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[发明专利]多晶硅生产设备的清洗方法、清洗装置及多晶硅生产设备-CN202011061643.9在审
发明人：安重镒;李相遇;金成基;熊文娟;崔恒玮;田光辉;蒋浩杰 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：本发明属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅生产设备的清洗方法、清洗装置及多晶硅生产设备。本申请中的清洗方法包括以下步骤：排出多晶硅生产设备内的剩余气体，向多晶硅生产设备内通入刻蚀气体，使刻蚀气体与附着在多晶硅生产设备的部分内壁面的硅薄膜相反应，获取部分内壁面的反应温度，根据部分内壁面的反应温度不再变化，确定附着在多晶硅生产设备的部分内壁面的硅薄膜完全清除，停止向多晶硅生产设备内通入刻蚀气体。根据本申请中的多晶硅生产设备的清洗方法，能够有效的将附着在生产设备的内壁面的硅薄膜完全清除，保证多晶硅生产设备工作的可靠性。
多晶生产设备清洗方法装置

[发明专利]一种高纯硅铁自动化生产装置及方法-CN202110686047.8在审
发明人：杨帆;白泽坤;曾鹏;叶朋;白鹏;杨飞雄 -专利权人：宁夏金圆化工有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： F27B14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高纯硅铁自动化生产装置及方法，包括硅铁生产机构本体、硅铁自动加料机构、硅铁熔炼加热机构、硅铁熔炼机构盖板、熔炼自动翻转机构、硅铁熔炼除杂机构，硅铁生产机构本体顶端设置有硅铁熔炼机构盖板，硅铁生产机构本体侧面设置有硅铁熔炼加热机构，硅铁生产机构本体顶端侧面设置有硅铁自动加料机构，硅铁自动加料机构侧面设置有硅铁熔炼除杂机构，硅铁生产机构本体底端侧面设置有熔炼自动翻转机构，本装置结构简单，操作使用便捷，能够实现多组同时控制操作生产，降低硅铁原料到成品过程的碳排放量。
一种高纯自动化生产装置方法

[发明专利]生产高纯硅坯料的方法和装置-CN200910163402.2有效
发明人：储晞 -专利权人：储晞
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： C01B33/037 文献下载
摘要：本发明提供一种生产高纯硅坯料的方法和装置，该装置包括：高纯硅生产设备，用于制备流态高纯硅；高纯硅坯料加工设备，用于将所述高纯硅生产设备制备得到的流态高纯硅进行加工处理制成高纯硅坯料；输送管道，所述输送管道的一端与所述高纯硅生产设备的产品出口相连，所述输送管道的另一端与所述高纯硅坯料加工设备的原料入口相连。本发明提供的生产高纯硅坯料的方法和装置，通过输送管道将高纯硅生产设备和高纯硅坯料加工设备进行连接，使得制备出的流态高纯硅直接被加工为高纯硅坯料，减少了冷却和运输高纯硅的过程，降低了生产高纯硅坯料的能耗。
生产高纯坯料方法装置

[发明专利]硅单质的生产方法及生产设备-CN201010126121.2有效
发明人：陈涵斌;钟真武;陈其国;陈文龙 -专利权人：江苏中能硅业科技发展有限公司
申请日： 2010-03-12 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： C01B33/021 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅单质的生产方法和生产设备，其中所述生产方法包括使汽化的硅化合物或者汽化的硅化合物与氢气的混合气体作为硅原料气与作为硅原料液的熔融单质硅接触，而将所述硅化合物还原成硅单质的接触步骤。根据本发明，可以以与现有技术相比更低的生产成本、更高的生产效率和更低的能耗，制造出纯度更高的硅单质(比如多晶硅锭或单晶硅)。
单质生产方法设备

[发明专利]一种多晶硅质量控制评价方法及装置-CN202211345920.8在审
发明人：杨帅;侯雨;高静;银波;朱晓明;甘新业;候春霞;王新月;李云鹏 -专利权人：新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅质量控制评价方法及装置，涉及多晶硅质量控制技术领域。该方法包括获取多晶硅生产系统的生产参数信息，所述生产参数信息包括一下至少一项：所述多晶硅生产系统在预设时间段内的原料输入量，以及，多晶硅生产过程中所述多晶硅生产系统的过程能力指数、半成品的合格率、杂质粒子数量；根据所述生产参数信息，得到所述多晶硅质量控制的评价结果。本发明的方案，根据多晶硅生产系统的生产参数信息，从多晶硅生产的各个流程对多晶硅的质量控制进行评价，提升了多晶硅生产系统的稳定性。解决了多晶硅的质量控制主要集中于冷氢化工序以及原料工序等物料及气系统进行生产的优化控制，对多晶硅的质量控制不完善且不稳定的问题。
一种多晶质量控制评价方法装置

[发明专利]高硅锰硅合金生产新工艺-CN02114376.5有效
发明人：熊飞;吴月明;蒋志杨;曾高生;张杜军;梁春阳 -专利权人：湖南省铁合金集团有限公司
申请日： 2002-08-29 - 公布日： 2004-06-16 - 主分类号： C22C35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高硅锰硅合金生产新工艺，为了解决现有的高硅锰硅合金生产工艺是用富锰渣、硅石、焦炭、木炭、石灰，在矿热炉内一步法生产，这种生产工艺对原材料的要求高，生产成本高，操作较困难，生产难度大的缺点；本发明采用两台电炉配套生产，一台电炉生产普通的液态锰硅合金，另一台电炉生产液态硅铁，然后进行炉外热兑，并加入脱磷脱硫剂精炼、浇注，最后形成高硅锰硅合金；本发明满足了国内外用户对高硅锰硅合金成分Si≥25％、Mn≥55％、C≤0.5％、P≤0.1％、S≤0.01％的要求，生产成本低，极具有市场竞争力。
高硅锰硅合金生产新工艺

[发明专利]高纯硅生产器具及高纯硅生产器具的制备方法-CN200910173834.1有效
发明人：储晞 -专利权人：储晞
申请日： 2009-09-14 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： C01B33/021 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯硅生产器具及高纯硅生产器具的制备方法，该方法包括：采用高纯硅为原材料，通过机械加工、压制、浇铸或气相沉积成型的方法制备得到用于生产高纯硅的器具；将所述器具在保护气氛中或真空中、且在高温下进行退火处理本发明提供的高纯硅生产器具及高纯硅生产器具的制备方法，采用高纯硅为原料，通过机械加工、压制、浇铸或气相沉积成型的方法对不同形态的高纯硅进行相应的处理，制备得到用于生产高纯硅的器具，并将该器具在保护气氛或真空中进行退火处理以消除该器具中残余的内应力，使用该器具生产高纯硅，可以避免对高纯硅的污染，提高和保证高纯硅的质量，降低高纯硅的生产成本。
高纯生产器具制备方法

[发明专利]一种高纯多晶硅的生产方法及生产装备-CN200910158901.2有效
发明人：张洪平;王冬 -专利权人：锦州市三特真空冶金技术工业有限公司
申请日： 2009-07-03 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： C01B33/037 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯多晶硅的生产方法以及利用该生产方法生产高纯多晶硅的生产装备，其中所述的生产方法包括如下步骤：硅料准备、熔炼包装料、硅料熔炼、除渣、熔融硅精炼、硅液挡渣浇铸、硅液真空脱气与定向凝固、硅锭出炉和去皮切割，其中，所述硅料准备步骤中所使用的硅料为冶金级还原硅，在所述硅料熔炼步骤中采用的加热方式包括化学燃烧加热。所述生产装备包括至少三个以上相同的用于熔炼包或精炼包的包结构，其中一个包用于熔炼操作中，一个包用于精炼操作中，一个包用于修补、预热或装料操作中。采用本发明的生产方法和装备，可以大规模、低成本地生产高纯多晶硅。
一种高纯多晶生产方法装备

[发明专利]一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺-CN201210471193.X无效
发明人：李仕扬;沈伟 -专利权人：四川瑞能硅材料有限公司
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺，尤其是一种多晶硅生产系统中的二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺，属于硅化工技术领域；本发明的二氯二氢硅反歧化工艺采用液态二氯二氢硅和液态四氯化硅混合进料，反应采用的是装载催化剂的固定床反应器，反应条件温和，设备投资低，耗能少，能够对多晶硅生产系统的副产物二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅，降低生产成本和二氯二氢硅的处理费用；本工艺还设计有气液分离单元和精馏原料产品分离系统，能够充分利用生产系统现有工艺设备，提高多晶硅生产系统的原料利用率。
一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺

[发明专利]一种多晶硅生产的控制方法、系统-CN202011526351.8在审
发明人：王文;范协诚;张兆东;冯留建;赵鹏;张霞飞;谢瑞;宋高杰 -专利权人：新疆新特晶体硅高科技有限公司;新疆硅基新材料创新中心有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明公开一种多晶硅生产的控制方法，包括：对多晶硅生产设备进行优化控制，以获取优化后的设备参数；根据优化后的设备参数对所述多晶硅生产设备进行改进；对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制，以获取目标多晶硅产品相应的，还公开一种多晶硅生产的控制设备。该控制方法和设备可实现准确控制多晶硅生产的过程，提高产品质量。
一种多晶生产控制方法系统

[实用新型]一种采用竹材制备硅的系统-CN201721008049.7有效
发明人：房凯;巴玉鑫;吴小飞;王永军;王笑;吴道洪 -专利权人：北京神源环保有限公司
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C01B33/021 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种采用竹材制备硅的系统。该系统包括：竹材热解单元、配料单元、硅生产单元、硅精炼单元和冷却水循环单元。其中，冷却水循环单元包括冷却装置和油水分离装置。配料单元分别与竹材热解单元和硅生产单元相连，硅精炼单元与硅生产单元相连，冷却装置分别与竹材热解单元、硅生产单元和油水分离装置相连，油水分离装置还与硅生产单元相连。本实用新型采用廉价的竹材为原料，制得的竹炭的反应活性高，大大提高了硅的生产效率和品质，同时了降低硅的生产成本。
竹材硅生产油水分离装置热解冷却水循环单元本实用新型精炼单元冷却装置配料单元制备反应活性生产效率竹炭生产成本

[发明专利]硅及其生产方法-CN200580017512.8无效
发明人： P·阿德勒;A·戈尔兹;H·基希纳;A·米勒;T·西尔;R·松嫩沙因 -专利权人：联合太阳能硅有限及两合公司
申请日： 2005-05-10 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： C01B33/02 文献下载
摘要：本发明涉及硅及其生产方法。一种用于生产硅的方法，该硅作为用于生产硅熔液的原料适用于生产硅坯或硅晶体，该方法包括下面的步骤：将由甲硅烷和氢气组成的气体混合物加入到反应器中，对气体混合物进行热解以形成硅粉，使所产生的硅粉与气体混合物分离，并且机械压实分离出的硅粉。
及其生产方法

[发明专利]一种棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法-CN201810786559.X在审
发明人：王体虎;宗冰;肖建忠;尹东林;郑连基;刘军;陈海宝;李英;马英红;张宝顺 -专利权人：亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明涉及晶体硅制备技术领域，具体涉及一种棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法。本发明提供的棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法，采用包括三氯氢硅的原料制备棒状多晶硅，将制备棒状多晶硅的尾气中产生含有的二氯二氢硅作为颗粒硅制备步骤的原料，同时，所述颗粒多晶硅制备步骤所得的尾气中包含有用于制备所述棒状多晶硅的原料三氯氢硅相较于传统的单独棒状多晶硅或颗粒多晶硅生产工艺，本发明所述方法可以联合生产棒状多晶硅和颗粒多晶硅，具有工艺流程短、工艺共容、产业化成本低的优势。本发明产生的两种多晶硅产品具有强烈互补性，可以提升晶体生长环节的生产效率。本发明所述方法是一种绿色节能的多晶硅生产方法。
棒状多晶硅颗粒多晶硅联合生产制备三氯氢硅多晶硅种棒尾气制备技术领域多晶硅产品多晶硅生产二氯二氢硅晶体生长生产效率原料制备工艺流程产业化传统的晶体硅颗粒硅生产工艺互补性节能环节

[发明专利]提高多晶硅生产的方法及其装置-CN200810040241.3无效
发明人：袁建中 -专利权人：上海通用硅晶体材料有限公司
申请日： 2008-07-04 - 公布日： 2008-12-17 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅的生产方法及装置，在还原炉内用电加热硅芯，使SiHCl₃在H₂气氛中还原，所得到的硅在硅芯的表面上沉积而生成多晶硅，本发明采用增大硅芯表面积的方法来提高生产多晶硅的速度根据上述多晶硅的生产方法，本发明还提供了一种生产多晶硅的还原炉，包括炉罩、底板、进料口、出料口和硅芯，该还原炉是密闭的，进料口、出料口和电极安装在底板上，硅芯连接在电极上，其中所述的硅芯是片状的。在本发明的生产方法及装置中，将现有技术中的圆形硅棒改进为片状或管状或任意不规则薄层状的硅芯，增加了硅芯的表面积。由于在反应原料的浓度保持不变的情况下，硅的沉积速度主要取决于硅棒的表面积，因此本发明大幅度提高了硅的沉积速度，节约了生产时间，提高了生产效率。
提高多晶生产方法及其装置

[发明专利]一种处理多晶硅生产中尾气的方法及系统-CN201610592188.2在审
发明人：相文强;张吉武;侯雨;张凯兴;孙荣义;黄鹏 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2016-07-26 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： B01D53/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种处理多晶硅生产中尾气的方法及系统，该方法包括以下步骤对多晶硅生产中尾气进行吸附，吸附多晶硅生产中尾气中的二氯二氢硅、三氯氢硅、氯化氢，得到经过吸附后的多晶硅生产中尾气；将被吸附的物质进行脱附，得到脱附出来的多晶硅生产中尾气，脱附出来的多晶硅生产中尾气包括二氯二氢硅、三氯氢硅和氯化氢；使用含有液态的四氯化硅的淋洗液冷凝并淋洗脱附出来的多晶硅生产中尾气，得到经过淋洗的淋洗液和经过淋洗的多晶硅生产中尾气，经过淋洗的淋洗液包括四氯化硅、二氯二氢硅、三氯氢硅和氯化氢。
一种处理多晶生产尾气方法系统

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