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- [发明专利]钛酸锶钡基功能薄膜低温制备方法-CN201110116985.0有效
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余萍;陈潇洋;朱建国;肖定全
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四川大学
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2011-05-06
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2011-10-05
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H01L41/24
- 一种钛酸锶钡基功能薄膜低温制备方法，步骤为：(1)将钛酸丁酯溶于苯甲醇和乙二醇组成的溶剂中形成第一种络合物溶液；(2)将满足钛酸锶钡基功能薄膜分子式化学计量比的碱土金属的碳酸盐或/和硝酸盐或/和醋酸盐、过渡金属或/和稀土金属的硝酸盐、或/和过渡金属的醋酸盐溶于苯甲醇和乙二醇组成的溶剂中，形成第二种络合物溶液；(3)将第一种和第二种络合物溶液按体积比1∶1混合均匀并静置至少40分钟，得钛酸锶钡基前驱物溶液；(4)将前驱物溶液形成钛酸锶钡基纳米晶，将所述纳米晶放入含分散剂的乙二醇甲醚-乙酸混合液中搅拌均匀形成钛酸锶钡基纳米晶溶胶；(5)将所述纳米晶溶胶在衬底上制成薄膜，在40～50℃烘干并冷却。
- 钛酸锶钡基功能薄膜低温制备方法
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