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[实用新型]高周波热处理设备-CN201420389001.5有效
发明人：蔡世财 -专利权人：耐落螺丝（昆山）有限公司
申请日： 2014-07-15 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： C21D1/42 文献下载
摘要：一种高周波热处理设备，其包含：一高周波热处理机台；一纯水循环机台，其与该高周波热处理机台相连通；一与纯水循环机台相连通的抽水部；一与抽水部相连通的热交换部，其包含一内部水路，该内部水路包含一入口端与一出口端，该入口端与该抽水部相连通，该出口端则连通至该高周波热处理机台。本实用新型的纯水循环机台内有纯水，且纯水仅得以于该高周波热处理设备中流动，借此避免外部水源杂质混入纯水中的机会，进而减少该高周波热处理机台故障的机率。
周波热处理设备

[发明专利]一种晶片快速热处理机台-CN201210295721.0有效
发明人：张二雄;胡德明;林伟旺;徐家俊;陈元满 -专利权人：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
申请日： 2012-08-17 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片快速热处理机台，用以实现不同类型的晶片经相同快速热处理工艺后，晶片的表面实际温度准确升高到晶片快速热处理机台预设的晶片的表面温度值。所述晶片快速热处理机台，包括：机台主体、反应室、晶片支撑架、温度探测器，所述晶片快速热处理机台还包括晶片样片承载装置以及晶片样片；所述晶片样片承载装置，设置于所述反应室内，用于承载所述晶片样片；所述温度探测器
一种晶片快速热处理机台

[发明专利]一种热处理机台实际工作温度的确定方法-CN202010719460.5有效
发明人：侯潇;王秉国;佘晓羽 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请实施例公开一种热处理机台实际工作温度的确定方法，所述方法包括：提供半导体结构，所述半导体结构包括离子注入层；将所述半导体结构放置到热处理机台中进行热处理；所述热处理机台的设定温度为第一温度，所述热处理机台的实际工作温度为第二温度；对热处理后的所述离子注入层进行二次离子质谱SIMS分析，以得到测试SIMS曲线；所述测试SIMS曲线对应于所述第二温度；获取所述第一温度对应的第一参考SIMS曲线；根据所述测试SIMS曲线与所述第一参考SIMS曲线，确定所述热处理机台的实际工作温度与设定温度之间的关系。
一种热处理机台实际工作温度确定方法

[发明专利]热处理机台的温度监测方法及校正方法-CN202111582777.X在审
发明人：冯木材;黄家明;陶卓;朱上进 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理机台的温度监测方法及校正方法。其中，所述监测方法是通过获取待监测热处理机台的标准曲线，并以此为基准，将测量得到的所述特征值，代入所述标准曲线，获得理想的所述第一标准温度。继而，直接将热处理机台的设定温度与所述第一标准温度进行比较，则根据所述偏差值判断出所述热处理机台的温控能力。其中，所述标准曲线为拟合曲线，对应的温度变化范围广，不受晶圆上膜层材质的影响。因此，本发明不但可以精准监测热处理机台的温控能力，而且监测成本低，监测范围广，操作简单。
热处理机台温度监测方法校正

[发明专利]用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法-CN201410187492.X有效
发明人：谭秀文;雷声宏 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2014-05-05 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法。该方法包括提供校准基片，所述校准基片上设置有用于测量校准基片的温度的热电偶；将校准基片放置在MASSON快速热处理机台内的支撑装置上；对校准基片进行模拟热处理，同时通过设置在支撑装置下方的高温计和热电偶分别采集校准基片的读出温度曲线和实际温度曲线；基于读出温度曲线和实际温度曲线生成校温曲线；以及调整MASSON快速热处理机台内的上加热装置和下加热装置的功率，对校温曲线进行闭环验证，至高温计的读出温度曲线和热电偶的实际温度曲线在热处理的主工艺阶段匹配所述方法能够实现MASSON快速热处理机台的温度校准，且成本低。
用于 masson 快速热处理机台温度校准方法

[实用新型]快速热处理机台滚珠的装卸工具-CN201020261331.8有效
发明人：许鹖 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2010-07-16 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本实用新型提供一种快速热处理机台滚珠的装卸工具，包括装卸圆环，所述装卸圆环包括若干小块和若干弹簧，相邻小块之间通过弹簧连接，每个小块底面设有第一圆弧形凹槽和第二圆弧形凹槽，每个小块的第一圆弧形凹槽与相邻小块的第二圆弧形凹槽相匹配构成一个装卸凹槽，每个所述装卸凹槽与所述快速热处理机台的一个滚珠相匹配。本实用新型中所述快速热处理机台滚珠的装卸工具可将所述滚珠从所述快速热处理机台中夹起，使不容易拆卸与安装的滚珠可以同时拆卸、清洗和安装，方便操作，提高工作效率。
快速热处理机台滚珠装卸工具

[发明专利]快速热处理机台的调机方法-CN201711127739.9有效
发明人：范世炜;张凌越;国子明;姚雷 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种快速热处理机台的调机方法，根据快速热处理机台中热源单元对应照射到的基底上的位置，在所述基底上选取与热源单元的排列方式相匹配的测量点；再根据基底的方块电阻与温度的关系，可以得到所述基底的温度分布情况采用本发明提供的调机方法，所获得的基底温度分布更为均匀准确，进而减少了重复调机次数，降低了快速热处理机台的日常维护工作的难度。
快速热处理机台方法

[发明专利]快速热处理机台-CN200510107197.X有效
发明人：陈荣哲 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2005-09-28 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种快速热处理机台，其包括一机壳，一设置于该机壳内用以容置晶片的反应室，一设置于该机壳前端的舱门，一用以输入和输出该晶片至该反应室内的传送装置，一设置于该机壳前端并邻近该舱门的前抽气阀门，一设置于该反应室内用以送入净空气体至该反应室内的送气阀门
快速热处理机台

[发明专利]一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法-CN201410187232.2有效
发明人：谭秀文;雷声宏 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2014-05-05 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：公开一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法。其包括提供具有第一高温计的参考机台、具有第二高温计的待校准机台和具有热电偶的校准基片；将校准基片置于参考机台内；在预定热处理菜单下对校准基片进行热处理，通过热电偶测量校准基片的第一温度曲线；将校准基片置于待校准机台内，并将预定热处理菜单复制到待校准机台，在待校准机台内在预定热处理菜单下对校准基片进行热处理；在待校准机台的校温菜单内根据第二高温计和热电偶测得的温度曲线绘制校温曲线；在待校准机台的调节菜单内调整校温曲线的偏移量，使热电偶测量的校准基片的第二温度曲线与第一温度曲线在主工艺阶段匹配，得到校准后的热处理菜单。
一种用于 masson 快速热处理机台温度校准方法

[实用新型]一种快速热处理机台反射面板的清洁装置-CN201020266016.4有效
发明人：许鹖 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2010-07-21 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种快速热处理机台反射面板的清洁装置，反射面板由固定环固定在快速热处理机台上，该清洁装置包括外盘与内盘，外盘与固定环匹配，外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；内盘与反射面板匹配，内盘的表面包裹清洁布
一种快速热处理机台反射面板清洁装置

[发明专利]半导体生产设备及晶圆背面清洁方法-CN201910213176.8在审
发明人：宋祖坤;顾婷婷 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体生产设备及晶圆背面清洁方法，半导体生产设备包括第一处理机台、第二处理机台、第一机械手臂及风刀；第二处理机台位于第一处理机台一侧，且与第一处理机台相邻接，第二处理机台与第一处理机台的邻接处设有密封门，第一机械手臂位于第一处理机台内，风刀位于第一处理机台内，且位于密封门外侧下方及第一机械手臂的下方。本发明的半导体生产设备通过在第二处理机台的外侧设置风刀，可以在晶圆传送至第二处理机台内之前对晶圆的背面使用干燥气体进行吹扫清洁，以去除晶圆背面的微粒，从而减少甚至避免缺陷的产生，提高产品的良率。
半导体生产设备背面清洁方法

[实用新型]热处理机台加装压线导轮装置-CN201822110827.4有效
发明人：刘成洋;王洋 -专利权人：大同不锈钢（大连）有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： B65H54/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热处理机台加装压线导轮装置，包括入线导轮，所述入线导轮的一侧设有线型调整导轮组，所述线型调整导轮组远离入线导轮的一侧设有模具盒，所述模具盒的下方设有压线导轮，所述压线导轮的一侧设有副机马达
副机压线线釜入线导轮储料架导轮本实用新型热处理机台导轮装置移动滚轮导轮组减速机模具盒打滑加装线材马达架子主机马达掉线支架轨道

[发明专利]一种批处理机台派货的方法和装置-CN201110115247.4有效
发明人：吕庆麟;陈波;范安涛;钱红兵;赵晨 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-05-05 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种批处理机台派货的方法和装置，该方法通过比较每个晶片组在批处理机台中执行工序的配方参数和该批处理机台的待处理晶片组的当前配方参数，优先处理配方参数相同晶片组的当前工序，向批处理机台派货，使得批处理机台尽快得到能够和待处理晶片组一起批处理的晶片组，从而减少了派货的等待时间，保证派货的正确性和灵活性，避免由于缺少可供批处理的晶片组派货使批处理机台无法进行批处理的问题，因此提高了生产效率节约了半导体制造的成本。
一种批处理机台方法装置

[实用新型]一种高保温热处理设备-CN201720438121.3有效
发明人：齐敬柏 -专利权人：辽宁康达装备工程机械有限公司
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： C21D1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高保温热处理设备，涉及一种建筑设备技术领域。该实用新型包括输送装置、高周波热处理机构和冷却机构，输送装置分别与高周波热处理机构、冷却机构连接，高周波热处理机构包括第一高周波热处理机、第二高周波热处理机、第三高周波热处理机、第四高周波热处理机，第一高周波热处理机和第二高周波热处理机设置在冷却机构的前端，第三高周波热处理机和第四高周波热处理机设置在冷却机构的后端，冷却机构包括冷却水箱、冷却水循环机、冷却器和循环水管路，循环水管路包括进水管和出水管，进水管、冷却器、冷却水循环机、出水管、冷却水箱依次连通本实用新型设备结构简单、操作方便、成本低廉、热处理效果好。
高周波热处理机冷却机构热处理机构冷却水循环机保温热处理本实用新型循环水管路冷却水箱输送装置出水管进水管冷却器热处理效果建筑设备设备结构依次连通

[实用新型]一种环保型钢丝热处理生产线-CN202223514317.6有效
发明人：俞永高;顾宵虎;周海东 -专利权人：江苏能达线材制品有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C21D9/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种环保型钢丝热处理生产线，包括钢丝初处理机体和钢丝热处理机，所述钢丝初处理机体的外侧设置有钢丝热处理机，所述钢丝热处理机的外侧设置有钢丝热处理拉伸机，所述钢丝热处理拉伸机的外侧设置有表面杂质处理机体，所述表面杂质处理机体的外侧设置有水冷处理机体，所述水冷处理机体的外侧设置有涂层加工机体，所述涂层加工机体的外侧设置有钢丝收卷机体。本实用新型公开的环保型钢丝热处理生产线具有在处理外部杂质的时候更加高效的技术效果。
一种环保型钢热处理生产线

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