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[发明专利]快速热处理腔室-CN201610048304.4有效
发明人：柯克·莫里茨;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施方式大体涉及RTP腔室。该腔室通常包括腔室主体和腔室盖。该腔室主体包括基板支撑件，该基板支撑件具有多个电阻式加热器区域，以加热定位在该基板支撑件上的基板。该腔室主体视情况也包括冷却通道和热绝缘衬里，冷却通道用于缓和热应力，热绝缘衬里设置在该腔室主体中以容纳热处理期间产生的热。该腔室盖包括盖主体和反射板，该盖主体具有穿过该盖主体的开口，该反射板设置在该开口内。多个高温计定位在该反射板内，以在遍及该基板的多个位置处测量与基板支撑件的这些区域对应的基板的温度。
快速热处理

[发明专利]快速热处理腔室-CN201280048459.8有效
发明人：柯克·莫里茨;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明的实施方式大体涉及RTP腔室。该腔室通常包括腔室主体和腔室盖。该腔室主体包括基板支撑件，该基板支撑件具有多个电阻式加热器区域，以加热定位在该基板支撑件上的基板。该腔室主体视情况也包括冷却通道和热绝缘衬里，冷却通道用于缓和热应力，热绝缘衬里设置在该腔室主体中以容纳热处理期间产生的热。该腔室盖包括盖主体和反射板，该盖主体具有穿过该盖主体的开口，该反射板设置在该开口内。多个高温计定位在该反射板内，以在遍及该基板的多个位置处测量与基板支撑件的这些区域对应的基板的温度。
快速热处理

[发明专利]基板处理装置及具备基板处理装置的基板处理系统-CN202110899932.4在审
发明人：严永堤;丘峻宅;朴玩哉;金东勳;李城吉;李知桓;吴东燮;卢明燮;金杜里 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供能够改变诸如退火腔室的热处理腔室的数量的基板处理装置及具备基板处理装置的基板处理系统。所述基板处理装置包括：第一腔室，对基板进行热处理；以及第二腔室，以热处理之外的其它方式处理基板，其中，第一腔室的数量根据需要对基板进行热处理的第二腔室的数量而改变。
处理装置具备系统

[实用新型]一种镁合金热处理装置-CN202121874348.5有效
发明人：王洋;张婉如 -专利权人：郑州中安金属高新材料有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C22F1/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种镁合金热处理装置，涉及镁合金生产技术领域，该一种镁合金热处理装置，包括上端开口的热处理腔室以及盖合在热处理腔室开口上的顶盖，所述热处理腔室的底部设置有控制腔室，所述顶盖的内底壁固定连接有凸台，所述凸台的上表面开设有连通槽，所述热处理腔室通过连通槽与控制腔室连通，所述连通槽的内部设置有与凸台形状相匹配的密封板，所述密封板的上表面固定连接有用于放置镁合金的置物架；启动伸缩部件带动密封板、顶盖以及置物架竖直向上运动，直至置物架脱离热处理腔室，因此方便卸料，同理，将待热处理的镁合金放置在置物架上，密封板、顶盖以及置物架在伸缩部件的作用下进入至热处理腔室的内部，方便上料。
一种镁合金热处理装置

[实用新型]药芯焊丝/焊带的热处理装置、药芯焊丝/焊带生产线-CN202221118436.7有效
发明人：程亚芳;张冠星;常云峰;刘晓芳;薛行雁;赵丹;董宏伟 -专利权人：郑州机械研究所有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C21D9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及药芯焊丝/焊带的热处理，特别涉及药芯焊丝/焊带的热处理装置、药芯焊丝/焊带生产线。药芯焊丝/焊带的热处理装置包括热处理腔室，热处理腔室上设有供保护气体通入以防止药芯焊丝/焊带氧化的保护气进口，还设有供药芯焊丝/焊带从热处理腔室中穿过的焊料穿入口和焊料穿出口；热处理装置还包括激光器，热处理腔室上设有供激光器产生的激光射入以对药芯焊丝/焊带进行表面热处理的激光透射窗口，激光透射窗口密封连接在热处理腔室上以使热处理腔室保持封闭。本实用新型能够解决现有的热处理装置容易造成药芯受热融化，并且清洗时容易导致药芯潮湿的问题。
焊丝热处理装置生产线

[发明专利]热处理装置和热处理方法-CN201811203507.1有效
发明人：王肖义;周波;李青;张广涛 -专利权人：东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C03B25/00 文献下载
摘要：本发明涉及热处理领域，公开了一种热处理装置和热处理方法，所述热处理装置包括：热处理腔室(1)，所述热处理腔室设置有加热件；分隔件(2)，所述分隔件将所述热处理腔室分隔为缓冲室(12)和加热室(11)，所述分隔件具有导通所述加热室和所述缓冲室的导通位置和分隔所述加热室和所述缓冲室的分隔位置；以及载物台(10)，所述载物台能够在所述热处理腔室内移动，其中，当所述分隔件处于所述导通位置时，所述载物台能够在所述加热室和所述缓冲室之间切换。本发明所提供的热处理装置的操作简单，且可精确、稳定实现工件的加热、冷却，有助于获取更加准确的试验数据，提高产品质量。
热处理装置方法

[实用新型]基板处理装置-CN201720922591.7有效
发明人：谢伊·阿萨夫;安德鲁·康斯坦特;雅各布·纽曼;查尔斯·卡尔森;威廉·泰勒·韦弗;史蒂芬·希克森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本公开内容涉及基板处理装置。本文提供用于处理基板的方法和装置。在一个实施方式中，装置包括耦接至传送腔室的装载锁定腔室。传送腔室耦接至热处理腔室，并且基板在装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室中的各个之间传送。在其他实施方式中，公开具有装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室的处理平台。本文也描述经由传送腔室的抽空测量装载锁定腔室中的氧浓度的方法。
处理装置

[发明专利]改良的热处理腔室-CN201710619838.2在审
发明人：约瑟夫·M·拉内什;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-03-11 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：描述于此的实施方式提供一种基板处理设备，所述基板处理设备包括真空腔室，所述真空腔室包括第一拱形结构和第二拱形结构；基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述真空腔室内部的所述第一拱形结构和所述第二拱形结构之间
改良热处理

[发明专利]晶圆热处理腔室-CN201811063808.9在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种晶圆热处理腔室，属于半导体技术领域。该腔室包括：壳体；载物台，设于所述壳体内；加热装置，至少部分设于所述壳体内，用于对所述载物台上的物体加热；测温装置，至少部分设于所述壳体内；阻隔板，设于所述载物台与所述测温装置之间。本公开可以降低热处理过程中晶圆残留物质挥发的气体对于热处理腔室控温精度的影响，改善晶圆热处理效果。
热处理

[实用新型]晶圆热处理腔室-CN201821502339.1有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆热处理腔室，属于半导体技术领域。该腔室包括壳体；载物台，设于所述壳体内；加热装置，至少部分设于所述壳体内，用于对所述载物台上的物体加热；测温装置，至少部分设于所述壳体内；阻隔板，设于所述载物台与所述测温装置之间。本实用新型可以降低热处理过程中晶圆残留物质挥发的气体对于热处理腔室控温精度的影响，改善晶圆热处理效果。
热处理腔室晶圆本实用新型测温装置体内分设半导体技术领域热处理过程热处理效果加热装置物体加热载物台阻隔板挥发壳体控温腔室种晶残留

[发明专利]改良的热处理腔室-CN201580009756.5有效
发明人：约瑟夫·M·拉内什;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-03-11 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：描述于此的实施方式提供一种基板处理设备，所述基板处理设备包括：真空腔室，所述真空腔室包括第一拱形结构和第二拱形结构；基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述真空腔室内部的所述第一拱形结构和所述第二拱形结构之间
改良热处理

[实用新型]一种无氧铜焊丝保护气热处理系统-CN201920390500.9有效
发明人：李文 -专利权人：芜湖云邦铜业有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： C21D9/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无氧铜焊丝保护气热处理系统，包括热处理腔室、设置于所述热处理腔室下方的过渡腔室、以及保护气输送管，所述热处理腔室的底壁设置有连通所述过渡腔室顶部的上进丝孔和上出丝孔，所述过渡腔室的底壁设置有下进丝孔和下出丝孔，所述保护气输送管包括位于所述过渡腔室中的竖直预热段和位于所述过渡腔室外的外部输气段，所述竖直预热段的下端穿过所述过渡腔室的底壁连接所述外部输气段，所述竖直预热段的上端穿过所述过渡腔室的底壁连通所述热处理腔室本实用新型提供的一种无氧铜焊丝保护气热处理系统，具有较低的惰性气体消耗量、抗氧化保护效果较好、且可以降低热处理作业的能耗。
过渡腔室热处理腔室保护气底壁竖直预热段焊丝本实用新型热处理系统出丝孔输送管无氧铜输气连通惰性气体消耗量抗氧化保护热处理作业穿过上端过渡腔进丝孔外部丝孔下端能耗室外

[实用新型]基板传送装置和基板处理装置-CN201820553227.2有效
发明人：谢伊·阿萨夫;安德鲁·康斯坦特;雅各布·纽曼;查尔斯·卡尔森;威廉·泰勒·韦弗;史蒂芬·希克森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容涉及基板传送装置和基板处理装置。本文提供用于处理基板的方法和装置。在一个实施方式中，装置包括耦接至传送腔室的装载锁定腔室。传送腔室耦接至热处理腔室，并且基板在装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室中的各个之间传送。在其他实施方式中，公开具有装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室的处理平台。本文也描述经由传送腔室的抽空测量装载锁定腔室中的氧浓度的方法。
传送腔室锁定腔室热处理腔室装载基板处理装置基板传送装置耦接方法和装置处理基板处理平台基板抽空测量传送

[实用新型]一种不锈钢焊管热处理设备-CN202220830646.2有效
发明人：窦长林 -专利权人：江苏安惠环境设备科技有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： C21D9/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及不锈钢焊管热处理设备技术领域，且公开了一种不锈钢焊管热处理设备，包括不锈钢焊管热处理箱体，不锈钢焊管热处理箱体的内腔上方设置有热处理腔室，热处理腔室的中部设置有不锈钢焊管盛放升降机构，不锈钢焊管盛放升降机构相邻一侧安装有隔热室，热处理腔室的下方固定连接有冷却隔板，冷却隔板的底部固定连接有冷却腔室。该不锈钢焊管热处理设备，通过不锈钢热处理室与冷却腔室可实现贯通，热处理后即可将冷却室打开，通过开启风机，两侧的风机对吹，可以将冷却隔板内部空气冷却，冷风通过活动板打开的间隙传入到不锈钢焊管盛放升降机构的内部
一种不锈钢热处理设备

[实用新型]一种热处理装置-CN201920870303.7有效
发明人：周思源 -专利权人：量伙半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热处理装置，包括热处理腔室、加热器和固定装置，热处理腔室包括上腔室和下腔室；上腔室的侧壁至少设有一组固定孔，加热器设置于固定孔中，加热器的末端从固定孔中伸出，并延伸至固定装置的外部；热处理对象位于下腔室中；固定装置连接于热处理腔室的外壁，用于将加热器固定在固定孔内。本实用新型的有益效果在于，加热器的双层设置，使热处理腔室内温度均匀，满足工艺需求，风冷组件和加热器固定装置利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。
一种热处理装置

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