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[发明专利]原子层沉积设备和使用该设备的原子层沉积方法-CN202310136594.8在审
发明人：张喆旼;许明洙;金定坤;朴民奎;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：公开原子层沉积设备和使用该设备的原子层沉积方法。所述原子层沉积设备包括：支撑基板的基板支撑部；在基板支撑部上的工艺模块；将第一气体供应到工艺模块的第一气体管道；将第二气体供应到工艺模块的第二气体管道；以及排放供应到工艺模块的第一气体和第二气体的排放部。工艺模块包括：连接到第一气体管道的第一气体供应流路部分；在第一气体供应流路部分下面并且连接到第二气体管道的第二气体供应流路部分；以及连接到排放部的气体排放流路部分。气体排放流路部分与第一气体供应流路部分和第二气体供应流路部分间隔开，基板介于气体排放流路部分与第一气体供应流路部分和第二气体供应流路部分之间，并且第一气体和第二气体以层流穿过工艺区域。
原子沉积设备使用方法

[发明专利]等离子体喷嘴部以及包括其的蒸镀装置-CN202211684458.4在审
发明人：张喆旼;金定坤;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体喷嘴部以及包括其的蒸镀装置，可以是，根据实施例的等离子体蒸镀装置包括沿着第一方向配置的多个等离子体喷嘴部和多个气体供应喷嘴部。可以是，所述等离子体喷嘴部的每一个包括：上壁和喷嘴壁，界定气体供应通道；中央壁，位于所述上壁之下，并在所述第一方向上与所述喷嘴壁的一部分相对而界定气体供应管，所述中央壁为绝缘体；等离子体电极，位于所述中央壁之下，并在第一方向上与所述喷嘴壁的一部分相对，并且连接于等离子体电源；以及侧壁，位于所述喷嘴壁的侧面，并与所述喷嘴壁一起界定气体排出管。
等离子体喷嘴以及包括装置

[发明专利]基板处理装置-CN202211363195.7在审
发明人： 金定坤;张喆旼;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种基板处理装置。所述基板处理装置可以包括：腔室，提供执行针对基板的工艺的空间；第一喷嘴单元，布置于腔室的内部；第二喷嘴单元，布置于腔室的内部，与第一喷嘴单元相邻；远程等离子体发生器，布置于腔室的外部，将清洗气体转换为等离子体状态；公共配管，布置于腔室的外部，与远程等离子体发生器连接，从远程等离子体发生器流入等离子体状态的清洗气体；第一连接管，连接公共配管和第一喷嘴单元；第二连接管，连接公共配管和第二喷嘴单元；源气体供应管，在腔室的外部与第一连接管连接，向所述第一连接管供应源气体；以及反应气体供应管，在腔室的外部与第二连接管连接，向第二连接管供应反应气体。
处理装置

[发明专利]一种高定伸模量和低压变物性的天然胶配方及生产方法-CN202211738267.1在审
发明人：张柱;张仁平;金定坤 -专利权人：安徽博门汽车零配件有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C08L7/00 文献下载
摘要：一种高定伸模量和低压变物性的天然胶配方及生产方法，所述天然胶配方主要由以下原料按重量组分比制备而成：天然生胶500‑700份、炭黑50‑80份、活性剂8‑16份、防老剂5‑10份、硫磺2‑6份、促进剂2‑6份、分散剂1‑4份，通过对原材料、硫化剂，防老剂，促进剂，助剂以及相应的特殊填料等的选择设计，使配方的物性达到要求的目的。整个过程中经过不断地测试试验，最终通过合理科学的配方组成和生产工艺，保证了胶料物性的稳定性，最终使产品的物性质量得到有效地保证。
一种高定伸模量低压物性天然配方生产方法

[发明专利]基板处理装置-CN202211327405.7在审
发明人：张喆旼;金定坤;朴民奎;李熙龙;郑檭;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理装置包括：腔室，具有能够保持真空状态的作业空间，并包括位于作业空间上的上壁；喷嘴组件，位于作业空间中，并包括多个喷嘴；以及升降模组，升降喷嘴组件。升降模组包括位于腔室的外部的框架、能够升降框架的升降机构以及贯通上壁而分别与框架以及喷嘴组件连接并在重力方向上延伸的轴。
处理装置

[发明专利]喷射单元及包括该喷射单元的沉积装置-CN202210526956.X在审
发明人：李熙龙;金世洪;金定坤;朴民奎;张硕珍;张喆旼;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种喷射单元及包括该喷射单元的沉积装置。本发明的喷射单元包括沿第一方向彼此隔开布置并喷射沉积气体的多个喷射部，其中，多个喷射部包括：第一喷射部，布置于喷射单元的第一区域，并包括第一等离子体电极及第一绝缘体；以及第二喷射部，布置于喷射单元的与所述第一区域不重叠的第二区域，并包括第二等离子体电极及第二绝缘体。第一绝缘体的介电常数与第二绝缘体的介电常数不同。
喷射单元包括沉积装置

[发明专利]一种绿色高回弹闭孔发泡挤出的三元胶配方及生产方法-CN202211728624.6在审
发明人： 金定坤;张仁平;张柱 -专利权人：浙江博门汽车零配件有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C08L23/16 文献下载
摘要：一种绿色高回弹闭孔发泡挤出的三元胶配方及生产方法，所述三元胶配方主要由以下原料按重量组分比制备而成：EPDM100‑200份、氧化锌2‑8份、硬脂酸0.5‑1份、发泡剂1‑5份、白炭黑80‑110份、软化剂5‑20份、发泡助剂1‑5份、硫化剂1‑5份、母胶深绿1‑2份，本发明通过对原材料、硫化剂，促进剂，助剂以及相应的特殊填料等的选择设计，使配方的发泡物性达到要求的目的。整个过程中经过不断使地测试试验，最终通过合理科学的配方组成和生产工艺，保证了胶料物性的稳定性，最终使产品的物性质量得到有效地保证。
一种绿色回弹发泡挤出三元配方生产方法

[实用新型]喷射单元及沉积装置-CN202221173281.7有效
发明人：李熙龙;金世洪;金定坤;朴民奎;张硕珍;张喆旼;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种喷射单元及沉积装置。本实用新型的喷射单元包括沿第一方向彼此隔开布置并喷射沉积气体的多个喷射部，其中，多个喷射部包括：第一喷射部，包括第一绝缘体；以及第二喷射部，包括第二绝缘体，其中，第一绝缘体的介电常数与第二绝缘体的介电常数不同。根据本实用新型的一实施例，能够改善沉积于基板上的薄膜的按沉积区域的厚度偏差及按沉积区域的薄膜特性偏差。
喷射单元沉积装置

[发明专利]沉积装置-CN202210330040.7在审
发明人：张喆旼;金定坤;李熙龙;全东杓;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：沉积装置可以包括：气体喷射单元，包括沿着第一方向平行地布置的多个线性喷嘴部；基板移送单元，在气体喷射单元的下方沿着第一方向往复移送基板；以及沉积腔室，容纳气体喷射单元和基板移送单元。线性喷嘴部中的每一个可以包括：气体供应部，供应工艺气体；电极，在与第一方向垂直的第二方向上延伸，并且通过形成在内部的喷嘴将从气体供应部接收的工艺气体喷射到基板。电极的中央部与基板之间的距离可以不同于电极的长度方向的两个侧部与基板之间的距离。
沉积装置

[实用新型]沉积装置-CN202220728145.3有效
发明人：张喆旼;金定坤;李熙龙;全东杓;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：沉积装置可以包括：气体喷射单元，包括沿着第一方向平行地布置的多个线性喷嘴部；以及基板移送单元，在气体喷射单元的下方沿着第一方向往复移送基板。线性喷嘴部中的每一个可以包括：气体供应部，供应工艺气体；电极，在与第一方向垂直的第二方向上延伸，并且通过形成在内部的喷嘴将从气体供应部接收的工艺气体喷射到基板。电极的中央部与基板之间的距离可以不同于电极的长度方向的两个侧部与基板之间的距离。
沉积装置

[发明专利]沉积装置、其清洁方法以及使用其形成薄膜的方法-CN202111085159.4在审
发明人：张喆旼;金定坤;许明洙;全东杓;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：公开了一种沉积装置、沉积装置的清洁方法以及使用沉积装置形成薄膜的方法。根据本发明一实施例的沉积装置包括：腔室；衬底固定器，布置在所述腔室内，包括衬底部以及布置在所述衬底部的两侧的第一缓冲部和第二缓冲部，并且沿第一方向往复移动；第一喷射部和第二喷射部，布置在所述腔室内，沿所述第一方向并排布置，并且向所述衬底固定器喷射气体，其中，所述第一喷射部包括分开喷射多种第一气体的多个第一喷射喷嘴，并且连接到多个第一排气部，所述多个第一排气部分别排放所述多种第一气体，以及所述第二喷射部包括向所述衬底固定器喷射第二气体的多个第二喷射喷嘴，并连接到排放所述第二气体的一个第二排气部。
沉积装置清洁方法以及使用形成薄膜

[发明专利]一种高强度高硬度阻燃绝缘物性的三元胶的制备方法-CN202111639564.6在审
发明人：张仁平;张柱;金定坤 -专利权人：浙江博门汽车零配件有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： C08L23/16 文献下载
摘要：一种高强度高硬度阻燃绝缘物性的三元胶的制备方法，在配方设计上首先要选择高乙烯含量低门尼的生胶来实现其要求；还要考虑提高含胶率来增强其强度，同时采用白炭黑进行强度补强；产品物性上的老化时间里的强度变化和伸长率以及压变等目标，必须采用低硫高促的硫化体系；产品为高硬度产品，所以对于其中炭黑和特殊填料的含量在配方设计时要重点关注；对于其阻燃要求，所以在配方设计中要考虑无卤阻燃剂的合理组成。本发明整个过程中经过不断使地测试试验，最终通过合理科学的配方组成和生产工艺，保证了胶料物性的稳定性，最终使产品的物性质量得到有效地保证。
一种强度硬度阻燃绝缘物性三元制备方法

[发明专利]显示装置的制造装置-CN202110356769.7在审
发明人：张喆旼;许明洙;奇圣勳;金定坤;全东杓;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的一实施例公开一种显示装置的制造装置，包括：第一喷嘴部，包括放出第一源气体的第一喷嘴单元以及布置于所述第一喷嘴单元的外侧并排出所述第一源气体的第一排气部；以及第二喷嘴部，沿第一方向与所述第一喷嘴部并排排列，并且包括放出第二源气体的第二喷嘴单元以及布置于所述第二喷嘴单元的外侧并排出所述第二源气体的第二排气部，其中，所述第一排气部以及所述第二排气部中的至少一个放出清洗气体。
显示装置制造装置

[发明专利]显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法-CN202010576982.4在审
发明人： 金定坤;许明洙;奇圣勋;张喆旼;全东杓;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明的一实施例公开了一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。显示装置的制造装置包括：掩模框架，包括开口区域；第一掩模，配置在所述掩模框架上，且包括第一开口部；第二掩模，配置在所述第一掩模上，且能够从所述掩模框架分离，并包括第二开口部；以及掩模保持部，支承从所述掩模框架分离的所述第二掩模，所述第二开口部的宽度不同于所述第一开口部的宽度。
显示装置制造装置以及方法

[发明专利]一种低烟、无卤、阻燃的轨道交通氯丁橡胶及其制作方法-CN202011607864.1在审
发明人：徐有才;张柱;张仁平;金定坤 -专利权人：浙江博门汽车零配件有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C08L11/00 文献下载
摘要：一种低烟、无卤、阻燃的轨道交通氯丁橡胶，所述氯丁橡胶主要由以下原料按重量组分比制备而成：生胶110‑90份、氧化镁2‑5份、硬脂酸0‑1份、防老剂MB0‑1份、防老剂2460‑2份、氢氧化铝10‑40份、N774炭黑10‑20份、白炭黑1‑10份、SI‑69偶联剂0‑1份、碳酸钙2‑6份、硫酸钡2‑6份、硫化剂2‑10份、促进剂0‑1份；所述硫化剂为氧化锌和硫磺，所述促进剂为ETU‑80本发明通过对原材料，防老剂，促进剂，助剂以及相应的特殊填料等的选择设计，使配方的物性达到要求的目的。整个过程中经过不断使地测试试验，最终通过合理科学的配方组成和生产工艺，保证了胶料物性的稳定性，最终使产品的物性质量得到有效地保证。
一种阻燃轨道交通氯丁橡胶及其制作方法

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