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[实用新型]晶圆盒-CN201922329340.X有效
发明人：李骞;王海升;陈兴伟 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆盒，包括晶圆盒本体和设置在晶圆盒本体外侧壁上的晶圆片防插偏结构；在晶圆盒本体内侧壁上设置有晶圆片宽槽；晶圆片防插偏结构包括挡板和支撑结构；在挡板上设置有晶圆片卡槽，晶圆片卡槽的槽口与晶圆片宽槽的槽口位置相对应，挡板转动设置在所述支撑结构的一侧；在支撑结构的端部设置有连接结构，支撑结构通过连接结构与所述晶圆盒本体外侧壁连接。利用上述实用新型能够解决现有技术中晶圆插入晶圆盒卡槽时容易出现插斜插偏的问题，不需要人工反复检查、核对，节省人力、操作简单、灵活方便。
晶圆盒

[实用新型]晶圆盒-CN201621101430.3有效
发明人：胡王凯 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆盒，包括一底盘以及一套设于所述底盘上的盒体，所述底盘上安装有一用于承载晶圆的卡匣，所述盒体上安装有一面对所述卡匣的晶圆限制装置，并且，所述晶圆盒还包括一用于固定晶圆限制装置的固定件，所述固定件位于所述晶圆限制装置的上方和/或下方。通过所述固定件可保证晶圆限制装置稳固而不发生晃动，以改善晶圆限制装置与底盘之间发生磨损而产生颗粒物的问题，进而保证晶圆的良率以及晶圆盒的使用寿命。
晶圆盒

[实用新型]晶圆盒-CN201820836854.7有效
发明人：邱铭隆;杨宗益;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆盒，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，该晶圆盒包含盒体、门体、机器提把、多个动态定位销及至少一个配重件。盒体具有底座、两个侧壁、后壁及顶壁，并界定容置空间及与容置空间连通的开口。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口。机器提把连接于盒体的顶壁的外侧面。动态定位销连接于盒体的底座的外侧面，动态定位销分布位置的中心点与机器提把的中心点在上下方向相对齐。配重件布设于底座，以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于机器提把的中心点与动态定位销分布位置的中心点的连线上。如此可在机械手臂抓取机器提把以移动晶圆盒的过程中，使该晶圆盒保持平衡及平稳以避免倾斜或晃动，借此降低晶圆损伤的机率。
晶圆盒提把动态定位中心点盒体晶圆底座分布位置晶圆框架容置空间配重件外侧面顶壁门体容置抓取封闭开口盒体组合机械手臂上下方向布设销连接侧壁后壁晃动界定可拆连线圆盒种晶连通开口损伤重心移动平衡

[实用新型]晶圆盒-CN201620467686.X有效
发明人：周欢;石缚凤 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2016-05-20 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆盒，包括一盒体，于所述盒体外侧的底部具有一向盒体内部凹陷的用于形成承载晶圆的承载台的凹槽，并且还包括设置于所述盒体外侧的底部的缓冲层。本实用新型提供晶圆盒中，由于其底部的外侧设置有一缓冲层，所述缓冲层可缓冲作用于盒体底部的作用力，避免承载晶圆的承载台收到外力的触碰及挤压，从而可有效的保护晶圆盒内的晶圆不受损坏。
晶圆盒

[实用新型]晶圆盒-CN201921469104.1有效
发明人：于培学;孟凡亮 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆盒，涉及晶圆储存设备技术领域。晶圆盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧板的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板，相邻两所述隔板之间形成用于容纳晶圆载具的插槽，两所述侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻两所述隔板分别延伸至所述齿状结构的齿顶和所述齿状结构的齿槽使用本实用新型晶圆盒时不易放偏晶圆载具，不会划伤产品，保证了产品的质量，提高了工作效率。
晶圆盒

[发明专利]晶圆盒-CN202010667696.9在审
发明人：毕迪 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆盒，包括：盒体、门体和气体保压装置，其中所述盒体的一侧具有开口，所述盒体内具有容纳空腔，所述容纳空腔中用于放置晶圆并容纳保护气体；所述门体用于封闭所述盒体的开口；所述气体保压装置位于所述盒体的外侧表面，用于在所述门体将所述盒体密封后，向所述盒体的容纳空腔中释放保护气体。通过在晶圆盒的盒体上设置气体保压装置，使得晶圆盒内的保护气体的存留的时间大幅的延长，从而极大的延长了Q‑Time的时间，使得站点与站点之间的停留时间延长。
晶圆盒

[发明专利]晶圆盒-CN202310791491.5在审
发明人：朱明伟;洪巧水 -专利权人：荣耀电子材料（重庆）有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆的存储与运输容器技术领域，具体而言，涉及一种晶圆盒，包括上盒盖和下盒盖，所述下盒盖包括第一本体和固定于所述第一本体的支撑部单元，所述第一本体和所述上盒盖可拆卸的连接，所述支撑部单元位于所述第一本体内，所述支撑部单元包括两个在第一方向上排列的支撑部，两个所述支撑部以垂直于所述第一方向的平面为对称面呈镜像对称，两个所述支撑部用于与同一个晶圆点接触，所述支撑部为弹片。本申请的目的在于针对背景技术中所涉及的至少一种技术问题，提供一种晶圆盒。
晶圆盒

[发明专利]晶圆盒-CN201210024413.4有效
发明人：李康声;千俊焕 -专利权人：象牙弗隆泰克株式会社
申请日： 2012-02-03 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：提出一种晶圆盒。提出的晶圆盒包括一对端板和多根轻量支承杆，一对端板设置既定间隔，相向配置，多根轻量支承杆两端固定于上述端板，相互平行配置，用于支承晶圆的侧面及底面；上述轻量支承杆包括：至少在一处以上形成了加强槽的非金属材质的心材
晶圆盒

[发明专利]晶圆盒-CN202210533790.4有效
发明人：叶莹;张冬峰;王旭晨;祝佳辉;王文广 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆盒，包括盒体、门板及门板启闭机构，盒体的一侧设有开口，门板能在门板启闭机构的驱动下关闭或打开开口；盒体包括位于其侧面的环形侧板，环形侧板由侧板本体、过渡板及开口板围绕而成，侧板本体外侧壁横截面所在的圆与开口板外侧壁横截面所在的圆呈偏心设置，且侧板本体的外侧壁横截面所在的圆位于开口板的外侧壁横截面所在的圆的内部；门板包括能沿环形侧板移动的门板本体，门板本体的内侧壁与开口板的外侧壁形状匹配。本发明的晶圆盒减少了门体运动及放置所需的空间，而且利用自带的门体启闭机构简化了晶圆加载机的动作行程。
晶圆盒

[实用新型]晶圆盒-CN200820156892.4有效
发明人：庄祈龙;许俊;高海林;时寒 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2008-12-10 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆盒，用于存储晶圆片，其包括盒体、设置于所述盒体底部的底座以及盒盖，还包括设置于所述底座内周上的支撑条，所述底座的内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述盒盖与所述底座通过所述螺纹螺接，可使多个晶圆盒固定在一起，放入同一个包装袋中包装出货，节约了包装及运输成本，所述支撑条的数量为八条，从而加大底座支撑固定的力度，便于操作人员旋拧所述盒盖，并可保证在真空包装过程中底座不变形，确保晶圆片的存储安全
晶圆盒

[实用新型]晶圆盒-CN201020683175.4有效
发明人：姜再培;李祥福;汪少军 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2010-12-27 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型的晶圆盒包括加热器，所述加热器上设有定位销，其特征在于，所述定位销设有毛细管，该毛细管从所述定位销的底端贯穿至所述定位销的顶端。本实用新型的晶圆盒可避免产生定位销跳动现象，精确定位晶圆。
晶圆盒

[实用新型]晶圆盒-CN201820837277.3有效
发明人：邱铭隆;杨宗益;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆盒，包含盒体及门体。盒体具有底座、两个彼此间隔相对的侧壁、连接底座和两侧壁后端的后壁，及连接两侧壁和后壁顶端并与底座间隔相对的顶壁，底座、两侧壁、后壁及顶壁共同界定容置空间，且底座、两侧壁及顶壁共同形成门框并界定与容置空间连通的开口盒体还具有由前端面的下缘往前凸伸的支撑凸缘。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口，且具有相连接的内门板及外门板，外门板的四周较内门板凸出而形成与前端面密合地相接的内接面，且当门体与盒体组合时，外门板的底缘抵靠于支撑凸缘。
两侧壁外门板顶壁盒体底座盒体组合容置空间支撑凸缘内门板前端面后壁界定门框凸出底座间隔封闭开口后壁顶端间隔相对连接底座晶圆盒内接面侧壁底缘可拆门体密合前凸下缘圆盒种晶连通开口

[实用新型]晶圆盒-CN201820836887.1有效
发明人：邱铭隆;杨宗益;陈延方;李嘉龄 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆盒，包含盒体以及门。该盒体具有两直立侧壁、顶壁、底壁、后壁、及底座，所述侧壁、该顶壁、该底壁共同界定开口。该门可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，并与所述侧壁、该顶壁、该底壁、该后壁共同界定收容空间，该门包括外门板、内门板及密封结构。该内门板的外周轮廓小于该外门板的外周轮廓。该密封结构设置或形成于该外门板的周缘以在该门与该盒体组合而封闭该开口时将该门与该盒体接合处密封，以使该密封结构能稳固定位而不致松脱。
密封结构外门板底壁顶壁盒体开口盒体组合外周轮廓内门板侧壁后壁界定收容空间稳固定位直立侧壁接合处晶圆盒封闭可拆松脱圆盒种晶底座密封

[实用新型]晶圆盒-CN201520558161.2有效
发明人：陈仟宗;黄兴海;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2015-07-29 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： B65D85/86 文献下载
摘要：一种晶圆盒，包括一盒体、一盖体及至少一定位机构。盒体具有一底壁及一位于底壁上的晶圆容置区。盖体具有一与该底壁相对的顶壁。定位机构包括一设于盒体的活动挡墙及一设于盖体的抵推臂。活动挡墙沿晶圆容置区的周缘直立设置且具有两个与底壁固定连接的固定端部及一连接于两个固定端部之间的活动部，活动部具有一朝向晶圆容置区的接触面及一相反于接触面的受推面。抵推臂由盖体的顶壁向下延伸形成并具有至少一顶抵部，在盖体盖合于盒体时，抵推臂的顶抵部抵于活动部的受推面，并使活动部往晶圆容置区内移动以将置于晶圆容置区内的晶圆定位。
晶圆盒

[实用新型]晶圆盒-CN201821950731.2有效
发明人：鲁泽;李俊杰;黄志凯;叶日铨 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆盒，晶圆盒包括若干个齿条组，每个齿条组中至少包括两个齿条，齿条包含齿条凹槽；每个齿条组中，不同齿条上的齿条凹槽形成具有同一水平面的齿条凹槽组；若干个卡槽组，每个卡槽组中至少包括两个卡槽，卡槽包含连接部及限位槽，连接部位于齿条凹槽内，且同一卡槽组中的限位槽具有同一水平面，晶圆及防护垫的边缘分别位于卡槽组中的限位槽内，卡槽通过齿条进行移动。晶圆与防护垫之间的位置，可通过卡槽在齿条上的移动进行调节，避免晶圆之间相互接触，从而确保晶圆的安全存储状况，避免晶圆的破损。
齿条晶圆齿条凹槽卡槽组卡槽齿条组限位槽防护垫晶圆盒本实用新型同一水平面安全存储连接部位同一水平移动圆盒种晶破损

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