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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种快速响应的油中水分湿敏电容-CN202010539308.9在审
发明人：侯智昊 -专利权人：沈阳航空航天大学
申请日： 2020-06-14 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速响应的油中水分湿敏电容，包括：透气上电极、湿敏材料、下电极、衬底和加热单元，其中，所述加热单元设置于湿敏材料的下方，用于对湿敏材料加热，以提高湿敏材料的吸湿脱湿速度。该快速响应的油中水分湿敏电容通过引入加热单元，可以提高湿敏材料的吸湿脱湿速度，进而达到提高湿敏电容在油液等复杂环境下的响应速度的效果。
一种快速响应水分电容

[发明专利]一种湿度测量装置及方法-CN200910243831.0有效
发明人：付俊;常伟;于连波 -专利权人：北京宝力马传感技术有限公司
申请日： 2009-12-23 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种湿度测量装置，所述装置包括：电容测量单元，用于通过湿敏电容和参考电容分别输出所述湿敏电容和参考电容的频率信号；微控制器，用于根据所述湿敏电容和参考电容的频率信号，获得根据所述湿敏电容和参考电容的频率值，利用所述湿敏电容和参考电容的频率差值与湿度值的线性函数关系，获得当前环境湿度值。
一种湿度测量装置方法

[发明专利]一种耐腐蚀的油中水分湿敏电容-CN202010661765.5在审
发明人：王文林;侯智昊;郭月华;庞健;张丹;高云端 -专利权人：中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所;中航高科智能测控有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术领域，涉及一种耐腐蚀的油中水分湿敏电容；包括耐腐蚀透气保护膜(1)、透气金属上电极(2)、湿敏材料(3)、下电极(4)、衬底(6)、湿敏电容的电极焊盘(5)；本发明通过改进湿敏电容结构并在透气金属上电极的上表面引入了耐腐蚀透气保护膜，当水分子透过耐腐蚀透气保护膜(1)和透气金属上电极(2)进入湿敏材料后，将改变湿敏材料(3)的介电常数，进而改变下电极(4)和透气金属上电极(2)构成平板电容的电容值，实现对油中水分含量的检测，避免腐蚀性油液对湿敏薄膜的腐蚀，提高湿敏电容在腐蚀性油液中的可靠性、稳定性的关键技术指标。
一种腐蚀水分电容

[实用新型]一种基于线路板基材的湿敏电容传感器-CN202120569340.1有效
发明人：付俊 -专利权人：宝力马（苏州）传感技术有限公司
申请日： 2021-03-20 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及湿敏电容技术领域，具体为一种基于线路板基材的湿敏电容传感器，包括陶瓷基材线路板，陶瓷基材线路板焊接有第一电极层和第二电极层，第一电极层的上表面涂覆有湿敏电容介质层，湿敏电容介质层的上表面涂覆有湿敏电容透气电极层的一端，第二电极层的上表面涂覆有湿敏电容透气电极层的另一端，陶瓷基材线路板上电镀有两个过孔导电层，两个过孔导电层分别焊接第一电极层和第二电极层，过孔导电层各焊接有一个电容引出焊盘。本实用新型通过陶瓷基材线路板为基材制备湿敏电容传感器的电极，价格低廉，并通过过孔工艺，实现湿敏电容传感器的电极通过电容引出焊盘引出，具有后续元件应用便捷高效的功能。
一种基于线路板基材电容传感器

[发明专利]一种湿度传感器-CN201710866631.5在审
发明人：张益强 -专利权人：温州益禾电子科技有限公司
申请日： 2017-09-22 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：一种湿度传感器，包括检测装置、控制装置、传输装置，所述检测装置为温敏电容、温敏电阻、感应芯片，控制装置为单片机，传输装置为无线传输装置，所述温敏电阻位于温敏电容的下方，所述温敏电容的上方设有感应芯片，感应芯片上方设有单机片，所述无线传输装置位于单机片内部，本发明的显著优点在于结构简单，设有湿敏电容与湿敏电阻同时测量减少温敏电容不稳定而导致的数据波动，且能保证在湿敏电容与湿敏电阻一个损坏了而还能检测，设有三个灯使用者能够清楚的明白湿度在哪一个范围
一种湿度传感器

[发明专利]一种具有温漂补偿的电容湿度传感器及其制作方法-CN201110456757.8有效
发明人：秦明;周永丽;黄见秋 -专利权人：东南大学
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开一种具有温漂补偿的电容式湿度传感器及其制作方法，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组成，上电极覆盖第一湿敏材料层的下表面，并与下电极形成敏感电容。当环境湿度变化时，第一湿敏材料层和第二湿敏材料层体积变化不同，即引起感湿悬臂的变形，进而带动上电极的变形，使得上电极于下电极之间的电容改变，利用电容值的变化可表征环境湿度的变化。而当环境温度变化时，感湿悬臂的两层湿敏材料层体积变化相同，即达到了温漂补偿的效果，使得本发明具有低温漂的优异性能。
一种具有补偿电容湿度传感器及其制作方法

[实用新型]一种具有温漂补偿的电容湿度传感器-CN201120570163.5有效
发明人：秦明;周永丽;黄见秋 -专利权人：东南大学
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本实用新型公开一种具有温漂补偿的电容湿度传感器，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组成，上电极覆盖第一湿敏材料层的下表面，并与下电极形成敏感电容。当环境湿度变化时，第一湿敏材料层和第二湿敏材料层体积变化不同，即引起感湿悬臂的变形，进而带动上电极的变形，使得上电极于下电极之间的电容改变，利用电容值的变化可表征环境湿度的变化。而当环境温度变化时，感湿悬臂的两层湿敏材料层体积变化相同，即达到了温漂补偿的效果，使得本实用新型具有低温漂的优异性能。
一种具有补偿电容湿度传感器

[发明专利]一种湿度传感器及制备方法-CN201510621633.9有效
发明人：李铭;左青云 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-09-25 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种湿度传感器及制备方法，通过在叉指电极的下方、侧面、上方均设有湿敏材料层，形成将叉指电极包嵌于湿敏材料中的结构，增加了湿敏材料的体积，可增加有效湿敏电容，减小寄生电容，从而提高湿度传感器的灵敏度
一种湿度传感器制备方法

[实用新型]一种温湿度传感器-CN202221712608.3有效
发明人：方智勇;李靖宇;方思成;吕彦博 -专利权人：郑州开物通电子科技有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种温湿度传感器，包括外壳体、探杆、电路板和湿敏电容电极板，所述外壳体上平行设置两个探杆，所述探杆为空心探杆，所述外壳体内设置有电路板，所述电路板上设置有单片机和温湿度传感器，所述温湿度传感器集成有温度传感器，所述单片机与温湿度传感器连接，两个所述探杆内分别放置湿敏电容电极板的正极和负极，探杆内的湿敏电容电极板上设置2‑4个电极，所述电极在湿敏电容电极板上沿长向等距排布，两个探杆内相同位置的两个电极组成一个湿敏电容，所述湿敏电容电极板上的电极与温湿度传感器连接。
一种温湿度传感器

[发明专利]聚酰亚胺湿敏材料及其在电容型湿度传感器的应用-CN201710034625.3在审
发明人：王洋洋;秦浩;海涛;张巍;刘继江;周明军 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2017-01-18 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： C08G73/10 文献下载
摘要：聚酰亚胺湿敏材料及其在电容型湿度传感器的应用，本发明涉及一种电容型湿度传感器的感湿材料，它要解决现有电容型高分子湿度传感器的感湿性能有待提高的问题。本发明聚酰亚胺湿敏材料的化学结构式如下其中A和B均代表含氟基团，A和B的结构通式为CnHmF2n‑m+1。将所述的聚酰亚胺湿敏材料作为感湿膜应用于电容型湿度传感器中。本发明通过调节结构式中亲水‑疏水基团的比例，提高感湿性能，减小湿滞，制备得到的电容型湿度传感器的湿度‑电容曲线的线性相关系数R2≥0.998，显示出良好的感湿性能。
聚酰亚胺材料及其电容湿度传感器应用

[发明专利]一种基于多孔感湿膜的电容式湿敏元件及其制备方法-CN201710039868.6有效
发明人：丁利苹;邵鹏;孙立蓉;张方辉 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2017-01-19 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多孔感湿膜的电容式湿敏元件及其制备方法。该湿敏元件包括两电容极板、设置在所述电容下电容极板内侧的亲水性多孔感湿膜和下电容极板外侧的绝缘层及加热膜、上下电容极板连接电路的引线。所述的电容器由两极薄的金属片电容极板及夹在两极中间的空气制成；所述绝热层材料采用二氧化硅；所述的加热膜为金属薄膜加热材料、优选康铜，通过真空蒸镀的方式制备。该湿敏元件选用多孔皮革为感湿膜，具有加工工艺简单、透气、透湿、水汽交换方便、制造过程中容易添加填充粒子；选用金属薄膜作为加热层使得受热均匀、湿滞小，整个元件具有性能优异、结构简单、价格低廉、适应性极强等优点
一种基于多孔感湿膜电容式湿敏元件及其制备方法

[发明专利]自校准湿度传感器-CN202211203804.2在审
发明人：张宾;邱国财;陈新准;周海岽;石毅;傅凯强 -专利权人：广州奥松电子股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：一种自校准湿度传感器，包括：衬底、涂设在衬底上的第一绝缘层、设置在第一绝缘层上的加热装置、涂设在加热装置上并且与第一绝缘层隔开的第二绝缘层、设置在第二绝缘层上的基准电容及设置在第二绝缘层上并且同时设置在加热装置上方位置的感湿电容感湿电容包括设置在第二绝缘层上的叉指电容及覆盖在叉指电容上的湿敏材料层。通过设置基准电容和感湿电容，通过对感湿电容上的湿敏材料层加热，而使得该湿敏材料层中吸附的水汽蒸发，从而使得感湿电容的电容值回复到最初的无湿状态的数值，并且通过与基准电容进行比较，而实现了对感湿电容参数值的校准
校准湿度传感器

[发明专利]一种湿度传感器及其制备方法-CN202111095878.4在审
发明人：周娜;毛海央;李俊杰;高建峰;杨涛;李俊峰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：一种湿度传感器，包括：半导体衬底；半导体衬底表面形成有介电层；介电层上表面设有金属电容器结构；金属电容器结构上方覆盖有堆叠的多层湿敏层，其中至少一层湿敏层为金属氧化物，至少一层湿敏层为聚酰亚胺；金属电容器结构引出有电极通过设置多层材料不同的湿敏层提升湿度灵敏度，解决了现有传感器灵敏度低的问题，同时采用的湿敏层材料都为CMOS器件常用材料，因此，制备工艺可以与CMOS工艺很好地兼容。
一种湿度传感器及其制备方法

[实用新型]一种湿敏电容-CN201720129655.8有效
发明人：张宾 -专利权人：广州奥松电子有限公司;张宾
申请日： 2017-02-13 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种湿敏电容，其中湿敏电容，包括芯片和壳体；所述芯片封装在壳体中；所述芯片包括上电极、感湿膜、介质层、衬底和下电极；所述感湿膜为有机聚合物感湿膜；所述介质层沉积在衬底的表面；所述感湿膜附着在介质层的表面；所述上电极设置在感湿膜上；所述上电极设有通孔；所述下电极设置在衬底的下方；所述介质层为氮化硅或氧化硅介质层；所述衬底为单晶硅衬底；该湿敏电容功耗小，灵敏性强，且长期稳定。
一种电容

[发明专利]一种湿敏电容及其制作方法、湿度测量设备-CN202110619323.9在审
发明人：吕阳;侯晓伟;郑良广;任浩;李菊萍;张坡;武鹏 -专利权人：宁波中车时代传感技术有限公司
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01G7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种湿敏电容制作方法，包括获得衬底；采用电镀工艺在所述衬底的上表面制作焊盘和相互交叉的梳指电极；在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层，得到湿敏电容；其中，所述湿度敏感层的厚度大于所述梳指电极的厚度本申请中制作梳指电极时，采用电镀的方式来制作，电镀工艺是一种厚膜金属工艺，可以使得梳指电极的厚度高于1微米，梳指电极的厚度增加，使得相互交叉的梳指电极之间的正对面积增加，进而使得湿敏电容的基础电容和电容变化量变大，电容灵敏度提升，降低湿敏电容检测电路的设计难度，并且，电镀的方式还可以降低制作成本。本申请还提供一种具有上述优点的湿敏电容和湿度测量设备。
一种电容及其制作方法湿度测量设备

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