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[实用新型]一种板状靶材装夹机构-CN202020930323.1有效
发明人：王俊锋;王锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材装夹供料技术领域，尤其公开了一种板状靶材装夹机构，包括载架、设置于载架的加热单元及磁铁、用于冷却载架所承载的板状靶材的冷却单元，载架设有与板状靶材配合使用的锥形孔，锥形孔靠近板状靶材一端的孔径小于锥形孔远离板状靶材一端的孔径，加热单元用于加热蒸发载架所承载的板状靶材，磁铁作用于板状靶材蒸发后经由锥形孔移出的靶材离子；实际使用时，将板状靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的板状靶材加热蒸发成靶材离子经由锥形孔移出供料，借助冷却单元冷却板状靶材，避免板状靶材温度过高而炸裂；板状靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
一种板状靶材装夹机构

[发明专利]检漏夹具及检漏系统-CN201810433136.X在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-05-08 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种检漏夹具及检漏系统，用于检测圆饼状靶材是否有裂缝，所述检漏夹具包括：夹具主体以及开设于所述夹具主体的夹具接口；当所述夹具主体与所述圆饼状靶材固定连接时，所述夹具接口与所述圆饼状靶材的进水孔相对应夹具主体与圆饼状靶材固定连接时，夹具接口与圆饼状靶材的进水孔与夹具接口对应，使得检测设备可以依次通过夹具接口、进水孔从圆饼状靶材内抽气，本申请实施例提供了一种可以较好的检测靶材密封性的方式。
靶材圆饼状夹具接口夹具主体夹具进水孔检漏检漏系统检测设备密封性检测抽气裂缝申请

[发明专利]一种半导体用碗状靶材及其制备方法-CN202110979819.7在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;冯周瑜;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体用碗状靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：对预加工后的靶坯进行整体冲压，使靶坯整体呈碗状；然后再进行侧壁冲压，使靶坯侧壁外侧冲压出环形支撑部，得到碗状靶材；所述制备方法通过冲压技术，有效提高了靶坯的利用率以及碗状靶材的生产效率，同时提升了靶材强度，有利于工业化生产。
一种半导体用碗状靶材及其制备方法

[发明专利]靶材与背板的焊接结构及方法-CN200910140417.7无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-05-08 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： B23K20/00 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接结构及方法。其中靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；对钛靶材和铝背板进行加工，在钛靶材焊接面加工成螺纹状；采用热压方法将钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。本发明对钛靶材进行机械加工形成螺纹状，能将其表面的氧化层撕裂，对铝背板进行机械加工能使其表面的氧化层变薄，进而使钛靶材和铝背板之间的结合强度提高。
背板焊接结构方法

[发明专利]一种宽幅钼靶材表面点状缺陷修复方法-CN202310471870.6在审
发明人：李德华;黄飞虎;杨丽 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B23P6/00 文献下载
摘要：一种宽幅钼靶材表面点状缺陷修复方法，在宽幅钼靶材二火次轧制完成后，对钼靶坯表面进行外观检查，确定钼靶坯表面点状缺陷位置，用球头铣刀加工去除点状缺陷，再经激光熔覆焊对缺陷位置进行修补，然后用热等静压退火处理改善缺陷修补位置的局部内应力缺陷和晶粒尺寸不一致问题，再经机加工修平后，进行三火次轧制加工，最终得到表面质量、内在应力、晶粒尺寸均控制良好的宽幅钼靶材；该宽幅钼靶材表面点状缺陷修复方法，解决了现有宽幅钼靶材因表面点状缺陷而降规格使用所带来的经济损失，极大提高了钼靶材生产企业的经济效益
一种宽幅钼靶材表面缺陷修复方法

[发明专利]靶材制备设备-CN201711480695.8有效
发明人：黄宇彬;阿南·辛格·迪欧达特;谭继军;谭建林;蔡新志;朱刘 -专利权人：清远先导材料有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材制备设备，工作台的台面上设置靶材成型框架，靶材原料填充到靶材成型框架内，通过加热装置对工作台的加热，使得工作台的台面形成靶材原料的加热板，将靶材原料加热融化，融化后的靶材原料均匀铺盖于靶材成型框架圈定的框架界限内，同时融化的靶材原料由震动装置震动流动，保证靶材成型框架内各个位置铺设的靶材厚度相同，成型密度均匀，通过工作台的台面和靶材成型框架可制备平板状结构的靶材，并由震动装置在成型过程中震动调整，保证靶材成型后的厚度和密度分布均匀，制备后的板状靶材，在后续绑定到背板的工艺中，避免单块靶材连接处的缺陷，保证表面平整度，提高了平面靶材的制备质量。
制备设备

[发明专利]磁控溅射阴极、磁控溅射设备及制造磁性器件的方法-CN201010119100.8有效
发明人：远藤彻哉;爱因斯坦·诺埃尔·阿巴拉 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2010-02-24 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了即使当靶材是磁性体并且厚和/或强磁性体被用作靶材时也能够产生足以在靶材面上形成放电所需的磁性隧道的泄漏磁场的磁控溅射阴极、磁控溅射设备及制造磁性器件的方法。本发明的磁控溅射阴极包括靶材，该靶材具有：第二环状槽，其被设置于靶材的溅射面；第三环状突起，其被设置于靶材的非溅射面；第四环状槽，其在非溅射面上被设置于第三环状突起的外侧；第四环状突起，其在非溅射面上被设置于第四环状槽的外侧
磁控溅射阴极设备制造磁性器件方法

[发明专利]磁控溅射靶-CN200910304378.X无效
发明人：裴绍凯 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-07-15 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种磁控溅射靶，其包括一个中空靶材以及一个磁靶。所述磁靶收容在所述靶材内。所述磁靶包括一个环状的支架以及多个条状磁铁。所述多个磁铁呈放射状地设置在所述支架上。所述支架上相邻的两个磁铁的磁极相反并在多个相邻的磁铁之间形成多个呈花瓣状分布的多个磁场，所述多个磁场覆盖靶材的内外表面且磁场方向交替变化。且覆盖靶材的内外表面。本发明磁控溅射靶通过所述磁靶形成的多个花瓣状磁场覆盖靶材内外表面，从而使所述靶材的内外表面均被有效利用，从而提高了靶材的使用效率。
磁控溅射

[实用新型]一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件-CN201921141209.4有效
发明人：朱杰 -专利权人：张家港市和瑞创先智能光学有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，包括：固定座和板状靶材，所述板状靶材沿固定座长度方向平行设置在固定座的正面，所述板状靶材背面对称设置有靠近边缘的滑槽，所述固定座上设置有延伸至滑槽中的条形滑块，所述条形滑块中沿长度方向设置有冷却水孔，所述板状靶材侧面设置有指向条形滑块的紧固螺钉。通过上述方式，本实用新型所述的镀膜用水冷磁控溅射靶组件，特别在固定座上设计了条形滑块，既方便了对板状靶材的限位及冷却水孔的加工，又不增加整体的厚度，冷却水孔与冷却水循环管路连接后，通入冷却水，实现条形滑块和固定座的冷却，进而实现板状靶材的降温，而且板状靶材的安装和拆卸比较便利。
一种镀膜水冷磁控溅射组件

[发明专利]靶材与背板的焊接方法及形成的靶材组件-CN201110321235.7有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-10-20 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： B23K28/02 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接方法，包括：在靶材的背面形成多个燕尾槽，在背板的正面形成与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起；将靶材与背板叠合放置，并使燕尾状凸起与燕尾槽咬合在一起；采用静压方式处理靶材与背板中心区域，利用电子束焊接靶材与背板的边缘结合区域本发明还提供一种靶材组件，包括靶材与背板，其中，所述靶材的背面形成有多个燕尾槽，所述背板的正面形成有与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起。采用了本发明的技术方案，可以避免了现有技术中采用钎焊的方式，需采用焊料，降低了成本，且形成的靶材组件不会因焊料限制而影响出口，且实现了环保目的，同时避免了采用实现条件要求较高的热等静压焊，工艺简单易操作
背板焊接方法形成组件

[实用新型]靶材固定结构-CN201220082526.5有效
发明人：张元铭;廖泯谚 -专利权人：张元铭;廖泯谚
申请日： 2012-03-07 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型是有关于一种靶材固定结构，包括：一靶材壳体，包括一壳主体及至少一外盖，该壳主体内具有一容置空间，该外盖是配置于该容置空间的一侧并构成一开口；一靶材，是设置于该靶材壳体的壳主体的容置空间内；一靶材固定组件，是配置于该壳主体的该容置空间内并固定该靶材；以及一绝缘件，是配置于该壳主体的该容置空间内，并将该靶材固定组件与该靶材壳体的壳主体绝缘；其中，该构成开口的靶材壳体的外盖的边缘是呈下述形状中的其中一种：一斜切状(例如，弧形的斜切状)、一具有多个切口的形状、或一呈斜切状并具有多个切口的形状。
固定结构

[实用新型]Ag靶材-CN201220027579.7有效
发明人：董清世;张洪;王小成 -专利权人：信义节能玻璃（芜湖）有限公司
申请日： 2012-01-20 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空磁控溅射技术中靶材结构，公开了Ag靶材，置于真空腔室的正交电磁场的阴极上，包括数个依序相接围成环形结构的靶材块，所述分别置于两端部的靶材块为呈直角弯折状的弯折靶材块。本实用新型中的Ag靶材为数个靶材块相接形成环形结构，且两端部的靶材块为呈直角弯折状的弯折靶材块，这样，可将Ag靶材端部的靶材间隙减少为一个，且Ag靶材的中间区域同一位置上的靶材间隙也减少了，这样，可以大大提高由该Ag靶材产生的金属膜层的均匀性，使得整个镀膜产品的外观颜色质量较高，且色道现象不明显，同时，也大大缩短了镀膜产品的加工工时，降低企业的生产成本。
ag 靶材

[发明专利]溅射靶-CN200880001823.9有效
发明人：古贺阳一;池东求 -专利权人：株式会社三井金属韩国
申请日： 2008-08-19 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供一种在由相互之间厚度不同的分割靶材构成的溅射靶中，能够容易地从各分割靶材的邻接部所形成的间隙中去除粘合材料的溅射靶。本发明的溅射靶是一种通过粘合材料，将由多个分割靶材构成的靶材与背板接合为一体的溅射靶，其特征在于，所述背板被形成为截面呈近似凸状，同时在所述分割靶材中的设置于所述溅射靶端部的端部分割靶材被形成为，截面呈近似L字状，并且所述端部分割靶材之外的分割靶材被形成为平板状。
溅射

[发明专利]溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法-CN201010517967.9有效
发明人： W·R·辛普森;韩淳锡 -专利权人： TCB韩国公司
申请日： 2010-10-25 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明涉及溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法。溅镀用旋转靶材的粘接方法包括如下步骤：(a)将背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟并熔融的同时，利用刷子或超声波表面处理器机进行表面处理；(c)冷却经表面处理的背板和靶材；(d)在经冷却的背板的外周面上结合靶材并固定于平板上；(e)将固定的背板和靶材加热至一定温度以上；(f)在加热背板和靶材的同时，使其振动；(g)在加热并振动背板和靶材的同时，向背板和靶材的空间投入粉末状媒介粉末；(h)熔融投入铟并使其均匀分布；及(i)在停止加热及振动背板和靶材的状态下进行冷却。
溅镀用旋转接合利用上述合成物靶材粘接方法

[发明专利]激光转印方法-CN202110326858.7在审
发明人：沈梦超;曹育红;符黎明 -专利权人：常州时创能源股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光转印方法，将板状非晶硅靶材分出多个转印区域，通过调整靶材位置使靶材上的转印区域依次得到激光照射，在保证转印效果的同时实现靶材的多次利用，能够大幅降低靶材的成本。
激光方法

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