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[发明专利]蒸镀方法及蒸镀系统-CN201810187315.X有效
发明人：万冀豫;张大成 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2018-03-07 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀方法及蒸镀系统，属于显示技术领域。该方法包括：在真空腔室中，对蒸镀靶材进行加热，使得靶材分子从加热后的蒸镀靶材上脱离并射出，以附着在待蒸镀基板，该待蒸镀基板的温度小于蒸镀靶材的温度；在待蒸镀基板远离蒸镀靶材的一侧输出矩形超声波，使得附着在待蒸镀基板的第一区域的靶材分子朝靠近蒸镀靶材的方向移动，并附着在蒸镀靶材上。本发明解决了相关技术中在进行真空蒸镀工艺的过程中靶材分子的利用率较低的问题，达到了提高靶材分子的利用率的效果。本发明用于真空蒸镀。
蒸镀靶材蒸镀基板靶材附着蒸镀系统蒸镀加热真空蒸镀工艺第一区域方向移动真空腔室真空蒸镀超声波射出输出脱离

[发明专利]蒸镀方法以及蒸镀装置-CN201711338456.9有效
发明人：万冀豫;汪栋;宋勇志;姜晶晶;齐鹏煜 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀方法，该蒸镀方法包括：给靶材施加激励声波，使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域。使用该蒸镀方法避免蒸镀材料的损失，提高蒸镀材料的利用率，从而降低成本。
方法以及装置

[发明专利]一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材的方法-CN202211473793.X在审
发明人：杨杰;左宁伟;杨龙 -专利权人：九天智能科技（宁夏）有限公司;江苏莱希海姆科技有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明公开了一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材的方法，包括：将粒径D50为0.1～0.5um的氧化铟与氧化锡粉末混合均匀；对混合粉末进行煅烧；对煅烧后的粉末制浆，并将浆料、粘结剂加入砂磨机中进行砂磨；对砂磨后的浆料进行喷雾干燥，造粒；将造粒后的粉末进行冷压成型，得到冷压素坯；将冷压素坯进行脱脂；将脱脂后的冷压素坯置于氧气气氛下进行常压烧结，得到蒸镀用低密度ITO靶材。本发明可获得晶粒尺寸均匀、体电阻率低的蒸镀用低密度ITO靶材，其相对密度为55～65％；制得的低密度ITO靶材在蒸镀使用时不易开裂且靶材利用率高，并在蒸镀后可获得均匀的低电阻率、高透光率的导电薄膜。
一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度 ito 方法

[发明专利]蒸镀装置-CN201610323551.0在审
发明人：黃秉檍;吴芝瑛;朴完雨;金钟学 -专利权人：亚威科股份有限公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及利用微波的蒸镀装置。根据本发明的利用微波的蒸镀装置，向照射微波的导波模块与靶材之间供应气体，来分隔设置有导波模块的腔室的区域与设置有靶材的腔室的区域。如此，抑制靶材物质向导波模块侧移动，因此抑制靶材物质蒸镀于导波模块侧。从而，防止因为靶材物质蒸镀于导波模块侧而产生的颗粒Particle)与电弧(Arcing)现象使待蒸镀于基板的膜受损，因此具有能够提高膜质量的效果。另外，由于用于去除蒸镀于导波模块的靶材物质的维护作业周期变长，因此可具有节省成本的效果。
装置

[发明专利]蒸镀装置和蒸镀方法-CN201810225281.9在审
发明人：万冀豫;汪栋;宋勇志;陈南;张大成;张思凯 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀装置，用于对待蒸镀基板进行蒸镀，所述蒸镀装置包括：容纳有压缩气体的蒸镀腔室，用于承载待蒸镀基板和靶材；纵波产生结构，设置于所述蒸镀腔室内，用于发出沿第一方向传播的矩形纵波，以使所述蒸镀基板和所述靶材之间的所述压缩气体在矩形纵波的波峰处形成用于遮挡靶材分子的密部，在矩形纵波的波谷处形成用于提供靶材分子向所述待蒸镀基板移动的通道的疏部，其中，所述疏部对应于所述待蒸镀基板的待蒸镀区域，所述密部对应于所述待蒸镀基板的非蒸镀区域，所述第一方向与所述待蒸镀基板的待蒸镀面平行本发明还涉及一种蒸镀方法。
蒸镀基板蒸镀靶材纵波蒸镀装置压缩气体疏部蒸镀腔室波谷处蒸镀面蒸镀腔波峰遮挡平行承载容纳室内移动传播

[发明专利]一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法-CN202210596451.0在审
发明人：叶顺闵;林伯璋;蔡孟霖;许邦泓;萧维彬 -专利权人：滁州钰顺企业管理咨询合伙企业（有限合伙）
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法，包括如下步骤：S1、根据靶材类型确定靶材容器；S2、检查靶材放入靶材容器的位置是否正确；S3、判断靶材添加是否有误；S4、根据靶材类型调节蒸镀制程加热功率；S5、进行晶圆背面金属化蒸镀制程，本发明能够定义靶材异常因素，预防在晶圆背面金属化蒸镀制程时异常发生，防止因晶圆背面金属化蒸镀异常，导致生产良率降低，晶圆重新加工风险提升
一种基于背面金属化防止金属镀层异常方法

[发明专利]一种太阳能电池用蒸镀靶材及其制备方法-CN202211580121.9有效
发明人：姚远;蒋一昌;赵丽媛;杜宝珩;杨冠军;侯远欣;刘金茂 -专利权人：洛阳晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明公开一种太阳能电池用蒸镀靶材及其制备方法，所述蒸镀靶材包括以下质量分数的组分：氧化铟(In2O3)98.5‑99.5%本方案的蒸镀靶材采用独特的化学组成，通过向氧化铟基体中引入掺杂氧化物，通过二元甚至多元的共掺杂可以在产生较高载流电子浓度的同时，载流电子迁移率得到显著提升，采用该蒸镀靶材所沉积的薄膜具有高的近红外透过率和高电子迁移率
一种太阳能电池用蒸镀靶材及其制备方法

[实用新型]一种蒸镀设备以及蒸镀系统-CN202122479368.9有效
发明人：黄琪兵;杨然翔 -专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备以及蒸镀系统。蒸镀设备包括坩埚台，坩埚台包括用于放置靶材的载物平面、限制靶材蒸发角度的角度限制结构以及位移机构，位移机构被配置为带动载物平面在垂直于载物平面的方向上移动；加热装置，被配置为对靶材进行加热以使靶材蒸发。在一些实施过程中，有利于保证蒸镀的膜厚均一性，且也可根据需要主动的改变蒸发角度，不需要停机调整，使得蒸镀过程的灵活性更强，更为便捷。
一种设备以及系统

[发明专利]一种真空蒸镀工艺制备幻彩反光膜的方法-CN201910021948.8有效
发明人：刘思远 -专利权人：合肥市辉耀真空材料有限责任公司
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空蒸镀工艺制备幻彩反光膜的方法，将被镀植株基膜装入蒸镀室，然后主鼓进行低温冷却、在蒸发槽内放入排列有蒸镀靶材的钼舟，并保证每部分蒸镀靶材到中心主鼓底端的距离有差异，将蒸发槽关闭盖板后送入蒸镀室，对蒸镀室抽取真空；将蒸镀靶材加热至熔点、汽化，打开蒸发槽盖板，控制被镀植株基膜在蒸镀室内匀速的移动，进行逐步蒸镀操作；蒸镀完成后关闭设备。
一种真空工艺制备反光方法

[实用新型]一种蒸镀用离子枪-CN201921818075.5有效
发明人：刘轶群;蒋艺丰 -专利权人：北京大学
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改进的Leica EM MED020型蒸镀用离子枪，包括电极及核心支撑座1、枪室2、靶材棒底座3和前汇聚室4。所述电极及核心支撑座1上安装靶材棒底座3和枪室2，该靶材棒底座3上端用于蒸镀的靶材位于枪室2的空腔内，枪室2与前汇聚室4相连，位于电极及核心支撑座1和前汇聚室4之间；其中，枪室盖22和枪室室21通过螺纹连接组合成枪室本实用新型的蒸镀用离子枪易于拆卸清理，同时便于安装调整，降低了实验难度，提高了实验精度和效果，同时延长了设备的使用寿命。
一种蒸镀用离子

[发明专利]一种高亮透明反光膜的真空蒸镀工艺-CN201910021975.5在审
发明人：刘思远 -专利权人：合肥市辉耀真空材料有限责任公司
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种高亮透明反光膜的真空蒸镀工艺，将被镀植株基膜装入蒸镀室，然后冷却滚筒进行低温冷却、在蒸发槽内放入排列有蒸镀靶材的钼舟，并保证每部分蒸镀靶材到中心主鼓底端的距离相同，将蒸发槽关闭盖板后送入蒸镀室，对蒸镀室抽取真空；将蒸镀靶材加热至熔点、汽化，打开蒸发槽盖板，控制被镀植株基膜在蒸镀室内匀速的移动，进行逐步蒸镀操作；蒸镀完成后关闭设备。本发明提供的高亮透明反光膜的真空蒸镀工艺，最终得到的反光膜的反光亮度远远高于普通透明反光膜的反光亮度，具备很好的反光效果，且表面轻薄透明，适合后期深加工处理，同时金属膜牢固不易脱落。
透明反光膜真空蒸镀工艺蒸镀靶材蒸镀室蒸发槽高亮蒸镀植株盖板反光基膜汽化熔点低温冷却反光效果关闭设备冷却滚筒反光膜金属膜深加工轻薄放入主鼓钼舟加热装入抽取送入室内透明移动保证

[发明专利]一种高亮炫彩反光服用真空蒸镀硫化锌工艺及其应用-CN202110825472.0在审
发明人：查伟强;李俊;张国强 -专利权人：杭州星华反光材料股份有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明涉及反光产品领域，尤其涉及一种高亮炫彩反光服用真空蒸镀硫化锌工艺及其应用。所述工艺包括：将硫化锌蒸镀靶材置于蒸发舟上，植珠膜置于高真空镀膜设备中，开启真空蒸镀，蒸镀暂停，设置挡带，再次开启真空蒸镀。本发明中的硫化锌蒸镀靶材相对于植珠膜是对称、平均分布的，且每个硫化锌蒸镀靶材的蒸发量相同，蒸发速率相同，所制备的植珠膜镀层细腻均匀，无凹凸不平的现象。
一种高亮炫彩反光服用真空硫化锌工艺及其应用

[发明专利]薄膜蒸镀装置-CN201810725430.8在审
发明人：刘宇 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜蒸镀装置，包括：靶材固定装置，用于沿第一方向固定设置多个组分不同的靶材；衬底承载装置，用于承载待镀膜的衬底且使所述衬底与所述靶材相对设置；以及加热装置，用于对所述靶材进行加热使所述靶材的材料蒸镀于所述衬底上形成薄膜；所述靶材固定装置与所述衬底承载装置能够使所述靶材与所述衬底沿所述第一方向相对运动。
靶材衬底靶材固定装置衬底承载装置薄膜蒸镀装置固定设置加热装置相对设置镀膜蒸镀薄膜加热承载

[实用新型]薄膜蒸镀装置-CN201821052790.8有效
发明人：刘宇 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种薄膜蒸镀装置，包括：靶材固定装置，用于沿第一方向固定设置多个组分不同的靶材；衬底承载装置，用于承载待镀膜的衬底且使所述衬底与所述靶材相对设置；以及加热装置，用于对所述靶材进行加热使所述靶材的材料蒸镀于所述衬底上形成薄膜；所述靶材固定装置与所述衬底承载装置能够使所述靶材与所述衬底沿所述第一方向相对运动。
靶材衬底靶材固定装置薄膜蒸镀装置衬底承载装置本实用新型固定设置加热装置相对设置镀膜蒸镀薄膜加热承载

[发明专利]一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材及其方法-CN202310877268.2在审
发明人：孟将;胡强楠;罗文;张帅;征卫星;张子富;左宁伟;韩建华;孙磊;马肖 -专利权人：西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明给出了一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材及其方法，属于靶材制造技术领域，该方法包括：步骤S1、将D50均为0.1～0.5um的氧化铟粉末和氧化锡粉末混合均匀后依次进行煅烧、砂磨、喷雾造粒和冷压成型，得到冷压素坯；步骤S2、将所述冷压素坯脱脂后置于炉内氧气气氛下进行常压烧结，得到低密度ITO靶材。本发明制备的低密度ITO靶材纯度高，相对密度低，具有较高的导电性，用其蒸镀获得的ITO薄膜具有较高的导电性和透光率。
一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度 ito 及其方法

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