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- [实用新型]一种纵向结构的巨磁阻磁传感器-CN201120068470.3无效
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王莹;李素云;张媛媛;张德祥
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安徽大学
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2011-03-16
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2011-11-09
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G01R33/09
- 本实用新型涉及一种纵向结构的巨磁阻磁传感器,包括基片,所述基片的表层为绝缘层,所述基片上纵向设置铁磁体,所述铁磁体为金属合金巨磁阻抗三明治结构体,即铁磁体层/导电层/铁磁体层,或是铁磁体层/绝缘层/导电层/绝缘层/铁磁体层的多层薄膜结构,其中铁磁体层至少为两层,每两层铁磁体中夹裹有导电层;所述金属合金巨磁阻抗三明治结构体外置偏置线圈。本实用新型采用与半导体器件工艺相兼容的技术制作金属合金巨磁阻抗三明治结构体,制备具有偏转磁场的巨磁阻磁传感器,其具有低功耗,高的弱磁场探测灵敏度,响应速度快,尺寸小,可靠性高,适合电路集成等特点。
- 一种纵向结构磁阻传感器
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