡式等离子体激励系统可以诱导产生诱导涡、切向流和交替触发的冲击波，流动控制原理主要是“冲击效应”，可以针对性控制湍流边界层中固有的交替分布的条纹结构和流向涡等相干结构，实现更高效的控制；且微秒脉冲脉宽短
用于湍流控制微秒振荡等离子体放电系统方法

[发明专利]一种出射相干光的VCSEL阵列芯片-CN202110546169.7有效
发明人：李冲;张琛辉;李占杰;杨帅;李巍泽 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01S5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种出射相干光的VCSEL阵列芯片，属于激光器技术领域，包括VCSEL激光芯片，VCSEL激光芯片包括衬底层、第一反射镜以及激光发射单元阵列；与VCSEL激光芯片间隔设置的等离子体辐射层，且在等离子体辐射层一面上刻画有与激光发射单元阵列相对应的等离子体辐射栅，另一面设有反射层；第一激光发射单元垂直向等离子辐射层发射激光，使得等离子体辐射栅的自由电子发生集体振荡，激发出表面等离激元，表面等离激元在等离子体辐射栅和等离子体辐射层之间振荡传播，表面等离激元在反射层的作用下，以倏逝波形式垂直于等离子体辐射层表面方向传播，并激发第二激光发射单元发光，发出相干光。
一种相干光 vcsel 阵列芯片

[发明专利]一种双维度上克服衍射极限的等离子体激光器-CN201210135203.2无效
发明人：郑婉华;付非亚;王宇飞;晏新宇;周文君;陈微 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2012-05-02 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： H01S5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种双维度上克服衍射极限的等离子体激光器，包括：一介质材料长条；以及一覆盖于该介质材料长条上的金属层；该等离子体激光器是通过在双维尺度低于激射波长衍射极限的介质材料上生长金属层以实现等离子体模式振荡，并在另一维度上引入FP腔振荡反馈机制，实现模式品质因子的增强与模式的激射。利用本发明，能够有效地提高等离子体模式品质因子，改良等离子体模式损耗状况，实现激光器件小型化，以及光电子器件的高度集成。
一种维度克服衍射极限等离子体激光器

[发明专利]用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器-CN201110075718.3有效
发明人： A·格劳佩拉;S·克罗格;T·米勒;D·劳尔;S·张 -专利权人： FEI公司
申请日： 2011-02-15 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器。公开了一种聚焦离子束(FIB)系统，该系统包括：感应耦合等离子体离子源；包含等离子体的绝缘等离子体室；传导源偏置电极，与等离子体接触并偏置到高压以控制样品和多个孔处的离子束能量。等离子体室内的等离子体用作包括一个或多个透镜的离子镜筒的虚拟源，所述透镜把聚焦离子束形成在待被成像和/或FIB处理的样品的表面上。等离子体由装配在镜筒附近或在镜筒处的等离子体点燃器启动，所述等离子体点燃器在源偏置电极上诱导高压振荡脉冲。通过在镜筒附近装配等离子体点燃器，连接源偏置电极到偏置电源的电缆的电容性影响被最小化。通过合适的孔材料选择，使孔的离子束溅射最小化。
用于感应耦合等离子体离子源点燃

[发明专利]等离子体覆盖目标的超宽带太赫兹光谱测量系统及方法-CN201911110912.3有效
发明人：李吉宁;耿兴宁;徐德刚;范小礼;刘畅;钟凯;王与烨;姚建铨 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：一种等离子体覆盖目标的超宽带太赫兹光谱测量系统及方法，该系统包括双晶体光参量振荡器、基于DAST晶体的差频单元、等离子体产生单元和探测单元，其中，一束激光入射到双晶体光参量振荡器，经过光学参量振荡，输出两个频率相近且可调的闲频光作为差频时需要的双波长，在差频单元的DAST晶体中差频并输出超宽带的太赫兹波，该太赫兹波穿透等离子体产生单元产生的等离子体而进入探测器中。本发明采用基于有机晶体的非线性频率变换差频方法大大拓展了目前太赫兹研究的可测量频率范围(0‑20THz)，能够在超宽的调谐范围内研究等离子体对太赫兹波的影响。
等离子体覆盖目标宽带赫兹光谱测量系统方法

[发明专利]使用双频率射频源的等离子体产生与控制-CN200680009460.4无效
发明人： S·香农;A·佩特森;T·帕纳古普洛斯;J·霍兰;D·格里马德;D·霍夫曼 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2006-05-04 - 公布日： 2008-03-19 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本申请提供一种用以控制一半导体基材处理室内的一等离子体的方法。该方法包含：施加第一频率的第一RF信号给在处理室内的第一电极，该第一频率是被选择以使得等离子体鞘层振荡第一频率；及由电源施加第二频率的第二RF信号给第一电极，该第二频率是被选择以使得等离子体鞘层振荡第二频率，其中第二频率是与第一频率差别有一等于想要频率的差值，该想要频率被选择以使得等离子体鞘层振荡于该想要频率。
使用双频射频等离子体产生控制

[发明专利]一种用于控制等离子体发生器的系统-CN00810564.2无效
发明人：约瑟夫·T·沃德云;韦恩·L·约翰逊;默里·D·瑟基斯 -专利权人：东京电子株式会社
申请日： 2000-07-20 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种用于测量等离子体密度(例如在10¹⁰到10¹²cm^-3范围内)和用于控制等离子体发生器(240)的系统。如果要使用反馈控制充分地控制诸如沉积或刻蚀的等离子体辅助过程，测量等离子体密度是必要的。等离子体测量方法和系统产生一个控制电压，该电压进而控制等离子体发生器(240)维持等离子体密度处于预定值上。当谐振频率由于在开式谐振腔导入等离子体而发生变化时，该系统使用频率稳定系统将本地振荡器(100)的频率锁定到开式微波谐振腔(245)的频率。第二微波鉴频器的放大输出电压可用于控制等离子体发生器(240)。
一种用于控制等离子体发生器系统

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