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[发明专利]薄膜沉积装置-CN201810153835.9在审
发明人：张喆旼;金定坤;奇圣勋;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2018-02-22 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：根据本发明的一实施例的薄膜沉积装置可以包括气体喷射单元，所述气体喷射单元包括沿第一方向对齐布置而向基板喷射互不相同的沉积气体的第一喷射部及第二喷射部，所述第一喷射部包括：第一喷射模块，喷射第一气体；以及第二喷射模块，布置于所述第一喷射模块的所述第一方向上的两侧面中的至少一面，并喷射第二气体，且所述第一喷射模块包括：第一气体管，供应所述第一气体；以及第一等离子体生成电极，布置于所述第一气体管下方，使所述第一气体贯通而使所述第一气体向所述基板喷射，且所述第二喷射模块包括：喷射主体，在内部布置有收容所述第二气体的空间；以及多个喷射喷嘴，布置于所述喷射主体的下侧，并喷射位于所述空间内的第二气体。
喷射喷射模块喷射部薄膜沉积装置气体喷射单元气体管基板等离子体生成电极沉积气体方向对齐喷射喷嘴所述空间两侧面贯通

[发明专利]一种喷气式火星探测无人机-CN201910687301.9有效
发明人：朱世强;李月华 -专利权人：之江实验室
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B64G1/22 文献下载
摘要：本发明提高了一种喷气式火星探测无人机，包括机体、电源模块、控制模块、气动模块以及传感器模块；所述控制模块包括飞行控制器和气动控制器；所述气动模块包括气体喷射装置、正常供气装置和应急供气装置，正常供气装置在正常飞行中为气体喷射装置提供喷射用气体，应急供气装置在正常供气装置中的气体不足时，为气体喷射装置提供喷射用气体。本发明使用喷气式驱动，可以提前存储气体以供飞行，在遇到紧急气体不足的情况时，还可以通过气体发生器产生大量气体充入弹性气囊，气囊压缩气体从喷气口喷出，产生临时动力，保证飞行器的安全。
一种喷气式火星探测无人机

[实用新型]一种喷气式火星探测无人机-CN201921201441.2有效
发明人：朱世强;李月华 -专利权人：之江实验室
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： B64G1/00 文献下载
摘要：本实用新型提高了一种喷气式火星探测无人机，包括机体、电源模块、控制模块、气动模块以及传感器模块及悬臂；所述控制模块包括飞行控制器和气动控制器；所述气动模块包括气体喷射装置、正常供气装置和应急供气装置，正常供气装置在正常飞行中为气体喷射装置提供喷射用气体，应急供气装置在正常供气装置中的气体不足时，为气体喷射装置提供喷射用气体。本实用新型使用喷气式驱动，可以提前存储气体以供飞行，在遇到紧急气体不足的情况时，还可以通过气体发生器产生大量气体充入弹性气囊，气囊压缩气体从喷气口喷出，产生临时动力，保证飞行器的安全。
一种喷气式火星探测无人机

[发明专利]一种全位置背幕型立焊装置及焊接方法-CN202110546942.X有效
发明人：周丽;朱维金;薛莹莹 -专利权人：烟台大学
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：所述装置包括左右边六自由度模块、垫板、左右边工具执行器和控制器，其中，右边工具执行器包括焊接金属丝、回收模块，左边工具执行器包括左边加温矢量气体喷射模块、中间加温矢量气体喷射模块、右边加温矢量气体喷射模块，并且左边加温矢量气体喷射模块、中间加温矢量气体喷射模块和右边加温矢量气体喷射模块均包括视觉机构。
一种位置背幕型立焊装置焊接方法

[实用新型]一种基于功能模块化的喷射施工船-CN202021427821.0有效
发明人：李振;方喜林;李安定;陈少军;曾磊;吴林松 -专利权人：湖北华夏水利水电股份有限公司;长江大学
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： B63B35/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于功能模块化的喷射施工船，包括设有动力模块的船体，船体还设有原材料存储模块、搅拌模块、输送管路模块、气体压缩模块、气体存储模块、喷射模块以及用于提供电能的发电模块，其中原材料存储模块通过输送管路模块与搅拌模块连通，搅拌模块通过输送管路模块与喷射模块连通，喷射模块通过气体存储模块与气体压缩模块连通。本实用新型提供的一种基于功能模块化的喷射施工船将喷射工作所需设备进行高度集成，从而实现水库消落区护坡及绿化的单船独立施工，不需其他船只的配合，机动灵活，可自行移动转场，能够大幅提高施工效率。
一种基于功能模块化喷射施工

[发明专利]一种LNG气体机的直接喷射混合式进气结构-CN202210734450.8在审
发明人：张国平;张潇依;柯建豪;杜康健 -专利权人：张国平;张潇依;浙江科博达工业有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： F02M21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种LNG气体机的直接喷射混合式进气结构，包括多点喷射模块，所述多点喷射模块包括导气器、进气歧管、混合器和喷嘴，所述进气歧管与导气器相连接，所述混合器位于进气歧管的进气通道之中，所述喷嘴安装在导气器之上且与混合器相连接，若干组所述多点喷射模块的导气器依次连接并串联形成燃气通道，各组所述多点喷射模块的喷嘴分别将燃气通道内的燃气喷射进所在多点喷射模块的混合器之中再与送入所在多点喷射模块的进气歧管内的空气相混合以形成混合气体，各组所述多点喷射模块与气体机的各个气缸一一对应设置，能够有效保证各个气缸所吸取的混合气体保持统一且稳定的空燃比。
一种 lng 气体直接喷射混合式结构

[实用新型]一种LNG气体机的直接喷射混合式进气结构-CN202221617189.5有效
发明人：张国平;张潇依;柯建豪;杜康健 -专利权人：张国平;张潇依;浙江科博达工业有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： F02M21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LNG气体机的直接喷射混合式进气结构，包括多点喷射模块，所述多点喷射模块包括导气器、进气歧管、混合器和喷嘴，所述进气歧管与导气器相连接，所述混合器位于进气歧管的进气通道之中，所述喷嘴安装在导气器之上且与混合器相连接，若干组所述多点喷射模块的导气器依次连接并串联形成燃气通道，各组所述多点喷射模块的喷嘴分别将燃气通道内的燃气喷射进所在多点喷射模块的混合器之中再与送入所在多点喷射模块的进气歧管内的空气相混合以形成混合气体，各组所述多点喷射模块与气体机的各个气缸一一对应设置，能够有效保证各个气缸所吸取的混合气体保持统一且稳定的空燃比。
一种 lng 气体直接喷射混合式结构

[发明专利]催化剂模块清灰室以及催化剂模块清灰系统-CN202210993709.0在审
发明人：曹谦 -专利权人：国能龙源环保有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B01J38/04 文献下载
摘要：本发明涉及催化剂再生技术领域，公开了一种催化剂模块清灰室以及催化剂模块清灰系统，所述催化剂模块清灰室，其特征在于，包括搬运组件、气体喷射组件以及本体，所述本体内设置有用于放置催化剂模块的第一放置位，所述搬运组件能够将待清灰的所述催化剂模块搬运并放置在所述第一放置位上，所述催化剂模块包括多个供气体穿过的气体通道，所述气体喷射组件能够朝放置于所述第一放置位上的所述催化剂模块喷射压力气体并使该压力气体穿过所述气体通道。通过上述技术方案，通过气体喷射组件喷射的压力气体，将催化剂模块内累积的灰尘等杂质喷出，达到对催化剂模块自动化清理的目的，其清理过程不需要人工干预，避免了工作人员吸入灰尘等问题。
催化剂模块清灰室以及系统

[发明专利]气体分配设备与具有该气体分配设备的基板处理设备-CN201580019354.3有效
发明人：丁锡彻;金映录;韩钟国 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种气体喷射设备与包括该气体喷射设备的基板处理设备，这样能够将处理气体均匀地注入至和多个气体喷射孔相连通的多个气体流动通道中。根据本发明的气体喷射设备包括：主体，包括与用于喷射处理气体的多个气体喷射孔相连接的多个气体流动通道；以及一个或更多个气体注入模块，耦接至所述主体的至少一个侧表面以分别与所述多个气体流动通道相连通，其中所述气体注入模块能够初次缓冲从外部供给的处理气体，以及第二次缓冲初次缓冲后的处理气体，从而将缓冲后的处理气体注入至多个气体流动通道中。
气体分配设备具有处理

[发明专利]一种轴承润滑结构-CN201810303807.0在审
发明人：隆成柱 -专利权人：南宁钛银科技有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： F16N31/00 文献下载
摘要：包括轴承本体，两端对轴滑动密封，形成密封润滑区域；喷气模块，喷气模块设置在轴承本体上，对轴承本体润滑工作面进行高压气体喷射，并在润滑工作面轴向方向形成一连续的喷气作用面，所述进气管喷射气体在喷气作用面上形成将喷气作用面附着油脂吹离的作用力；吸气模块，吸气模块设置在轴承本体上，并位于气模块气体喷射方向上；吸气模块通过负压吸排喷气模块喷射的气体；以及供油模块，设置在设置在轴承上并位于所述气模块气体喷射方向相反一端，供油模块对应轴承本体润滑工作面供油
轴承本体轴承润滑结构吸气喷气模块供油气体喷射方向气模块作用面油膜附着高压气体喷射滑动密封快速更新密封润滑模块设置喷射气体轴承润滑轴向方向进气管润滑油负压轴承喷射

[发明专利]干燥机构及具有其的石英管清洗装置-CN202010588877.2在审
发明人：李殷廷;李亭亭;蒋浩杰;熊文娟;罗英 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种干燥机构及具有其的石英管清洗装置，该干燥机构包括供气模块、承托模块和喷射模块，供气模块内清洗有吹扫气体，承托模块用于承托待干燥石英管，喷射模块与承托模块配合且与供气模块连通，喷射模块上设有喷射孔组，喷射模块为可伸缩结构，至少部分喷射模块能够伸入到待干燥石英管的内部，以使吹扫气体对待干燥石英管的内表面进行干燥。由于喷射模块为可伸缩结构且能够进入到待干燥石英管的内部，使得吹扫气体能够充分与待干燥石英管的内壁接触，从而提高了待干燥石英管的吹扫干燥的速度，进而提高了石英管的处理效率，降低了制造的成本。
干燥机构具有石英管清洗装置

[实用新型]一种自动清洗干燥装置-CN201920522326.9有效
发明人：王海飞;彭登明;周臣;陆超;李晨;翟鹏宇 -专利权人：中电华创电力技术研究有限公司;中电华创(苏州)电力技术研究有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种自动清洗干燥装置，包括底槽(1)、控制模块、喷射模块、气体供给模块和液体供给模块，喷射模块与气体供给模块和液体供给模块分别连接，喷射模块底端可拆卸地与底槽(1)连接，气体供给模块包括相互连接的热气供给子模块和冷气供给子模块，热气供给子模块和冷气供给子模块分别存储热气和冷气，并通过底槽(1)传输给喷射模块，液体供给模块存储洗涤剂(17)和水(18)，并通过底槽(1)传输给喷射模块，控制模块包括控制器(2)和分别与控制器(2
喷射模块子模块底槽气体供给液体供给热气本实用新型控制模块冷气供给控制器温湿度传感器温湿度调节器洗涤剂传输干燥模式干燥装置刻度变化模块存储热胀冷缩自动清洗可拆卸底端冷气存储

[发明专利]化学气相沉积维修设备-CN201210307094.8有效
发明人：汪雯;刘国全;李建敏;郑杰;滕飞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
申请日： 2012-08-24 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学气相沉积维修设备，属于机械领域，为解决现有技术中，气体喷射装置与基板之间的距离过近而造成的基板划伤的问题而设计。一种化学气相沉积维修设备，包括：气体喷射装置，其包括：气体窗口，与储气模块层叠设置，用于透过气孔喷出金属化合物；储气模块，用于向基板喷出辅助气体，其中，其出气口位于气体喷射装置下表面；通光孔，贯通设置在气体喷射装置中，用于透过激光；气孔，设置在透镜下方的通光孔的内壁上；透镜，设置在通光孔内，靠近通光孔底部；压敏传感器，设置在气体喷射装置的下表面，用于确定基板与所述气体喷射装置之间的距离；控制器，所述控制器与所述压敏传感器连接，用于控制所述储气模块的辅助气体喷出量。
化学沉积维修设备

[实用新型]可喷水式舞台烟雾机-CN202020455321.1有效
发明人：尤凌海 -专利权人：广州市格创舞台特效设备有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： A63J5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了可喷水式舞台烟雾机，包括喷烟模块和水雾喷射模块，喷烟模块用于喷射烟雾，水雾喷射模块用于喷射水雾，水雾喷射模块包括相连的雾化发生器和喷气装置，喷气装置的输出口与雾化发生器的输入口连通，雾化发生器用于使液体雾化形成水雾，喷气装置用于供气及喷射气体，从而能够使气体从喷气装置的输出口输出，气体经雾化发生器的输入口进入雾化发生器内，雾化发生器内的气体带动水雾从雾化发生器的输出口喷出。
喷水舞台烟雾

[发明专利]气体喷射器性能检测装置-CN202211652999.9在审
发明人：伍新义;邓飞;李成校;龙美彪;欧阳玲湘 -专利权人：南岳电控（衡阳）工业技术股份有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F02D41/22 文献下载
摘要：本发明公开的一种气体喷射器性能检测装置，包括：可控气源的输出模块、压力流量缓冲模块、流量检测与密封性检测模块和控制单元，可控气源的输出模块用来输出5～150bar的气源；压力流量缓冲模块与可控气源的输出模块相连，用于保证系统供压的稳定性及大流量输出的跟随性；流量检测与密封性检测模块与压力流量缓冲模块和适配器相连；流量检测与密封性检测模块用于不同压力下气体喷射器的流量与密封性测试；测试时，待检测的气体喷射器装入适配器中；控制单元与所述流量检测与密封性检测模块、适配器待检测的气体喷射器控制连接。本发明能够在气体喷射器的流量和密封性测试功能中灵活切换，结构简单，成本低廉，搭建周期短。
气体喷射器性能检测装置

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