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- [发明专利]多晶硫化锌化学气相沉积系统及方法-CN202310680612.9在审
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于金凤;陈小民;陈毅明;刘羊
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安徽光智科技有限公司
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2023-06-08
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2023-09-12
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C30B28/14
- 提供一种多晶硫化锌化学气相沉积系统及方法。多晶硫化锌化学气相沉积系统包括化学气相沉积炉、熔硫装置、熔锌装置、供气装置、第一管道、第二管道以及抽气装置；化学气相沉积炉包括炉体、沉积室以及加热器；炉体开设有通孔，能够打开和关闭；沉积室位于炉体内且顶部具有穿孔；加热器位于炉体内并位于沉积室周围，加热器用于加热沉积室；熔硫装置位于化学气相沉积炉的炉体外；熔锌装置位于化学气相沉积炉的炉体外；供气装置位于化学气相沉积炉的炉体外；第一管道将熔硫装置和沉积室连通；第二管道将熔锌装置和沉积室连通；沉积室用于使锌蒸汽和硫蒸汽化学气相沉积；抽气装置包括连接管，连接管通孔以及穿孔，抽气装置经由连接管与沉积室连通。
- 多晶硫化锌化学沉积系统方法
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