一种激光加工系统可包含一相对侧照相机(opposite side camera),以用于自该系统的一相对侧(即与激光加工工艺相对之侧)提供工件对准。该相对侧照相机可与一空气轴承定位平台一起使用,且该平台的一部分及/或该相对侧照相机可移动,以使该相对侧照相机能够对欲对准的该工件上的一特征(feature)进行成像。相对侧对准可用于经由自一工件的一或二侧实施对准而对该工件进行背面切割及/或双侧切割。激光加工系统及方法亦可用于提供准秘密切割(quasi-stealth scribing)及多光束切割。
一种激光加工系统可包含一相对侧照相机(opposite side camera),以用于自该系统的一相对侧(即与激光加工工艺相对之侧)提供工件对准。该相对侧照相机可与一空气轴承定位平台一起使用,且该平台的一部分及/或该相对侧照相机可移动,以使该相对侧照相机能够对欲对准的该工件上的一特征(feature)进行成像。相对侧对准可用于经由自一工件的一或二侧实施对准而对该工件进行背面切割及/或双侧切割。激光加工系统及方法亦可用于提供准秘密切割(quasi-stealth scribing)及多光束切割。