专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种锌镁靶材及其制备方法-CN202111050306.4有效
  • 黄宇彬;余飞;童培云;朱刘 - 先导薄膜材料(广东)有限公司
  • 2021-09-08 - 2023-10-17 - C23C14/34
  • 本发明涉及靶材技术领域,公开了一种锌镁靶材及其制备方法,其中,其制备方法包括以下步骤:将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼,融化后充分搅拌并保温,得到混合熔炼液;将混合熔炼液进行浇注,形成锌镁合金压料;将锌镁合金压料加热,加热后通过一号模具进行挤压,得到第一挤压料;依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压,得到靶材毛胚;对靶材毛坯进行机加工,得到锌镁靶材。采用本发明的制备方法制作的锌镁靶材,其内部物缺陷,致密度较高,平均晶粒小于200微米,采用此锌镁靶材进行溅射,均匀并细小的晶粒不仅有助于获得膜厚均匀统一的薄膜功能层,且可避免溅射过程中发生放电及点火现象。
  • 一种锌镁靶材及其制备方法
  • [发明专利]一种合金铸锭缺陷修复方法及一种合金铸锭-CN202310711504.3在审
  • 岳晓聪;黄宇彬;李明山;童培云 - 先导薄膜材料(安徽)有限公司
  • 2023-06-15 - 2023-10-03 - B22D27/08
  • 本发明属于合金铸锭废品回收加工技术领域,公开了一种合金铸锭缺陷修复方法及一种合金铸锭,该合金铸锭缺陷修复方法包括如下步骤:步骤1:将内部含有缩松和/或气孔的合金铸锭放入浇铸模具内升温软化;步骤2:待合金铸锭软化后振动浇铸模具,并下压铸锭表面;步骤3:降温,取出合金铸锭;其中,振动的振动频率为35‑40kHZ;所述步骤2下压铸锭表面的具体操作为:采用干净怵头在铸锭表面向下压5次,每次下压的压力为200‑300公斤力,下压时间为2‑4s,相邻的两次下压时间间隔为10‑12s;所述合金铸锭为至少含有镍、铬、铝、钇金属的合金铸锭。本发明通过振动浇铸模具和下压铸锭表面结合对合金铸锭施力,合金铸锭内部的缩松、气孔等缺陷减少,修复合金铸锭的缺陷。
  • 一种合金铸锭缺陷修复方法
  • [发明专利]一种平面靶材的绑定方法-CN202210649943.1有效
  • 黄宇彬;童培云 - 先导薄膜材料(安徽)有限公司
  • 2022-06-09 - 2023-09-29 - C23C14/34
  • 本发明涉及平面靶材技术领域,提供了一种平面靶材的绑定方法,包括步骤:S1、在靶坯的连接面和背板的连接面分别开设相对应的锥孔;S2、在靶坯的连接面和背板的连接面各涂抹一层锡层;S3、将靶坯和背板加热,靶坯的锥孔和背板的锥孔受热膨胀;S4、将连接销钉的一端插入靶坯的锥孔,另一端插入背板上对应的锥孔;并将靶坯的连接面和背板的连接面紧贴;S5、将靶坯和背板冷却,靶坯和背板的锥孔收缩,将连接销钉拉紧,实现靶坯和背板自动对心,并实现逐步拉紧,最终完成平面靶材的绑定。本发明工艺简单方便,成本低,且绑定稳固,适用范围广。
  • 一种平面绑定方法
  • [发明专利]一种CdIn合金靶材及其制备方法-CN202210029388.2有效
  • 余飞;江佩庭;黄宇彬;童培云;朱刘 - 先导薄膜材料(安徽)有限公司
  • 2022-01-11 - 2023-09-29 - C23C14/34
  • 本发明提供了一种CdIn合金靶材及其制备方法,属于靶材制备领域。本发明制备CdIn合金旋转靶通过熔炼法制备,简单快速,成本低廉。本发明制备方法不受制于热压烧结设备及烧结模具的限制,可实现尺寸和形状的自由调整。本发明铸造法制备的靶材具有较高的密度,致密度接近100%,明显优于烧结法制备的掺铟氧化镉靶材95%的致密度。铸造CdIn合金靶材较大程度保留了合金的金属性能,具有良好的塑性和韧性,克服了烧结法制备的掺铟氧化镉靶材脆性极大,磕碰及靶材溅射过程工艺控制稍微不良就可能造成开裂导致报废靶材的缺点。
  • 一种cdin合金及其制备方法
  • [发明专利]中空背板的靶材绑定方法-CN202210287868.9有效
  • 行卫东;董亚栋;黄宇彬;童培云 - 先导薄膜材料(安徽)有限公司
  • 2022-03-16 - 2023-09-29 - C23C14/34
  • 本发明涉及金属靶材制备技术领域,公开了一种中空背板的靶材绑定方法,包括以下步骤:制作与背板匹配的垫块;将所述垫块和靶坯放置于加热桌,将所述背板套装于所述垫块;打开所述加热桌进行加热,将所述背板和所述靶坯升温至预设温度;在所述加热桌上进行所述靶坯和背板的绑定;将绑定完成的所述靶材冷却至室温,对绑定完成的所述靶材进行检测。上述方法提高了温度传递的效率,可以提高背板绑定面各部位温度的均匀性,减少了空鼓的出现,从而避免靶材绑定失败后的多次退绑、再绑定工序,减少了铟焊料的使用以及人工成本,极大节约了经济成本;有效的减少了铟焊料的氧化,显著提高了焊合率以及焊接强度。
  • 中空背板绑定方法
  • [发明专利]一种铝蒸发料及其制备方法-CN202310691432.0在审
  • 余恒飞;黄宇彬;童培云 - 先导薄膜材料(广东)有限公司
  • 2023-06-12 - 2023-09-19 - B22F9/04
  • 本发明涉及蒸发料生产技术领域,公开了一种铝蒸发料的制备方法,包括以下步骤,将铝锭连铸为直径8mm的铝棒;对铝棒进行退火处理;将退火处理后的铝棒一端轧尖;将轧尖后的铝棒在拉丝机上进行拉拔,且拉拔的单道次变量为20~30%,重复拉拔2~10次,且拉拔总变量低于98%,得到铝丝;将铝丝切断,得到铝颗粒;将铝颗粒清洗、干燥,得到铝蒸发料;通过上述方法,不仅制得了表面质量良好的铝蒸发料,同时,我们惊喜地发现,并非单道次变形量越小,拉拔道次越多,铝蒸发料的表面质量越好。
  • 一种蒸发料及制备方法
  • [发明专利]一种用于旋转靶材的钛背管的制备方法-CN202310249873.5在审
  • 黄宇彬;谭雪清;童培云 - 先导薄膜材料(安徽)有限公司
  • 2023-03-15 - 2023-09-05 - B23P15/00
  • 本发明涉及溅射靶材技术领域,提供了一种用于旋转靶材的钛背管的制备方法,包括以下步骤:将无缝钛管的一端采用三爪中空卡盘固定在机床上,用带滚轮的中心架压紧钛管的外表面,加工内径;将加工好的钛管固定在数控机床上,加工钛管的外表面,加工过程中采用跟刀架紧跟刀具;放入热处理炉中进行热处理;然后采用液压校平机对钛管进行校直;装配法兰、螺纹堵头,抽真空后,对法兰、螺纹堵头进行焊接;最后气密性检测,焊缝抛光。本发明通过采用带滚轮的中心架和跟刀架来对钛管的内径和外表面进行加工,加工后钛管壁厚均匀性更好,再通过热处理和校直后,通过设置特定的转速和电流,在电子束焊接设备内进行焊接,保证焊接效果和焊接后的接头强度。
  • 一种用于旋转钛背管制备方法
  • [发明专利]一种靶材组件的摩擦焊接方法-CN202210029513.X有效
  • 黄旭东;黄宇彬;童培云;朱刘 - 先导薄膜材料(安徽)有限公司
  • 2022-01-11 - 2023-09-05 - B23K20/12
  • 本发明涉及焊接技术领域,公开了一种靶材组件的摩擦焊接方法,本摩擦焊接方法利用高速旋转的靶材与背板摩擦产生的热量使第一凸台和第二凸台局部熔化,并在焊具的挤压下形成致密的固相焊缝,相较于钎焊而言,本摩擦焊接方法通过熔化形成焊接结合层,比钎焊的铟结合强度更高,耐高温性能更好,不易脱焊;相较于电子束焊接而言,第一凸台和第二凸台的焊接区域更大,也即,冶金结合的面积更大,整体强度更高;相较于扩散焊接而言,本摩擦焊接方法耗时更短,且无需采用惰性气体或其他工作条件进行保护,成本较低;其次,本摩擦焊接方法摩擦力较小,对设备要求较低,能耗较低,且焊接耗时更短,并且,小面积的接触摩擦不易导致靶材或背板整体变形。
  • 一种组件摩擦焊接方法

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