“晶圆放置板”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9372203个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]晶圆传输装置-CN201120078264.0有效
发明人：许亮;于祯鑫;吴新江 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-03-23 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆传输装置，包括框架，所述框架内设有若干层上下依次排列的用于放置晶圆的水平向的晶圆放置板，每层晶圆放置板设有一条或数条冷却水管。本实用新型晶圆传输装置通过在每层晶圆放置板设有一条或数条冷却水管，使得每层晶圆放置板上的晶圆能够及时将热量通过冷却水管散出，相比现有的仅在最下一层晶圆放置板内设置冷却水管的散热效果好很多，因而，晶圆传输装置内可以放置更多数量的晶圆放置板，从而有效增加了各批次晶圆的传输数量，进而有效提高了晶圆的传输效率。而且，当晶圆的散热效率提高后，也显著减少了晶圆传输前所需要的冷却时间，可以进一步提高了晶圆的传输效率。另外，本实用新型具有晶圆自对准功能。
传输装置

[实用新型]一种新型晶圆超声波测厚仪-CN201821055922.2有效
发明人：贾红星;陈业;袁泉;蔡道库 -专利权人：江苏纳沛斯半导体有限公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型晶圆超声波测厚仪，包括壳体，所述壳体的外侧设置有主体机构，所述壳体的上侧设置有放置机构，所述放置机构包括放置板、放置把手、滑块、承重板和弹簧，所述壳体的上侧设置有放置板，所述放置板的一侧设置有放置把手，所述放置板的下侧设置有承重板，所述承重板的上侧安装有弹簧；放置板下侧设置有弹簧，通过弹簧在放置晶圆时可起到缓冲作用，避免晶圆放置时与工作平台产生碰撞，造成晶圆的损害，放置板下侧安装有滑块，通过滑块可以把放置在放置板上的晶圆安全的推向超声探头下方，避免从工作平台直接把晶圆推向晶圆下方时产生滑动摩擦，对晶圆表面造成磨损，影响晶圆的品质。
晶圆放置板弹簧壳体承重板滑块超声波测厚仪放置机构工作平台把手本实用新型超声探头滑动摩擦缓冲作用晶圆表面外侧设置主体机构磨损损害安全

[发明专利]一种晶圆输送装置及晶圆湿法处理设备-CN202210074058.5在审
发明人：庞立娟 -专利权人：庞立娟
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种晶圆输送装置及晶圆湿法处理设备，涉及晶圆加工装置技术领域。晶圆输送装置包括：机械臂、吊架机构、晶圆放置机构和定位机构。所述吊架机构包括支撑横板和支撑板件，所述支撑板件安装于所述机械臂执行端部，所述支撑横板固定设置于所述支撑板件底部，所述支撑横板顶部设置有卡槽，所述晶圆放置机构包括晶圆放置盒和卡块，两个所述晶圆放置盒分别设置于所述支撑横板两侧根据本申请采用第一限位块和第二限位块稳定卡设在限位槽内部，实现支撑横板两侧的晶圆放置盒被稳定安装，即机械臂带动晶圆放置盒移动探入清洗水箱内部时更加稳定，有效保护晶圆放置盒及其内部放置的晶圆片。
一种输送装置湿法处理设备

[发明专利]一种晶圆清洗设备晶圆片高速装载方法-CN202011636157.5有效
发明人：陈新来;邓信甫;刘大威;陈丁堃 -专利权人：至微半导体（上海）有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗设备晶圆片高速装载方法，步骤一、初始状态；第一水平放置板、第二水平放置板均处于水平状态，第一垂直放置板、第二垂直放置板处于垂直状态，第一晶圆盒内装载有晶圆片；步骤二、晶圆片转移；第一放置架、第二放置架同时转动九十度，滑动推手动作，由第一晶圆盒的底部镂空处将第一晶圆盒内的晶圆片推到第二晶圆盒内；步骤三、晶圆片侦测；第一放置架、第二放置架同时反向转动九十度，第一晶圆盒、第二晶圆盒的开口向上，检测气缸推动检测传感器同时向上运动，对第二晶圆盒内的晶圆片进行检测；步骤四、晶圆盒夹取。本发明能够实时对晶圆片进行侦测，保证了晶圆片的清洗效率，大幅提升了半导体湿法工艺设备的稼动率。
一种清洗设备晶圆片高速装载方法

[实用新型]一种晶圆表面缺陷检测系统-CN202122523559.0有效
发明人：尹富宝 -专利权人：韩艳丽
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆表面缺陷检测系统，包括桌板，所述桌板的底部连接有支撑架，所述支撑架底部的四角均连接有橡胶垫，所述支撑架的内底壁对称放置有收集箱，所述桌板的底部连接有传动电机箱，所述桌板的顶部设置有放置板。该晶圆表面缺陷检测系统，通过桌板上使用放置板，可以将晶圆放置到放置板上，通过放置板、伸缩柱、复位弹簧和伸缩套筒配合使用，可以在晶圆放置到对放置板上时的进行一定的缓冲，通过传动电机与放置板配合使用，可以对放置板上的晶圆进行旋转，便于对晶圆进行多方位检测，通过使用两个收集箱便于对没有检测的晶圆进行放置和对检测过多晶圆进行放置和收纳。
一种表面缺陷检测系统

[实用新型]一种晶圆贴膜机-CN202020684703.1有效
发明人：柯跃虎;诸葛锋;宋亦健;曾庆明 -专利权人：广东硕成科技有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B65B33/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆贴膜机，包括贴膜机本体和贴膜组件；所述贴膜本体包括贴膜机箱、下压气缸、固定底座、箱体、支撑底腿、贴膜头；所述贴膜组件包括晶圆放置板、晶圆放置槽、限位块、第一气孔、第二气孔；所述晶圆放置板安装在固定底座的内侧；所述晶圆放置槽设置在晶圆放置板的上表面；所述晶圆放置槽上部设有限位块；所述晶圆放置槽的上表面设置有第一气孔；所述贴膜头的上表面设置有第二气孔。
一种晶圆贴膜机

[发明专利]一种全自动晶圆贴膜机-CN201810705857.1在审
发明人：张子运;蔡道库;刘少丽;朱威莉;孙健 -专利权人：江苏纳沛斯半导体有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动晶圆贴膜机，包括贴膜机本体，还包括抽拉机构和防护机构，所述贴膜机本体包括贴膜机箱、支撑滑杆、贴膜头、下压气缸、固定底座、键盘和支撑底腿，所述抽拉机构包括晶圆放置板和抽拉把手，所述晶圆放置板安装在固定底座的内侧，所述抽拉把手连接在晶圆放置板的侧表面，所述晶圆放置板的上表面设置有晶圆放置槽，所述固定底座的内侧设置有滑动凹槽，可以把晶圆放置板向外侧抽出，使晶圆放置板处于贴膜头底部外侧，即使放入晶圆时没有停止贴膜头下压
晶圆放置板贴膜贴膜机晶圆固定底座抽拉把手抽拉机构下压防护机构滑动凹槽灰尘附着下压气缸支撑滑杆侧表面放置槽上表面透明罩底腿放入手部压伤键盘停放抽出防护支撑污染安全

[实用新型]一种全自动晶圆贴膜机-CN201821022497.7有效
发明人：张子运;蔡道库;刘少丽;朱威莉;孙健 -专利权人：江苏纳沛斯半导体有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动晶圆贴膜机，包括贴膜机本体，还包括抽拉机构和防护机构，所述贴膜机本体包括贴膜机箱、支撑滑杆、贴膜头、下压气缸、固定底座、键盘和支撑底腿，所述抽拉机构包括晶圆放置板和抽拉把手，所述晶圆放置板安装在固定底座的内侧，所述抽拉把手连接在晶圆放置板的侧表面，所述晶圆放置板的上表面设置有晶圆放置槽，所述固定底座的内侧设置有滑动凹槽，可以把晶圆放置板向外侧抽出，使晶圆放置板处于贴膜头底部外侧，即使放入晶圆时没有停止贴膜头下压
晶圆放置板贴膜贴膜机晶圆固定底座抽拉把手抽拉机构下压本实用新型防护机构滑动凹槽灰尘附着下压气缸支撑滑杆侧表面放置槽上表面透明罩底腿放入手部压伤键盘停放抽出防护支撑污染安全

[实用新型]一种激光切割机夹具-CN202121136125.9有效
发明人：陈峰;洪章源 -专利权人：厦门陆远科技有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光切割机夹具，包括设置在激光切割机下方并用于放置晶圆的放置板以及设置在放置板下方用于将晶圆吸附固定在放置板上的抽气机构，所述放置板上设有密集分布的若干通气孔。本实用新型的放置板上设有密分布的通气孔，晶圆放置在放置板上后会遮挡住部分通气孔，这部分的通气孔与抽气机构配合形成对晶圆的吸附点，使得晶圆被吸附固定在放置板上，晶圆不易发生位移，可以提高激光切割的精度，同时，本实用新型可以免除夹具对激光切割的干扰，使用方便，可以提高晶圆切割加工的良品率。此外，本实用新型可以适配不同规格大小的晶圆切割加工，实用性强。
一种激光切割机夹具

[实用新型]一种晶圆运送机构-CN202321727487.4有效
发明人：靳国亮;冷文超 -专利权人：长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆运送机构，包括：运送车，所述运送车的一侧固定安装有把手，所述运送车的顶面开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有放置板，所述放置板的顶面开设有若干个活动槽；防护组件，所述防护组件设置在所述放置板的上方，用于对晶圆运送过程中进行防护，放置板设置在放置槽的内部，进而可以将晶圆放置在放置板上，使得防护组件对晶圆进行防护，当需要将晶圆进行放置时，先移动两个移动块，然后将晶圆放置在橡胶块上，松开移动块，使得移动块受到第一弹簧的弹力进行复位，使得两个固定块对晶圆进行夹持固定，通过第二弹簧使得固定块在对晶圆进行固定时进行缓冲，固定完成后，可以使得晶圆在运送过程中，加强磕碰防护。
一种运送机构

[实用新型]一种晶圆片高效分选的自动清洗机构-CN201820334703.1有效
发明人：张栖源 -专利权人：江西点亮科技有限公司
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体、吸附机构、晶圆片放置架、支撑腿、晶圆片放置槽和喷头，所述晶圆片分选机本体的内侧顶部设有固定杆，所述固定杆的底部设有气缸，所述气缸的顶部设有电机，且所述电机位于固定杆的顶部，所述气缸的底部设有吸附机构，所述晶圆片分选机本体的内侧底部设有晶圆片放置架，所述晶圆片放置架的底部两侧设有支撑板，所述晶圆片放置架的顶部设有活动板，所述水盒的内侧分布有喷头，所述晶圆片分选机本体的底部分布有支撑腿。该晶圆片高效分选的自动清洗机构，高效的将活动板上的晶圆片放置槽清洗干净，使得吸附机构产生较强的吸力，可高效的将晶圆片吸附分选。
晶圆片放置架分选机自动清洗机构高效分选吸附机构固定杆气缸喷头放置槽活动板支撑腿圆片种晶电机本实用新型吸力支撑板分选水盒吸附清洗

[实用新型]晶圆预烘烤装置-CN202221765506.8有效
发明人：颜志超;张建;黄寓洋 -专利权人：苏州苏纳光电有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆预烘烤装置，包括：烘烤箱体，烘烤箱体的内部设置用于烘烤晶圆片的容置腔室；放置单元，包括安装板、调节结构以及放置板，安装板设置在容置腔室内并与烘烤箱体活动连接，安装板上设置有调节结构，放置板通过调节结构与安装板连接，放置板用于承载晶圆片，调节结构用于调整放置板的水平度。本实用新型实施例提供的一种晶圆预烘烤装置，能够调整用于放置晶圆片的放置板的水平度，避免晶圆片上铺涂的光刻胶因摆放不平而流动，提升晶圆片上光刻胶的均匀度，从而进一步提升烘烤后晶圆片的质量，以便于后续工序的进行
晶圆预烘烤装置

[实用新型]晶圆测试装置-CN201720738272.0有效
发明人：吴俊;熊强;袁志伟 -专利权人：珠海市中芯集成电路有限公司
申请日： 2017-06-22 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆测试装置，包括底板，底板上设置有显微镜组件、探针固定臂以及晶圆放置台，显微镜组件朝向晶圆放置台，探针固定臂的夹持件朝向晶圆放置台；晶圆放置台包括均可转动的放置盘与转动盘，并且放置盘可前后左右来回移动，底板远离晶圆放置台的一面设有连杆，连杆顶升与放置盘连接的真空管；探针固定臂设有X、Y、Z轴三个方向的滑轨，使探针的焊接位置更为精确；在晶圆放置台上还设有校正板，在探针焊接前利用校正板检查晶圆的位置是否正确，再进行探针的焊接以保证探针能够准确晶圆上的芯片，本实用新型的晶圆测试装置将晶圆测试与探针焊接一体化设计使得针卡制作与晶圆测试之间额衔接得到简化，有效提高工作效率。
测试装置

[实用新型]一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机-CN202023194855.2有效
发明人：霍锦充 -专利权人：东莞王氏港建机械有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机，其中，更换机构包括机台、推板和驱动机构；机台上设有用于容纳晶圆放置板的容纳槽，容纳槽的底面中部设有过孔；推板上设有推动部，晶圆放置板上设有连接块，连接块可相对晶圆放置板拆卸；其中，驱动机构用于驱动推板运动，推板用于受驱动通过推动部经由过孔推动连接块，以带动晶圆放置板伸出或缩入容纳槽。根据本实用新型的技术方案，启动驱动机构即可将晶圆放置板从容纳槽内推出，方便对晶圆放置板进行更换；另外，由于晶圆放置板背面上的受推部即连接块可拆卸，从而连接块磨损后可及时拆下进行更换。
一种光刻机晶圆放置更换机构

[实用新型]晶圆切割自动装夹装置-CN202122753770.1有效
发明人：殷泽安 -专利权人：苏州译品芯半导体有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了晶圆切割自动装夹装置，包括底板、放置板、橡胶圈以及吸盘，所述底板的顶部开设第一滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接第一滑块，所述第一滑块的顶部固定连接放置板，所述放置板的顶部固定连接吸盘，所述底板的顶部设有第一夹块和第二夹块该晶圆切割自动装夹装置，通过在底板上设有特殊结构的放置板，解决了传统装夹装置在使用时稳定性较差的问题，这样在将晶圆放在放置板上时，只需要将晶圆的中心对准放置板的中心，然后缓缓放下晶圆并持续下压，使得吸盘将晶圆吸附住，此时即可将晶圆稳定的固定在放置板上，大大提高了放置晶圆时的稳定性，整体结构简单，实用性较强。
切割自动装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条