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[实用新型]数码曝光控制台(二)-CN200620045055.5无效
发明人：徐金国;常志岗 -专利权人：上海多丽影像设备有限公司
申请日： 2006-08-23 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： G03B27/32 文献下载
摘要：一种彩扩机数码曝光控制台，包括数码曝光装置、显示器、操作台和机架，由数码曝光装置、控制面板、电脑机箱、显示器、操作台与机架连接构成。数码曝光装置通过数码曝光装置安装架与机架连接；数码曝光装置安装架，其前端用铰链与观察门连接，其后端面与后盖连接后与机架连接，头罩与数码曝光装置安装架配合固定。本实用新型的优越功效是：使一台被淘汰的传统老式彩扩机，通过安装本实用新型的数码曝光控制台改造成为一台先进行的数码彩扩机，且不需要更改原有设备。
数码曝光控制台

[实用新型]多阶曝光装置-CN202120501277.8有效
发明人：刘大有;简志桦;赖建华;陈世勋 -专利权人：刘大有;赖建华;简志桦;陈世勋
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种多阶曝光装置，包括有一工作平台，其设有一用以搭载晶圆的载台。工作平台的上方设有一DMD曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，此DMD曝光机电性连接一控制单元，其可接受复数个曝光参数的设定，进而控制DMD曝光机中各微反射镜的作动，以在同一晶圆上分别成形曝光图形，据此在晶圆上形成多个曝光层次。
曝光装置

[实用新型]一种置设有机械手的曝光机-CN201320221471.6有效
发明人：袁强;刘长征 -专利权人：东莞市海圣光电科技有限公司
申请日： 2013-04-26 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于曝光机技术领域，具体是涉及一种置设有机械手的曝光机；主要包括一曝光机，其特征在于：所述曝光机上装设有用于放料和出料的机械手。籍由所述曝光机上装设有用于放料和出料的机械手，从而可以替代人工放板。此结构不但简单，使用方便自动化，而且成本非常低廉，容易得以推广。
一种设有机械手曝光

[实用新型]外层手动曝光机-CN200920283487.3无效
发明人：孙博 -专利权人：昆颖电子(昆山)有限公司
申请日： 2009-12-18 - 公布日： 2010-11-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种外层手动曝光机，包括曝光框架，曝光框架包括强化玻璃和贴覆其上的MYLAR膜，其特征在于：在MYLAR膜下设置有裸铜基板。本实用新型的外层手动曝光机，在曝光框架的MYLAR膜下面设置一层裸铜基板，可大大降低外层手动曝光机工作过程中吸气不良的现象出现，节约人力、时间。
外层手动曝光

[发明专利]超结MOS器件OPC掩模版制作方法及装置-CN202210453660.X在审
发明人：黄执祥;王栋;侯广杰 -专利权人：深圳市龙图光电有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明属于掩模版制作领域，尤其涉及一种超结MOS器件OPC掩模版制作方法及装置，其中，超结MOS器件OPC掩模版制作方法包括以下步骤：对掩模图形进行光学临近效应修正分析获得辅助图形；获得光刻机可识别的主图曝光数据，获得所述光刻机可识别的辅图曝光数据；将所述主图曝光数据和所述辅图曝光数据导入所述光刻机；所述光刻机先根据所述主图曝光数据对掩模版坯料进行曝光，再根据所述辅图曝光数据对所述掩模版坯料进行曝光；对完成曝光之后的所述掩模版坯料依次进行显影
mos 器件 opc 模版制作方法装置

[实用新型]一种可调节激光模组的对位LDI曝光机-CN201821206130.0有效
发明人：门光辉 -专利权人：佛山市坦斯盯科技有限公司
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及LDI曝光机领域，特别涉及一种可调节激光模组的对位LDI曝光机，包括传动装置和激光模组；所述激光模组包括：上激光模组和下激光模组；所述上激光模组包括：驱动装置、上激光模组安装架、第一激光模块和滚轮连接组件；所述纵向机架从上往下依次设置有驱动装置、上激光模组安装架、滚轮连接组件、滚轮压紧组件、横向机架和下激光模组；所述上激光模组与所述下激光模组相互对射，可同时对PCB板进行曝光，提升了曝光的速度；也可同步PCB板双面曝光的位置，不会出现对PCB板翻面后再次曝光造成的位置误差，且可通过调节所述上激光模组来调节曝光距离，可以有效保证LDI曝光机的曝光精准度，提高了产品的质量。
激光模组曝光机曝光滚轮连接驱动装置安装架可调节对位本实用新型传动装置横向机架激光模块曝光距离双面曝光位置误差压紧组件依次设置纵向机架精准度翻面滚轮保证

[实用新型]用于去除电容触摸屏金属架桥周边金属残留的曝光结构-CN201320496993.7有效
发明人：许沭华;迟晓晖;王超 -专利权人：芜湖长信科技股份有限公司
申请日： 2013-08-14 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于去除电容触摸屏金属架桥周边金属残留的曝光结构，其特征在于，包括设置在该电容触摸屏绝缘光阻黄光制程中的曝光机、曝光靶标和曝光光罩，所述电容式触摸屏用所述曝光靶标固定在所述曝光机的台面上，所述曝光光罩偏置在所述电容触摸屏的金属架桥的金属残留侧，当所述电容触摸屏处于曝光位置时，所述电容触摸屏的金属架桥处于被所述曝光机的光源照射的区域内且所述电容触摸屏的金属架桥的金属残留处于被遮掩的区域内
用于去除电容触摸屏金属架桥周边残留曝光结构

[实用新型]具有温度调节功能的曝光机-CN201120230225.8有效
发明人：黄建 -专利权人：志圣科技（广州）有限公司
申请日： 2011-07-01 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有温度调节功能的曝光机，包括曝光机壳体，在曝光机壳体内设有曝光室，还包括有热交换室、换热器、温度传感器、控制电路、控制阀及风机，温度传感器位于曝光室内，且温度传感器及控制阀均与控制电路电气连接，曝光室与热交换室通过换气口相通而形成换热通道，风机设于换热风道内，换热器置于热交换室内，换热器的两端为换热工质进口及换热工质出口，换热工质进口与换热工质出口之间形成换热工质通路，控制阀设于换热工质通路上本实用新型可以有效的对曝光机的温度进行调节，提高了曝光机的曝光精度。
具有温度调节功能曝光

[发明专利]高压发生装置的曝光控制方法-CN201710443251.0有效
发明人：高松;彭冲;蒋国强 -专利权人：上海冠瑞医疗设备股份有限公司
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开一种高压发生装置的曝光控制方法，单片机检测手闸的开关一档是否按下，若是控制第一触发电路发出预备曝光触发信号至高压发生装置；高压发生装置发送第一信息给单片机；单片机接收第一信息并暂存至缓存器中；单片机检测手闸是否松开，若否解析并判断第一信息是否是预备曝光完成信息，若是显示预备曝光完成信息；单片机检测手闸的开关二档是否按下，若是控制第二触发电路发出开始曝光触发信号至高压发生装置；高压发生装置发送第二信息给单片机；接收第二信息并暂存至缓存器中；单片机检测手闸是否松开，若否解析并判断第二信息是否是曝光完成信息，若是显示曝光完成信息。解决了曝光距离短、抗干扰能力差和因数据通信带来的相关问题。
高压发生装置单片机检测完成信息曝光手闸单片机触发电路触发信号曝光控制预备缓存器松开按下暂存解析发送抗干扰能力曝光距离数据通信

[实用新型]一种曝光机-CN202020663233.0有效
发明人：陈水波 -专利权人：广东柔印机械有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种曝光机，包括机架、放置平台和曝光平台，放置平台设置在机架上，曝光平台位于放置平台的上方，在机架与曝光平台之间设有升降机构，在机架与曝光平台之间设有导向升降机构，所述的导向升降机构包括齿轮和齿条，齿轮旋转的安装在机架上，齿条安装在曝光平台上，齿轮与齿条相啮合。该曝光机的导向升降机构设有齿轮齿条结构，利用齿轮齿条的啮合导向作用，对曝光平台的升降具有导向作用，同时导向的稳定性好，可更好保护升降机构和曝光平台。
一种曝光

[发明专利]一种曝光机自动上下片装置-CN201911300564.6在审
发明人：李国强 -专利权人：河源市众拓光电科技有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光机自动上下片装置，包括传送机械手、第一装片卡槽、第二装片卡槽、自动对平边装置与曝光机，所述传送机械手设置在所述曝光机前端，所述第一装片卡槽设置在所述传送机械手左侧，所述自动对平装置设置在所述传送机械手与所述曝光机之间，所述传送机械手适于将所述第一装片卡槽中的晶元输送至所述自动对平装置中，由所述自动对平边装置将晶圆输送至所述曝光机中进行曝光，该曝光机自动上下片装置取代了现有人工取片与放片的方式，有效避免人工取放晶元时出现误操作状况的发生
一种曝光自动下片装置

[发明专利]一种用于HDI线路板内层干膜的自动对位曝光设备-CN201911137489.6有效
发明人：叶何远;苏惠武;张惠琳;赖剑锋 -专利权人：信丰福昌发电子有限公司;江西福昌发电路科技有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明涉及线路板加工领域，具体涉及一种用于HDI线路板内层干膜的自动对位曝光设备，包括曝光机，还包括上料组件、对位组件和移动组件，上料组件设置于曝光机的前端，移动组件设置于曝光机的下半部上，并且移动组件位于上料组件的一侧，对位组件设置于移动组件的顶部，并且对位组件位于曝光机和上料组件之间，上料组件包括一个放料箱、一个移料机构和一个抓取机构，放料箱设置于曝光机的前端，移料机构设置于放料箱的顶部，抓取机构设置于移料机构的顶部，并且抓取机构位于曝光机和放料箱之间，本发明解决了线路板对位时无法准确对位的问题，节省了时间，以及减少了工人成本，提高了对位的准确性。
一种用于 hdi 线路板内层自动对位曝光设备

[发明专利]图像传感器新型滚筒式曝光的时序控制方法-CN202010414912.9有效
发明人：张正威;张远;李停;陈西昌 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H04N5/355 文献下载
摘要：本发明提供了一种图像传感器新型滚筒式曝光的时序控制方法，包括：图像传感器对同一场景进行N次曝光获得N次曝光信号，N次曝光的时间参数相互独立；产生读使能信号；产生时序选通信号；N个状态机分别以所述时序选通信号的值为使能，交替且顺序进行所述N次曝光信号的读取。通过采用N个状态机、时序控制电路和判断状态机之间关联性的的时序选通信号，完成N个状态机在新型滚筒式曝光功能时，交替且顺序进行所述N次曝光信号的读取，避免读出数据重合的情况，使CMOS图像传感器正常工作。增加系统配置自由度，增加状态机复用的灵活性，简化状态机结构。
图像传感器新型滚筒曝光时序控制方法

[实用新型]一种曝光机自动上下片装置-CN201922264745.X有效
发明人：李国强 -专利权人：广州市艾佛光通科技有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种曝光机自动上下片装置，包括传送机械手、第一装片卡槽、第二装片卡槽、自动对平边装置与曝光机，所述传送机械手设置在所述曝光机前端，所述第一装片卡槽设置在所述传送机械手左侧，所述自动对平装置设置在所述传送机械手与所述曝光机之间，所述传送机械手适于将所述第一装片卡槽中的晶元输送至所述自动对平装置中，由所述自动对平边装置将晶圆输送至所述曝光机中进行曝光，该曝光机自动上下片装置取代了现有人工取片与放片的方式，有效避免人工取放晶元时出现误操作状况的发生
一种曝光自动下片装置

[发明专利]曝光装置、曝光方法和曝光机-CN202110220327.X在审
发明人：郝征;李志丹;唐世弋 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光装置、曝光方法和曝光机。该曝光装置包括冷却台和至少一个光学检测单元；光学检测单元至少设置于冷却台的上下一侧，光学检测单元用于在冷却台对待冷却基板进行冷却时检测待冷却基板的表面。当光学检测单元检测到待冷却基板上无异物时，在待冷却基板进行冷却后被传输至曝光装置的曝光台，采用光罩在待冷却基板上形成图案化结构时，可以避免待冷却基板上的异物划伤光罩，提高了曝光装置的可靠性，同时减少了光罩的损耗，进而降低了曝光装置制作显示面板的成本。
曝光装置方法