“曝光机”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3770104个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种掩模版及光刻机-CN202111652270.7在审
发明人：胡健;徐阳;周世均;王晓龙;郑海昌;陈力钧 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G03F1/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩模版及光刻机。其中，掩模版包括曝光区域，和环绕在所述曝光区域外的非曝光区域，所述非曝光区域中设置有多个辅助图案，每个所述辅助图案包括多个间隔排列的条纹图形，其中，每个所述条纹图形的线宽小于光刻机的分辨率极限。在利用光刻机对该掩模版进行曝光时，即使存在杂散光会通过掩模版的非曝光区域的现象，然而由于辅助图案中的条纹图形未达到光刻机的分辨率而难以被识别，进而不会将辅助图案映射在晶圆上，从而有效解决光刻机因漏光带来的鬼影问题
一种模版光刻

[发明专利]一种玻璃生产用菲林曝光台-CN201810602448.9在审
发明人：寇红龙;朱建军 -专利权人：许昌富华玻璃有限公司
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃生产用菲林曝光台，包括机架、锥形灯箱、曝光灯、曝光平台、盖板、真空泵、真空气管、冷却机、冷却管道和出风装置，机架上设置锥形灯箱，锥形灯箱内设置有曝光灯，机架上位于锥形灯箱上方设置有曝光平台，曝光平台上设置有盖板，曝光平台和盖板围合成容纳被曝光物的腔体，盖板上覆盖设置有密封布，盖板内侧边缘处设置有密封条，机架上还设置有真空泵，真空泵通过真空气管与盖板和曝光凭条所形成的密封腔体内相连，机架上还设置有冷却机，冷却机通过冷却管道和出风装置相连，出风装置设置在锥形灯箱内两侧上部；总的，本发明具有光照均匀、冷却均匀全面、能源损耗小、曝光效率高的优点。
盖板灯箱曝光平台出风装置冷却机真空泵玻璃生产冷却管道真空气管曝光灯菲林密封条被曝光物光照均匀冷却均匀内侧边缘能源损耗曝光效率台本发明曝光密封布密封腔曝光台围合成腔体体内容纳覆盖

[发明专利]一种干膜生产用曝光机-CN202010747925.8在审
发明人：卓金明 -专利权人：苏州康迪科光电新材料有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种干膜生产用曝光机，涉及干膜生产设备技术领域，针对现有的曝光机散热性能不佳的问题，现提出如下方案，其包括壳体，所述壳体的内部依次开设有设备腔、曝光腔、蓄水腔、驱动腔和冷却腔，所述曝光腔的内部安装有多个曝光灯管，所述曝光灯管的上方设有横向设置的玻璃载台，所述玻璃载台固定在曝光腔的内部，所述设备腔底部的内壁固定有竖向设置的设备主体，所述壳体的顶部通过铰链分别铰接有两扇活动门。本发明可对曝光机运行时，产生的热量进行快速有效的吸收，且可加快曝光灯管的冷却速率，并且可简单方便的对曝光机的散热部件进行拆卸，冷却效率高，续航时间长，工作性能高，使用方便。
一种生产曝光

[发明专利]适用于不同尺寸铜箔基板的节能曝光机-CN202211719082.6在审
发明人：刘成云;罗曼;李经帅;林喜鹏;陈悦婷;庾海燕 -专利权人：深圳玛斯兰电路科技实业发展有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明涉及曝光机技术领域，特别涉及适用于不同尺寸铜箔基板的节能曝光机，曝光腔体内设置有曝光组件，曝光组件上方设置有翻转组件，翻转组件底部连接有升降组件，升降组件用于控制翻转组件升降，翻转组件内固定线路板，曝光组件对线路板进行曝光，翻转组件用于对线路板进行翻转，夹紧气缸的输出端连接有夹持板，翻转组件包括两相对设置的夹持板，夹紧气缸用于控制两夹持板之间的距离，两夹持板之间夹持固定线路板。与现有技术相比，本发明的适用于不同尺寸铜箔基板的节能曝光机可以适用于不同尺寸的线路板进行曝光，适用性强，控制容易，两夹持板之间的距离通过夹紧气缸的行程控制可以精确调节，对于不同尺寸的线路板曝光非常便利。
适用于不同尺寸铜箔节能曝光

[发明专利]一种电路板曝光方法及装置-CN201510591482.7有效
发明人：罗郁新;汪伟明 -专利权人：广州美维电子有限公司
申请日： 2015-09-16 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电路板曝光方法及装置，方法包括以下步骤：利用曝光机中的光学识别元件识别设置于PCB板上的四个标靶位置，根据四个标靶位置计算出该PCB板的实际尺寸；从资料库中获取对应于该PCB板的标准尺寸，利用该PCB板的实际尺寸和标准尺寸计算出涨缩系数；在对应于该PCB板的预设的涨缩系数集合中获取与该涨缩系数对应的对象，根据该对象获取对应的平移表；根据平移表中的各个平移量数据分别对曝光机中对应的曝光区域进行平移，平移完成后控制曝光机对该PCB板进行曝光。本发明实现自动计算涨缩系数，从而选择对应的曝光资料对每个曝光区域进行调整再进行曝光，有效提高外层曝光对位能力。
一种电路板曝光方法装置

[实用新型]一种玻璃生产用菲林曝光台-CN201820907693.6有效
发明人：寇红龙;朱建军 -专利权人：许昌富华玻璃有限公司
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃生产用菲林曝光台，包括机架、锥形灯箱、曝光灯、曝光平台、盖板、真空泵、真空气管、冷却机、冷却管道和出风装置，机架上设置锥形灯箱，锥形灯箱内设置有曝光灯，机架上位于锥形灯箱上方设置有曝光平台，曝光平台上设置有盖板，曝光平台和盖板围合成容纳被曝光物的腔体，盖板上覆盖设置有密封布，盖板内侧边缘处设置有密封条，机架上还设置有真空泵，真空泵通过真空气管与盖板和曝光凭条所形成的密封腔体内相连，机架上还设置有冷却机，冷却机通过冷却管道和出风装置相连，出风装置设置在锥形灯箱内两侧上部；总的，本实用新型具有光照均匀、冷却均匀全面、能源损耗小、曝光效率高的优点。
盖板灯箱曝光平台出风装置冷却机真空泵玻璃生产冷却管道真空气管曝光灯菲林密封条本实用新型被曝光物光照均匀冷却均匀内侧边缘能源损耗曝光效率曝光密封布密封腔曝光台围合成腔体体内容纳覆盖

[实用新型]紫外LED曝光机-CN201320560814.1有效
发明人：张方德;王玉璋;贺兴志;李小明 -专利权人：浙江欧视达科技有限公司
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种紫外LED曝光机，其包括光源安装台面和曝光台面，光源安装台面与曝光台面构成平移配合，光源安装台面上设有紫外LED曝光机光学曝光照明系统，紫外LED曝光机光学曝光照明系统包括至少一个光源安装板、准直透镜以及曝光照明矩阵排布器，光源安装板上依次排列多行等距排列的紫外LED光源，相邻两行同一列的紫外LED光源的中心距离为B等于每行相邻两颗紫外LED光源的中心之间的距离A/行数，相邻两颗紫外LED光源之间等距排列，本实用新型以提高曝光均匀度及降低光源发散角度为前提，避免由于光学曝光照明系统辐照度不均匀,导致线条粗细不均匀,整块板上的分辨力不一致,或有断线等现象的发生。
紫外 led 曝光

[实用新型]一种双台面直写式曝光机的曝光系统-CN201620831924.0有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于直写式曝光机的技术领域，具体涉及一种双台面直写式曝光机的曝光系统和曝光方法；解决的技术问题为：提供一种结构稳定、曝光效率较高的双台面直写式曝光机的曝光系统；采用的技术方案为：包括支撑板，支撑板通过支撑柱设置于双台面上方支撑板上设有挖空部，挖空部的两侧分别设置有两根线性导轨，两根线性导轨上设有光路安装板，光路安装板通过驱动机构可在两条线性导轨上作步进运动，步进运动的方向垂直于双台面运动的方向，光路安装板上设有用于发射曝光光束的光路镜筒，光路镜筒的曝光方向朝向所述双台面；本实用新型适用于PCB板曝光领域。
一种台面直写式曝光系统

[发明专利]声光警示摄像机的控制方法及系统-CN202210968315.X在审
发明人：钱锋海;董煜民;康志杰 -专利权人：浙江大华技术股份有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种声光警示摄像机的控制方法及系统，声光警示摄像机报警时，警示灯在图像传感器的非曝光时间开启，在曝光时间关闭，警示音在图像传感器的曝光时间开启，在非曝光时间关闭。解决了相关技术中声光警示同时工作导致摄像机瞬态功耗过高，摄像机重启和同轴高清摄像机集中供电下有滚动条纹的问题。
声光警示摄像机控制方法系统

[实用新型]一种大视场拼接式曝光机-CN201820324600.7有效
发明人：孙雷;张洪波;张婧姣 -专利权人：联士光电（深圳）有限公司
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大视场拼接式曝光机，该曝光机的特征在于，将信号源输出的数字图形进行横向与纵向的分割，将每个子视场的图像分别传输至四片相同规格的LCOS上，每片LCOS再经过偏振分光片及两个全反射棱镜后，拼接成与原视场相同的图像，即总分辨率扩展为原芯片的4倍，该曝光机可以有效的克服传统曝光机视场受芯片尺寸限制，不能进行大面幅曝光问题。
曝光机大视场拼接式视场芯片图像本实用新型偏振分光片全反射棱镜尺寸限制数字图形总分辨率信号源子视场拼接大面传输曝光输出分割

[实用新型]整卷生产的曝光机-CN200720143736.X无效
发明人：王定锋 -专利权人：王定锋
申请日： 2007-04-04 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： G03B27/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种整卷生产的曝光机，是在用于晒网曝光或复制菲林用的曝光机改装制成的，曝光机(1)的两侧各设一间歇式连续转动的转轴(2)，整卷软性线路板(6)两端的旋转卷架(3)分别设于两侧的转轴(2)本实用新型结构简单，成本低廉，可以完成复杂的卷对卷生产用曝光机的功能，并达到后者的生产品质。
生产曝光

[发明专利]曝光方法和聚光透镜以及曝光机-CN201710545148.7在审
发明人：齐鹏博 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光方法和聚光透镜以及曝光机，在聚光透镜中加入挡光装置，调节挡光装置以减小聚光透镜的数值孔径，从而提高曝光机的成像焦深，进而得到更加优化的曝光图像，有利于增加产品量产稳定性。
曝光方法聚光透镜以及

[发明专利]一种曝边机-CN201810686676.9有效
发明人：王威 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种曝边机，该曝边机包括：送风机构和曝光腔室；曝光腔室的顶壁设置有进气口，送风机构用于通过进气口向曝光腔室内输送气体；曝光腔室的底壁设置有第一排放口，以使得曝光腔室内的残留物通过第一排放口排出曝光腔室通过上述方式，本申请可以为曝光制程提供良好的环境，减少曝光过程产生的PR残留，进而提高显示面板的良率。
一种曝边机

[发明专利]PCB资源再利用曝光机-CN201910168281.4在审
发明人：倪蕴之;朱永乐;彭小波 -专利权人：昆山苏杭电路板有限公司
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种PCB资源再利用曝光机，包括至少两个可更换的曝光机台面，曝光机台面上设置有8‑16个孔位，对应每一孔位内设有一PIN针，PIN针的下端插入孔位内，上端漏出曝光机台面；待曝光PCB板上对应曝光台面的孔位上设有定位孔该PCB资源再利用曝光机选择透明亚克力材料作为曝光机台面，并在曝光机台面上设置孔位，该孔位内放置PIN针，使PCN板平齐安放，对应使用，待曝光的PCB板上加工有对应的定位孔，通过其定位孔和曝光机台面配合定位，从而实现PCB板在曝光机台面上的位置的准确限定，不仅结构简单，操作方便，而且能够实现曝光位置的精准控制，从而提高产品曝光品质的精准把控。
曝光机台面孔位资源再利用曝光机台定位孔曝光机透明亚克力材料精准控制配合定位曝光品质曝光位置曝光插入孔可更换曝光台设置孔上端漏出下端加工

[发明专利]曝光条件确定系统-CN03107481.2无效
发明人：中江彰宏 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2003-03-19 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在曝光条件确定系统100的数据库10中，储存有关先前进行的曝光工序的信息，包含掩模信息11、曝光机信息12、光刻胶工艺信息13、先前的曝光条件信息14。曝光条件确定部分15根据从数据库10抽出的各种信息及新掩模信息20，按照曝光条件确定程序，确定适合于新掩模的曝光条件，并输出其结果即新掩模的曝光条件21。通过模拟部分16模拟的结果，在曝光条件确定部分15中确定新掩模的曝光条件21时使用。该曝光条件计算系统不需要繁杂的曝光条件确认作业，就能够获得适合于每台曝光机的个体差异的曝光条件。
曝光条件确定系统