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[发明专利]一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法-CN202010298456.6有效
发明人：张琛琛;丁雪峰;毛海央 -专利权人：江苏创芯海微科技有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供的MEMS热电堆红外探测器及其制备方法，将具有自检测功能的热电阻集成到MEMS热电堆探测器上，实际使用前通过对热电阻施加电压，其产生的焦耳热通过红外吸收单元传导至热电偶对组件热端，获得热电偶对组件的输出电压，并将三次施压得到的输出电压的差值进行计算，并与响应率差值预设阈值对比，即可判断器件是否正常工作。因此实际使用前不必使用专门设备进行测试，有效降低了测试成本，减少了器件测试过程的耗时，使器件的使用更加便利。
一种 mems 热电红外探测器及其制备方法

[发明专利]一种转移纳米森林结构的方法-CN202210143474.6在审
发明人：李茂;毛海央;周娜 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种转移纳米森林结构的方法，该方法利用可释放型胶带的可控粘附性与磁场吸附的原理，成功地将纳米森林结构从原始基底转移至目标基底，由于目标基底种类多样化，因此扩大了纳米森林结构的应用场景，同时提高了纳米森林结构在应用时的可靠性。
一种转移纳米森林结构方法

[发明专利]一种温湿度监测器-CN202310305832.3在审
发明人：周娜;杨华彬;毛海央;李俊峰;罗军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开一种温湿度监测器，涉及传感器技术领域，以解决现有温湿度监测器信号传播距离短，且无法直接读取温湿度数据的问题。包括：衬底和外壳，外壳盖设在衬底上形成腔体；腔体内设置有NFC芯片、微控制器、温度传感器、湿度传感器以及信号处理电路；NFC芯片用于收集电流，并为微控制器供电，微控制器用于错开时间驱动温度传感器以及湿度传感器采集信号；信号为模拟信号，信号处理电路对模拟信号进行处理后发送至所述NFC芯片，NFC芯片将温度传感器采集的温度模拟信号和湿度传感器采集的湿度模拟信号转换为数字信号，并将数字信号发送至具有NFC功能的移动设备中。本发明提供的温湿度监测器用于提升采集的温湿度信号的传输距离。
一种温湿度监测器

[发明专利]一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法-CN202310513027.X在审
发明人：蒲永龙;张琛琛;毛海央;周娜;杨华彬;许韶行 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01J1/44 文献下载
摘要：本申请公开一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法，涉及半导体技术领域。MEMS热电堆紫外探测器，包括：MEMS热电堆紫外探测单元、纳米森林单元和设置在所述纳米森林单元四周表面的金属颗粒单元，所述纳米森林单元设置在所述MEMS热电堆紫外探测单元上方；所述金属颗粒单元用于增加紫外辐射吸收率，从而提升实现对10‑400纳米波段紫外辐射的高灵敏探测，在提高了探测灵敏度的同时扩大了检测范围。
一种 mems 热电紫外探测器及其制备方法

[发明专利]等离激元光镊基底以及制备方法-CN202310212659.2在审
发明人：黄若杨;毛海央;周娜 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光镊基底，尤其是一种等离激元光镊基底以及制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述等离激元光镊基底，包括等离激元单元以及用于对所述等离激元单元局部区域温控的温度控制单元，其中，等离激元单元与温度控制单元基于MEMS工艺制备集成，对等离激元单元内的光斑照射区域，配置温度控制单元对所述光斑照射区域进行温控，以在等离激元单元述光斑照射区域与所述光斑照射区域的周围环境产生温度梯度。本发明基于珀耳帖效应的温度控制，大幅度提升光镊的捕获效率并能有效控制热泳运动，同时能适用于微米级以上物质的捕获，与现有MEMS工艺兼容。
离激元光镊基底以及制备方法

[发明专利]多波段紫外红外复合火焰探测器、其控制方法和电子设备-CN202310127560.2在审
发明人：杨华彬;毛海央;周娜;张琛琛;蒲永龙 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明公开一种多波段紫外红外复合火焰探测器、其控制方法和电子设备，涉及火焰探测器技术领域，包括：信号处理单元，以及分别与信号处理单元连接的一个MEMS热电堆紫外传感器、至少两个MEMS热电堆红外传感器和警报单元；信号处理单元用于接收一个MEMS热电堆紫外传感器和至少两个MEMS热电堆红外传感器传输的对应波段辐射信号，基于对应波段辐射信号结合卷积学习算法进行特征提取处理，在提取到的实际特征值与预存火焰特征数据库中的火焰条件特征匹配时，控制警报单元进行报警提示处理，可以有效的提高火焰识别准确率，有效的避免误报警，适应范围广。
波段紫外红外复合火焰探测器控制方法电子设备

[发明专利]一种实现被检测分子快速富集的SERS检测结构及其制备方法-CN202310124699.1在审
发明人：赵亚谦;毛海央;石梦;周娜;黄成军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01N1/40 文献下载
摘要：本申请公开一种实现被检测分子快速富集的SERS检测结构及其制备方法，涉及分子检测技术领域。实现被检测分子快速富集的SERS检测结构，包括相互连接的超疏水SERS单元和加热电阻单元；所述加热电阻单元，用于对所述超疏水SERS单元进行加热，以进行被检测分子的快速富集，本申请中的SERS检测结构在将被检测分子滴加到所述超疏水SERS单元表面时，可以使得被检测分子在超疏水SERS单元表面呈液滴分布，溶剂蒸发后可实现被检测分子的富集，提高检测均一性以及提高检测极限，结合加热电阻单元的加热效果，可加快液滴蒸发速度，实现被检测分子的快速富集，避免由于液滴蒸发时间过长而导致的检测效率低的问题；另外其检测结构制备简单，无需依赖复杂制备步骤，降低了成本。
一种实现检测分子快速富集 sers 结构及其制备方法

[发明专利]一种集成纳米森林的皮拉尼传感器及其制备方法-CN202211441892.X在审
发明人：许韶行;毛海央;周娜;黄成军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01L21/10 文献下载
摘要：本申请公开一种集成纳米森林的皮拉尼传感器及其制备方法，涉及传感器。集成纳米森林的皮拉尼传感器，其特征在于，包括：皮拉尼传感单元和纳米森林结构；其中，所述纳米森林结构设置在所述皮拉尼传感单元上方或所述皮拉尼传感单元内；所述纳米森林结构用于增加气体分子与所述皮拉尼传感单元的有效接触面积，纳米森林结构具有较大的孔隙率，可以增大气体分子的平均自由程，实现更多的气体热传导，在气压较小时，仍能通过气体热传导反应气压的大小，扩展了真空度检测的下限，随着气体热传导占比的增加，也提高了器件真空检测的灵敏度。
一种集成纳米森林皮拉尼传感器及其制备方法

[发明专利]热电堆及其制作方法-CN202010389904.3有效
发明人：周娜;李俊杰;毛海央;高建峰;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H10N10/01 文献下载
摘要：一种热电堆及其制作方法，所述制作方法包括如下步骤：在衬底正面形成热电堆结构；在衬底背面形成掩膜层；采用干法刻蚀，在掩膜层上形成定位刻蚀窗口；采用博世刻蚀，对定位刻蚀窗口区域的衬底进行第一步刻蚀释放；采用反应离子刻蚀，进行衬底的第二步刻蚀释放，得到完全释放的背腔和保持完整的热电堆结构，完成热电堆的制备。本发明采用常规衬底，通过干法刻蚀释放工艺，分步对衬底进行刻蚀释放，在保持热电堆结构完整性的同时，制作出热电堆器件。
热电及其制作方法

[发明专利]一种手势识别方法、装置及设备-CN202211690918.4在审
发明人：李茂;毛海央;周娜;黄成军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明公开一种手势识别方法、装置及设备，本发明涉及手势识别技术领域，用于解决现有技术中热电堆传感器无法应用于穿戴式手势识别的问题。方案应用于可穿戴设备；可穿戴设备上设置有第一热电堆传感器和第二热电堆传感器；第一热电堆传感器置于可穿戴设备的指肚外侧手套上；第二热电堆传感器置于每个手指靠近中指的手套侧面上；通过获取第一热电堆传感器的第一输出信号以及第二热电堆传感器的第二输出信号；检测指肚到手掌心的第一距离值以及各个手指间的第二距离值；基于第一距离值以及第二距离值，结合预先设置的映射关系表，确定目标手势。利用非接触式热电堆传感器识别手指相对手掌心、相对其他手指距离以实现非接触式可穿戴手势识别。
一种手势识别方法装置设备

[发明专利]MEMS热电堆的响应时间检测方法及系统-CN202211303236.3在审
发明人：向泽清;丁雪峰;毛海央 -专利权人：无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01J5/90 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS热电堆的响应时间检测方法及系统。其检测方法包括：提供待检测的MEMS热电堆，并在所述MEMS热电堆的红外吸收区内集成用于提供响应时间检测所需热源的检测加热器；驱动检测加热器工作，以将检测加热器配置作为热源，其中，检测加热器工作所产生的热量传递至MEMS热电堆内热偶的热端，以驱动MEMS热电堆响应工作；获取MEMS热电堆基于检测加热器所传递热量下的响应输出电压；基于所采集获取MEMS热电堆的响应输出电压，确定所述MEMS热电堆的响应时间。本发明能实现对MEMS热电堆响应时间的高精度检测，稳定性高，与现有工艺兼容，检测成本低。
mems 热电响应时间检测方法系统

[发明专利]一种热电堆传感器性能提升方法、系统及装置-CN202211611202.0在审
发明人：石梦;毛海央;周娜;黄成军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H10N10/01 文献下载
摘要：本发明公开一种热电堆传感器性能提升方法、系统及装置，本发明涉及器件性能提升领域，用于解决现有技术中无法同时进行器件性能提升和器件测试的问题及器件性能提升方法复杂的问题。包括：打点器、测试设备、热电堆传感器以及位置移动控制器；位置移动控制器包括第一位置移动控制器以及第二位置移动控制器；第一位置移动控制器设置有打点器及测试设备，在水平方向和竖直方向上移动；第二位置移动控制器上设置有载物台，热电堆传感器放置在载物台上；热电堆传感器在水平方向和竖直方向上移动；打点器将墨点覆盖在热电堆传感器中满足预设条件的器件表面，完成对热电堆传感器的性能提升；测试设备对热电堆传感器进行测试，墨点的直径与厚度可调。
一种热电传感器性能提升方法系统装置

[发明专利]MEMS热电堆探测器性能仿真方法及装置-CN202210866359.1在审
发明人：丁雪峰;张琛琛;倪悦;毛海央 -专利权人：江苏创芯海微科技有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS热电堆探测器性能仿真方法及装置。其提供待性能仿真的热电堆探测器，并确定所述热电堆探测器的红外加权吸收率；利用一热辐射装置对上述的热电堆探测器热辐射时，以得到在所述热辐射装置热辐射下的热辐射输出电压，根据热辐射输出电压、红外加权吸收率αq以及黑体辐射加权功率密度Mz仿真确定热电堆探测器的性能。本发明能有效实现对热电堆芯片性能的仿真计算，提高仿真计算的精度与可靠性。
mems 热电探测器性能仿真方法装置

[发明专利]多功能SERS检测方法及系统-CN202210642135.2在审
发明人：石梦;毛海央;周娜;赵越芳 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种多功能SERS检测方法及系统。其提供SERS检测传感器以及对待测样品检测时，将拉曼测试系统所产生的拉曼激光对SERS检测传感器以及所述SERS检测传感器上的待测样品辐照，利用SERS信号采集系统采集待测样品在拉曼激光辐照下的SERS信号；同时，利用器件信号采集系统采集SERS检测传感器电信号，以根据所采集的SERS检测传感器电信号确定拉曼测试系统产生辐照拉曼激光的拉曼激光功率，且根据SERS信号以及所确认的拉曼激光功率确定待测样品的种类以及浓度。本发明在SERS检测的同时可以确定照射到待测样品表面的拉曼激光功率，从而结合所确定的拉曼激光功率准确获得物质种类和浓度信息，提高SERS检测的准确性。
多功能 sers 检测方法系统

[发明专利]基于纳米森林的MEMS超级电容及其制备方法-CN202110825193.4有效
发明人：陈贵东;戴鑫;毛海央 -专利权人：江苏创芯海微科技有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01G11/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于纳米森林的MEMS超级电容及其制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述基于纳米森林的MEMS超级电容，包括电容基底、与所述电容基底适配的纳米森林结构以及与纳米森林结构适配连接的电容单元体，所述电容单元体包括依次淀积设置在纳米森林结构内的下电极层、电容介质层以及上电极层，上电极层与下电极层间通过电容介质层绝缘隔离；下电极层与电容基底欧姆接触，通过下电极层与电容基底配合能得到MEMS电容的下电极；通过上电极层以及与所述上电极层电连接的上电极引出单元能形成MEMS电容的上电极。本发明能与现有工艺兼容，制备得到的电容具有大的容量体积比，高电容密度，同时成本低廉。
基于纳米森林 mems 超级电容及其制备方法

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