专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]抗蚀组合-CN200380102724.7无效
  • 川口泰秀;金子勇;武部洋子;冈田伸治;横小路修 - 旭硝子株式会社
  • 2003-11-06 - 2005-12-21 - G03F7/039
  • 提供抗蚀组合,该组合易形成抗蚀图案,对F2缔合(excimer)激光等真空紫外线透明性、干蚀刻性能优良,且感光度、析像度、平坦性、耐热性等也良好。该抗蚀组合的特征在于包括含氟聚合(A)、受光照射产生酸的产酸化合(B)以及有机溶剂(C),该含氟聚合(A)含有一个被保护保护的酸性,该保护含有环烷基、有一个或多个环烷基的有机、双环烷基等
  • 组合

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